一種芯片位置和傾角檢測裝置及方法
本發明公開了一種芯片位置和傾角檢測裝置,包括光源組件、光路傳輸組件、攝像組件以及自準直儀,其中光源組件由分別對應于芯片和基板的第一、第二光源構成;光路傳輸組件由第一、第二和第三半透半反棱鏡以及第一、第二反射鏡共同構成,由此在同一光路系統中實現對芯片和基板位置的檢測;攝像組件由具備不同視野的第一和第二攝像單元構成,其中第一攝像單元用于采集芯片或基板的大視野圖像,根據 MARK 點實現初步定位,第二攝像單元用于采集其具體位置圖像;自準直儀用于獲取代表芯片水平傾角信息的法線傾斜量。本發明還公開了相應的檢測
華中科技大學
2021-04-14