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一種高擇優取向細晶超高純鋁靶材的制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.74jv82s.xyz
關鍵詞：
細晶超高純鋁靶材
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明涉及金屬材料加工技術領域，具體涉及一種高擇優取向細晶超高純鋁靶材的制備方法。包括以下步驟：將超高純鋁板材于５０℃～３００℃下熱軋，道次壓下量控制在４０％～５０％；將熱軋后的超高純鋁板材在１００～３００℃溫度下保溫０～１小時；然后進行冷軋，道次壓下量控制在４０％～５０％，通過對板材進行道次間空冷、水冷以及冰水冷卻控制板材軋制過程的溫升，抑制板材的
項目階段:
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