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半導(dǎo)體輔材用多晶硅中碳、氮雜質(zhì)的分離去除技術(shù)
伴隨著我國半導(dǎo)體行業(yè)的迅速崛起，硅電極作為光刻設(shè)備上承載硅基圓的重要輔材，其需求日趨增加。同時(shí)，基圓尺寸的不斷增加使得硅電極逐漸由單晶硅電極轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑Ч桦姌O，然而多晶硅制備過程中不可避免存在C、N雜質(zhì)的污染，導(dǎo)致其基體中存在大量彌散分布的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒夾雜，嚴(yán)重影響了多晶硅電極的使用性能。
傳統(tǒng)制備技術(shù)下，設(shè)備熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)單一，熔體流動(dòng)性差，導(dǎo)致SiC、Si3N4雜質(zhì)循環(huán)溶解—析出，難以有效分離。本項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)前期利用電子束精煉技術(shù)去除硅中的蒸發(fā)性雜質(zhì)（P、 O、N）；利用電子束誘導(dǎo)實(shí)現(xiàn)多晶硅的定向凝固，進(jìn)而分離硅中的金屬雜質(zhì)；基于電子束冷床效應(yīng)分離硅中的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒，并揭示硬質(zhì)顆粒與硅基體間的位相關(guān)系；基于上述研究開發(fā)出了多晶硅電極的制備工藝，可應(yīng)用于刻蝕等半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。
本項(xiàng)目預(yù)期可以為半導(dǎo)體行業(yè)中硅電極生產(chǎn)制造企業(yè)提供穩(wěn)定的技術(shù)支持，具有很好的生產(chǎn)示范性，實(shí)現(xiàn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化。該技術(shù)能夠有效地降低生產(chǎn)過程中的能耗，是一種低成本、環(huán)境友好的生產(chǎn)方法，屬于節(jié)能、環(huán)保的綠色制造技術(shù)。該技術(shù)的大規(guī)模應(yīng)用和推廣，可大幅增加就業(yè)崗位，提高企業(yè)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，保護(hù)環(huán)境。
大連理工大學(xué)
2021-05-10
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單疇超導(dǎo)塊材Gd-Ba-Cu-O 的制備與其超導(dǎo)性能的研究
直徑為25 mm的YBa2Cu3O7-δ(Y123)單疇超導(dǎo)塊材在溫度為77K時(shí)，捕捉磁場(chǎng)高達(dá)4 T；而在29 K時(shí)，捕捉磁場(chǎng)甚至達(dá)17 T，優(yōu)越的性能促進(jìn)了該類超導(dǎo)材料在電機(jī)、發(fā)電機(jī)、工業(yè)污水處理、醫(yī)學(xué)核磁共振等方面的應(yīng)用研究。
本課題以通過熔融織構(gòu)方法生長(zhǎng)高性能的單疇超導(dǎo)塊材作為研究對(duì)象，選擇合適的單相氧化物作為第二相生長(zhǎng)GdBa2Cu3O7-δ超導(dǎo)塊材。在制備的高質(zhì)量系列樣品的基礎(chǔ)上，通過低溫磁性測(cè)量分析臨界電流密度隨溫度及摻雜量的變化曲線；分析微觀結(jié)構(gòu)，揭示第二相、缺陷等對(duì)超導(dǎo)性能影響的原因。以期找出提高超導(dǎo)塊材性能的合理生長(zhǎng)方法，對(duì)其微觀機(jī)制給出盡量圓滿的解釋。這也為澄清與當(dāng)前超導(dǎo)材料前沿課題緊密相關(guān)的一些基本問題的理解提供基礎(chǔ)研究資料。
該項(xiàng)目已獲國家自然基金項(xiàng)目立項(xiàng)支持。
上海電力大學(xué)
2021-04-29
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一種基于陶瓷材料的增材制造成形裝置及方法
本發(fā)明公開了一種基于陶瓷材料的增材制造成形裝置，其特征 在于，該裝置包括：光固化機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及擠出回抽機(jī)構(gòu)，所述 光固化機(jī)構(gòu)設(shè)于所述擠出回抽機(jī)構(gòu)的一端，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)于所述擠 出回抽機(jī)構(gòu)的另一端；其中，所述光固化機(jī)構(gòu)包括調(diào)光器(15)、紫外線 燈固定盤(16)和紫外固化燈(17)；所述擠出回抽機(jī)構(gòu)包括噴嘴(1)、噴嘴 連接件(2)、螺桿(3)、料筒(4)及料斗(6)；所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)(12)和 聯(lián)軸器(11)
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種基于多波段耦合的增材制造過程熔池監(jiān)測(cè)裝置及方法
本發(fā)明公開了一種基于多波段耦合的增材制造過程熔池監(jiān)測(cè)裝置及方法，所述裝置由加工單元、信號(hào)采集單元、數(shù)據(jù)處理單元和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元組成。本發(fā)明利用多波長(zhǎng)折-衍混合 f-theta 聚焦鏡、二向色鏡等光學(xué)元件將三種不同波段的光路(激光加工光路、激光照明光路以及熔池圖像信息采集光路)在成形腔外進(jìn)行同軸耦合，用于對(duì)快速移動(dòng)的微小熔池進(jìn)行實(shí)時(shí)追蹤和采集。此外，通過數(shù)據(jù)處理單元和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元對(duì)熔池圖像和特征信息進(jìn)行快速計(jì)算處理和多級(jí)
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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一種高擇優(yōu)取向細(xì)晶超高純鋁靶材的制備方法
本發(fā)明涉及金屬材料加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高擇優(yōu)取向細(xì)晶超高純鋁靶材的制備方法。包括以下步驟：將超高純鋁板材于５０℃～３００℃下熱軋，道次壓下量控制在４０％～５０％；將熱軋后的超高純鋁板材在１００～３００℃溫度下保溫０～１小時(shí)；然后進(jìn)行冷軋，道次壓下量控制在４０％～５０％，通過對(duì)板材進(jìn)行道次間空冷、水冷以及冰水冷卻控制板材軋制過程的溫升，抑制板材的
東南大學(xué)
2021-04-14
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緊固件用 Ti-3Al-5Mo-4.5V 鈦合金棒材制備
Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄羅斯牌號(hào)為 BT16，中國牌號(hào)為 TC16)鈦合金是俄羅斯航空材料研究院首先開發(fā)的一種新型鈦合金，該合金屬于高強(qiáng)度鈦合金，其塑性非常好，并且對(duì)缺口、偏斜等的應(yīng)力集中敏感性較小，因此特別適應(yīng)于冷鐓法制造緊固件，如螺栓、螺釘、螺母和鉚釘?shù)龋嵌砹_斯航空和航天部門應(yīng)用的主要標(biāo)準(zhǔn)件材料。 Ti-3Al-5Mo-4.5V鈦合金特點(diǎn)是退火或淬火狀態(tài)下具有較高的塑性，主要的產(chǎn)品是棒絲材。Ti-3Al-5Mo-4.5V 鈦合金制造緊固件的最大優(yōu)點(diǎn)是可以在冷鐓后或再進(jìn)行
江蘇大學(xué)
2021-04-14
緊固件用Ti-3Al-5Mo-4.5V鈦合金棒材制備
Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄羅斯牌號(hào)為BT16，中國牌號(hào)為TC16)鈦合金是俄羅斯航空材料研究院首先開發(fā)的一種新型鈦合金，該合金屬于高強(qiáng)度鈦合金，其塑性非常好，并且對(duì)缺口、偏斜等的應(yīng)力集中敏感性較小，因此特別適應(yīng)于冷鐓法制造緊固件，如螺栓、螺釘、螺母和鉚釘?shù)龋嵌砹_斯航空和航天部門應(yīng)用的主要標(biāo)準(zhǔn)件材料。Ti-3Al-5Mo-4.5V 鈦合金特點(diǎn)是退火或淬火狀態(tài)下具有較高的塑性，主要的產(chǎn)品是棒絲材。 Ti-3Al-5Mo-4.5V 鈦合金制造緊固件的最大優(yōu)點(diǎn)是可以在冷鐓后或再進(jìn)行
江蘇大學(xué)
2021-04-14
一種大幅面零部件的增減材復(fù)合制造設(shè)備
發(fā)明公開了一種大幅面零部件的增減材復(fù)合制造設(shè)備，包括床身，床身上安裝有多個(gè)用于增材制造的六自由度倒掛機(jī)器人和五軸·825·聯(lián)動(dòng)龍門銑床，多個(gè)倒掛機(jī)器人分布在龍門銑床的銑削頭周圍；倒掛機(jī)器人上設(shè)有增材制造設(shè)備，所使用的熱源可以是高功率激光束或者電弧；增材制造設(shè)備在工作平臺(tái)上進(jìn)行單層或多層毛坯體制造，龍門銑床銑削頭對(duì)單層或多層的毛坯體進(jìn)行精加工和修整。本發(fā)明克服了大幅面復(fù)雜零部件銑削加工的困難和增材制造技術(shù)
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種用于制造片材與柔性薄膜復(fù)合疊層的系統(tǒng)及方法
本發(fā)明公開了一種用于制造片材與柔性薄膜復(fù)合疊層的系統(tǒng)及其方法，所述系統(tǒng)沿著薄膜輸送方向依次包括開卷裝置、第一檢測(cè)裝置、上料裝置、壓合裝置、第二檢測(cè)裝置、裁切裝置、第三檢測(cè)裝置、下料裝置以及收卷裝置。其中開卷和收卷裝置分別用于將薄膜展開和纏繞收卷，上料和壓合裝置分別用于真空吸附片材和將片材在薄膜上疊合，裁切裝置用于對(duì)復(fù)合疊層執(zhí)行斷點(diǎn)切斷，第一、第二和第三檢測(cè)裝置用于檢測(cè)柔性薄膜的輸送、疊合對(duì)位和裁切效果予以檢測(cè)和反饋，下料裝置用于對(duì)復(fù)合疊層執(zhí)行下料及分類處理。通過本發(fā)明，能夠保證薄膜的穩(wěn)定輸送及其與片材之間的精確定位，防止片材出現(xiàn)彎曲和脆裂現(xiàn)象，而且便于對(duì)復(fù)合疊層進(jìn)行裁切和分類處理。
華中科技大學(xué)
2021-04-11
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電弧熔絲增材制造復(fù)合無針攪拌摩擦制備金屬構(gòu)件的方法
本發(fā)明提供一種電弧熔絲增材制造復(fù)合無針攪拌摩擦制備金屬構(gòu)件的方法，采用電弧熔絲增材制造工藝，按照預(yù)設(shè)打印程序在基板上從第一層開始以向上生長(zhǎng)的方式逐層沉積，直到沉積最后一層，獲得所需金屬構(gòu)件；其中，在第一層至最后一層的沉積過程中，對(duì)每一層沉積層均采用無針攪拌摩擦進(jìn)行處理，提高當(dāng)前沉積層的表面精整度，并消除沉積層表面的氧化層，加深下一層沉積層與當(dāng)前沉積層之間相互融合的程度，同時(shí)通過無針攪拌摩擦重新分布當(dāng)前沉積層的殘余應(yīng)力并消除偏析，從而提高相鄰沉積層之間的層間結(jié)合性。
南京工業(yè)大學(xué)
2021-01-12