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本發(fā)明公開(kāi)了一種柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)制備方法，該制備方 法包括如下步驟：(1)制作柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)底層：在基底上旋涂 一層負(fù)性光刻膠，不用掩膜進(jìn)行曝光；(2)在步驟(1)曝光后的負(fù)性光刻 膠上旋涂一層負(fù)性光刻膠，利用陣列圖形掩膜進(jìn)行曝光；(3)結(jié)構(gòu)層光 刻膠第二次曝光：采用跟步驟(2)對(duì)應(yīng)的掩模進(jìn)行套刻曝光；(4)顯影： 將上述步驟中曝光后的結(jié)構(gòu)進(jìn)行顯影；(5)鍍保護(hù)層膜：在步驟(4)中得 到的結(jié)構(gòu)表面形成一層保護(hù)膜；(6)剝離：將經(jīng)過(guò)步驟(5)處理后得到的 結(jié)構(gòu)從基底上剝離，得到所述柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)。按照本發(fā)明的 制備方法，工藝簡(jiǎn)單，成本低廉，對(duì)該柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)的普及 應(yīng)用具有極大的促進(jìn)作用。 

本發(fā)明公開(kāi)了一種柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)制備方法，該制備方法包括如下步驟：(1)制作柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)底層：在基底上旋涂一層負(fù)性光刻膠，不用掩膜進(jìn)行曝光；(2)在步驟(1)曝光后的負(fù)性光刻膠上旋涂一層負(fù)性光刻膠，利用陣列圖形掩膜進(jìn)行曝光；(3)結(jié)構(gòu)層光刻膠第二次曝光：采用跟步驟(2)對(duì)應(yīng)的掩模進(jìn)行套刻曝光；(4)顯影：將上述步驟中曝光后的結(jié)構(gòu)進(jìn)行顯影；(5)鍍保護(hù)層膜：在步驟(4)中得到的結(jié)構(gòu)表面形成一層保護(hù)膜；(6)剝離：將經(jīng)過(guò)步驟(5)處理后得到的結(jié)構(gòu)從基底上剝離，得到所述柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)。按

多自由度精密位移平臺(tái)由壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，包含傳感器、驅(qū)動(dòng)器和控制器等部件，是精密儀器運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的核心部分，也是精密加工設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備、微電子制造檢測(cè)設(shè)備、測(cè)量?jī)x器、印刷設(shè)備、生物醫(yī)療設(shè)備、自動(dòng)化生產(chǎn)線的關(guān)鍵組件。其壓電馬達(dá)具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特點(diǎn)，其運(yùn)動(dòng)控制部分采用先進(jìn)的EtherCAT（通用超高速以太網(wǎng)現(xiàn)場(chǎng)總線）方案，使系統(tǒng)不僅更簡(jiǎn)潔、更靈活，還具有更好的實(shí)時(shí)性。

一、項(xiàng)目簡(jiǎn)介團(tuán)隊(duì)依托西安交通大學(xué)航空航天學(xué)院機(jī)械結(jié)構(gòu)強(qiáng)度與震動(dòng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室組建，以學(xué)院副院長(zhǎng)、實(shí)驗(yàn)室主任徐明龍為帶頭人，經(jīng)過(guò)十余年的積累，在壓電驅(qū)動(dòng)原理、驅(qū)動(dòng)方案、驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)控制等方向取得了豐碩的研究成果與深厚的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。形成了多自由度精密作動(dòng)平臺(tái)，大行程高精度作動(dòng)器件、驅(qū)動(dòng)控制算法與硬件三個(gè)方面系列化成果，在壓電驅(qū)動(dòng)的精密作動(dòng)領(lǐng)域能夠提供國(guó)際領(lǐng)先的壓電精密驅(qū)動(dòng)解決方案。二、多自由度精密驅(qū)動(dòng)平臺(tái)1.二自由度精密組東平臺(tái)在衛(wèi)星光通信中，兩自由度精確指向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)用于快速調(diào)整角度的精密偏轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)，它是用于精密瞄準(zhǔn)，相對(duì)于傳統(tǒng)光學(xué)伺服系統(tǒng)，其精度和帶寬都有大幅度提高，彌補(bǔ)了傳統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)慣量大、帶寬窄的缺陷，因此這種機(jī)構(gòu)在軍事、航空航天、光學(xué)工程以及精密檢測(cè)等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。本團(tuán)隊(duì)采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，設(shè)計(jì)了小體積直驅(qū)型高帶寬壓電直驅(qū)的精指向執(zhí)行機(jī)構(gòu)兩自由度精-- 30 --西安交通大學(xué)國(guó)家技術(shù)轉(zhuǎn)移中心確指向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。該機(jī)構(gòu)利用單個(gè)壓電堆直接驅(qū)動(dòng)，不引入放大機(jī)構(gòu)，通過(guò)單軸下一對(duì)壓電堆推-拉”工作模式實(shí)現(xiàn)鏡面偏轉(zhuǎn)。該機(jī)構(gòu)采用直驅(qū)作動(dòng)方式，與位移放大式執(zhí)“行機(jī)構(gòu)相比，該設(shè)計(jì)很大程度上減

團(tuán)隊(duì)依托西安交通大學(xué)航空航天學(xué)院機(jī)械結(jié)構(gòu)強(qiáng)度與震動(dòng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室組建，以學(xué)院副院長(zhǎng)、實(shí)驗(yàn)室主任徐明龍為帶頭人，經(jīng)過(guò)十余年的積累，在壓電驅(qū)動(dòng)原理、驅(qū)動(dòng)方案、驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)控制等方向取得了豐碩的研究成果與深厚的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。形成了多自由度精密作動(dòng)平臺(tái)，大行程高精度作動(dòng)器件、驅(qū)動(dòng)控制算法與硬件三個(gè)方面系列化成果，在壓電驅(qū)動(dòng)的精密作動(dòng)領(lǐng)域能夠提供國(guó)際領(lǐng)先的壓電精密驅(qū)動(dòng)解決方案。二、多自由度精密驅(qū)動(dòng)平臺(tái)1.二自由度精密組東平臺(tái)在衛(wèi)星光通信中，兩自由度精確指向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)用于快速調(diào)整角度的精密偏轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)，它是用于精密瞄準(zhǔn)，相對(duì)于傳統(tǒng)光學(xué)伺服系統(tǒng)，其精度和帶寬都有大幅度提高，彌補(bǔ)了傳統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)慣量大、帶寬窄的缺陷，因此這種機(jī)構(gòu)在軍事、航空航天、光學(xué)工程以及精密檢測(cè)等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。本團(tuán)隊(duì)采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，設(shè)計(jì)了小體積直驅(qū)型高帶寬壓電直驅(qū)的精指向執(zhí)行機(jī)構(gòu)兩自由度精-- 30 --西安交通大學(xué)國(guó)家技術(shù)轉(zhuǎn)移中心確指向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。該機(jī)構(gòu)利用單個(gè)壓電堆直接驅(qū)動(dòng)，不引入放大機(jī)構(gòu)，通過(guò)單軸下一對(duì)壓電堆推-拉”工作模式實(shí)現(xiàn)鏡面偏轉(zhuǎn)。

調(diào)壓鑄造技術(shù)是在傳統(tǒng)反重力鑄造技術(shù)基礎(chǔ)上提出的先進(jìn)鑄件成形技 術(shù)，其主要特點(diǎn)是利用真空預(yù)處理、負(fù)壓充型、調(diào)壓凝固，正壓補(bǔ)縮等 手段降低金屬液含氣量，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)高效充型，避免氣體及夾雜卷入，強(qiáng) 化鑄件凝固順序，改善補(bǔ)縮效果，從而顯著提升鑄件強(qiáng)度和塑性，為提 高材料利用效率，減小構(gòu)件重量提供空間。由于調(diào)壓鑄造技術(shù)釆用了負(fù) 壓充型方法并在最小壓差原則下實(shí)現(xiàn)正壓補(bǔ)縮，因而降低了對(duì)鑄型透氣 性及強(qiáng)度的要求，可與砂型鑄造、金屬型鑄造、熔模精鑄、石膏型精密 鑄造等

本發(fā)明公開(kāi)了一種精密量測(cè)覘標(biāo)高的裝置，包含整合板(1)、可與整合板(1)內(nèi)螺紋旋合構(gòu)成而完成棱鏡安裝平臺(tái)的棱鏡桿(2)及棱鏡(4)、可與整合板(1)內(nèi)螺紋旋合構(gòu)成而完成整平安裝的螺旋桿(3)；整合板(1)具有氣泡可使用螺旋桿(3)整平。本發(fā)明精密量測(cè)覘標(biāo)高的裝置構(gòu)造簡(jiǎn)單，通用性好，安裝要求低，使用操作簡(jiǎn)單，配合使用該裝置可以精確量測(cè)出覘標(biāo)高。

多自由度精密位移平臺(tái)由壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，包含傳感器、驅(qū)動(dòng)器和控制器等部件，是精密儀器運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的核心部分，也是精密加工設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備、微電子制造檢測(cè)設(shè)備、測(cè)量?jī)x器、印刷設(shè)備、生物醫(yī)療設(shè)備、自動(dòng)化生產(chǎn)線的關(guān)鍵組件。其壓電馬達(dá)具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特點(diǎn)，其運(yùn)動(dòng)控制部分采用先進(jìn)的EtherCAT（通用超高速以太網(wǎng)現(xiàn)場(chǎng)總線）方案，使系統(tǒng)不僅更簡(jiǎn)潔、更靈活，還具有更好的實(shí)時(shí)性。