一種芯片位置和傾角檢測裝置及方法

其它領(lǐng)域

本發(fā)明公開了一種芯片位置和傾角檢測裝置，包括光源組件、光路傳輸組件、攝像組件以及自準(zhǔn)直儀，其中光源組件由分別對應(yīng)于芯片和基板的第一、第二光源構(gòu)成；光路傳輸組件由第一、第二和第三半透半反棱鏡以及第一、第二反射鏡共同構(gòu)成，由此在同一光路系統(tǒng)中實現(xiàn)對芯片和基板位置的檢測；攝像組件由具備不同視野的第一和第二攝像單元構(gòu)成，其中第一攝像單元用于采集芯片或基板的大視野圖像，根據(jù) MARK 點實現(xiàn)初步定位，第二攝像單元用于采集其具體位置圖像；自準(zhǔn)直儀用于獲取代表芯片水平傾角信息的法線傾斜量。本發(fā)明還公開了相應(yīng)的檢測

試用