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一種在 SOI 硅片上制備微機械懸空結(jié)構(gòu)的方法
本發(fā)明公開了一種在 SOI 硅片上制備微機械懸空結(jié)構(gòu)的方法。對懸空結(jié)構(gòu)及其固定結(jié)構(gòu)采用不同的槽寬設(shè)計，其中，固定結(jié)構(gòu)的槽寬明顯大于懸空結(jié)構(gòu)，寬槽底部經(jīng)刻蝕首先到達或更加接近 SiO2 層，再通過各向同性干法刻蝕使窄槽底部相互連通并與窄槽下方的 Si 層分離，將窄槽間的梁釋放，形成具有平整底面的懸空結(jié)構(gòu)，同時去除固定結(jié)構(gòu)與懸空結(jié)構(gòu)連接區(qū)底部的 Si 以及固定結(jié)構(gòu)與其它結(jié)構(gòu)之間的區(qū)域底部的 Si，使得固定結(jié)構(gòu)與窄槽下方的 Si 層及其它結(jié)構(gòu)隔離，從而使不同的固定結(jié)構(gòu)間相互絕緣。本發(fā)明的方法簡單有效，能廣
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種補償粒子速度影像儀球面像差的方法及裝置
本發(fā)明公開一種補償粒子速度影像儀球面像差的方法，所述方法為：在粒子速度影像儀提取極電極板添加跳變電壓，以在聚焦電場的基礎(chǔ)上添加發(fā)散電場，從而補償原有靜電聚焦透鏡球面像差。本發(fā)明還提供一種補償粒子速度影像儀球面像差的裝置，所述裝置包括與粒子速度影像儀提取極電極板連接的跳變電壓控制單元，用于在提取極電極板上產(chǎn)生跳變電壓。本發(fā)明可補償粒子速度影像儀補償原有靜電聚焦透鏡球面像差，實施本發(fā)明無需改變原有裝置結(jié)構(gòu)，實施簡便、成本低、成像分辨率高。
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種交流電相位頻率幅值跟蹤重構(gòu)的方法
本發(fā)明公開了一種交流電相位頻率幅值跟蹤重構(gòu)方法，按照該 重構(gòu)方法，對采集的交流電實際值分析出交流電的頻率、相位、相序關(guān)系，其后利用二階廣義積分器、頻率和相位信息得到各相實時的估 計幅值，再次估計幅值代入提出的算法，減小估計的頻率和相位誤差。 按照本發(fā)明實現(xiàn)的交流電相位頻率幅值跟蹤重構(gòu)的方法，無需提供前 饋參考較頻率，能夠有效分析任何位置角頻率的交流電相位、頻率和 幅值，并且對于單相或三相電壓、電流信號均可實現(xiàn)分析，而且能夠 實現(xiàn)有效、快速的實時重構(gòu)。
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種適用于空調(diào)外機的螺帽裝卸裝置
本發(fā)明屬于智能裝卸領(lǐng)域，其公開了一種適用于空調(diào)外機的螺 帽裝卸裝置，其包括支撐組件、設(shè)置在所述支撐組件上的水平移動調(diào) 節(jié)組件、可移動的連接于所述水平移動調(diào)節(jié)組件上的螺帽裝卸組件及 固定連接于所述螺帽裝卸組件上的視覺識別組件。當(dāng)所述螺帽裝卸組 件到達螺帽安裝位置附近，所述視覺識別組件對螺帽安裝位置區(qū)域拍 攝圖像，根據(jù)所述圖像獲得螺帽相對于所述螺帽安裝位置的偏移量或 者螺帽的位置信息；所述螺帽裝卸組件根據(jù)所述偏移量或者位置信息 進行相應(yīng)移動以調(diào)整自身的位置及姿態(tài)，進而安裝或者拆卸螺帽。本 發(fā)明提供的螺帽
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種凸輪從動件運動規(guī)律的標定裝置及方法
本發(fā)明公開了一種凸輪從動件運動規(guī)律的標定裝置及方法，其 包括機架、凸輪副機構(gòu)、激光檢測機構(gòu)和控制裝置，凸輪副機構(gòu)包括 相互配合的凸輪機構(gòu)和從動機構(gòu)，從動機構(gòu)上固聯(lián)有隨動標定輔具； 激光檢測機構(gòu)包括平面二維調(diào)整平臺、高度調(diào)整平臺和激光位移傳感 器測量頭，平面二維調(diào)整平臺通過直角支承座安裝有豎直布置的高度 調(diào)整平臺；激光位移傳感器測量頭通過一體式夾持器固裝在高度調(diào)整 平臺上，并置于隨動標定輔具的上方；控制裝置用于控制凸輪機構(gòu)、 從動機構(gòu)和隨動標定輔具動作，并控制所述激光位移傳感器測量頭進 行在線測量，根
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種面向柔性芯片的多頂針剝離裝置及剝離方法
本發(fā)明公開了一種面向柔性芯片的多頂針剝離裝置，包括固定 座、雙真空腔室、多頂針機構(gòu)和凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)，其中：雙真空腔 室由分設(shè)在內(nèi)、外側(cè)的真空內(nèi)腔室和真空外腔室共同組成，并且真空 內(nèi)腔室還可獨立發(fā)生上下滑動；多頂針機構(gòu)由同軸安裝且彼此獨立操 控的內(nèi)外圈頂針機構(gòu)共同組成，它們沿著豎直方向整體設(shè)置在真空內(nèi) 腔室下部，并各自包括頂針、支撐架和從動子；凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)用 于實現(xiàn)內(nèi)外圈頂針機構(gòu)上下動作時序的控制，同時實現(xiàn)單頂針與多頂 針之間的靈活切換。本發(fā)明還公開了相應(yīng)的剝離工藝方法。通過本發(fā) 明，能夠顯著提
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種適用于芯片轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法
本發(fā)明屬于芯片貼裝工藝相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種適用于芯片 轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法，主要包括：基于大轉(zhuǎn)盤仰視相機和晶元盤 斜視相機的觀測和配合，對芯片從晶元盤至大轉(zhuǎn)盤單元的吸附轉(zhuǎn)移執(zhí) 行角度及位置控制；基于大轉(zhuǎn)盤俯視相機和小轉(zhuǎn)盤側(cè)視相機的觀測和 配合，對芯片從大轉(zhuǎn)盤單元至小轉(zhuǎn)盤單元的拾取轉(zhuǎn)移執(zhí)行角度及位置·108·控制；以及基于小轉(zhuǎn)盤仰視相機和小轉(zhuǎn)盤俯視相機的觀測和配合，對 芯片至基板的貼合過程執(zhí)行相應(yīng)控制。通過本發(fā)明，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)芯 片高效倒裝鍵合整個過程中芯片在位置及角度
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種基于微流控技術(shù)的柔性電子制作方法
本發(fā)明公開了一種基于微流控技術(shù)的柔性電子制作方法，其包 括以下步驟：提供一個同軸針頭；提供柔性聚合基底材料，并在所述 柔性聚合基底材料內(nèi)添加表面活性劑以形成柔性組合物；提供平板， 并在所述平板的表面上涂一層預(yù)定厚度的所述柔性組合物；將所述柔 性組合物及導(dǎo)電液體分別置于兩個微型泵內(nèi)，并將兩個所述微型泵的 出口分別連接于所述同軸針頭；先后開啟收容有所述導(dǎo)電液體的微型 泵及收容有所述柔性組合物的微型泵，并基于微流控技術(shù)分別控制兩 個所述微型泵的壓力及流量；待所述同軸針頭內(nèi)的所述柔性組合物與 所述導(dǎo)電液體之
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種獲取材料宏觀三維等效屬性的方法
本發(fā)明屬于材料力學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，并公開了一種獲取材料宏觀三 維等效屬性的方法，包括如下步驟:(1)建立用于描述材料與微觀結(jié)構(gòu) 的雙尺度坐標系，基于漸進性擴展理論，構(gòu)建材料宏觀等效屬性模型; (2)構(gòu)建三維微觀結(jié)構(gòu)的周期性邊界模型;(3)通過有限元分析來建立三 維微觀結(jié)構(gòu)的周期性約束關(guān)系;(4)基于周期性約束關(guān)系建立三維微觀 結(jié)構(gòu)內(nèi)線彈性平衡方程，并根據(jù)線彈性平衡方程獲得微觀結(jié)構(gòu)的位移 場;(5)基于有限元分析與微觀結(jié)構(gòu)的位移場，求解單元應(yīng)變能，獲得 材料宏觀三維等效屬性;本發(fā)明提供的方法在進行
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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一種快速低能耗制備鋁酸三鈣的方法
本發(fā)明涉及一種快速低能耗制備鋁酸三鈣的方法，以分析純四水硝酸鈣 Ca(NO3)2·4H2O、分析純九 水硝酸鋁 Al(NO3)3·9H2O 和分析純一水檸檬酸 C6H8O7·H2O 為原料，加入適量去離子水制成溶液后在 50?65°C攪拌 40?60?min;接著用分析純濃硝酸 HNO3 和分析純濃氨水 NH3·H2O 調(diào)整溶液的 pH 值為 5?7， 繼續(xù)攪拌
武漢大學(xué)
2021-04-14