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微納米壓印光刻工藝及裝備
微納米結構成形是光電子制造中的核心工藝之一。壓印光刻克服了傳統光學光刻中光學衍射效應的限制，是一種經濟、高效、高分辨的結構成形方法。 正在探索的壓印工藝方法包括：UV-NIL、模板電誘導自組裝納米成形、電潤濕驅動納米壓印等。 正在探討壓印光刻的應用領域包括：集成電路(IC)、微機電系統(MEMS)、生物微流控、光波導、光或磁存儲、有機光電子、平板顯示等器件的制造。
西安交通大學
2021-04-11
一種微位移驅動開關閥
本實用新型公開了一種微位移驅動開關閥，包括微位移驅動器、微位移放大機構、開關閥閥芯組件和閥體基座；微位移放大機構采用由三個滾珠與兩個三角斜面組合的三角放大原理對微位移驅動器輸出的微位移進行放大；開關閥閥芯組件采用上下閥芯等徑分離結構平衡液壓力及方便閥芯的裝配；閥體基座將微位移驅動器安裝空間、微位移放大機構安裝空間、開關閥閥芯組件安裝空間整合為一體。本實用新型微位移放大器可將位移從微米級放大為毫米級，其結構簡結，易于實現；為減少驅動的阻力，開關閥芯采用等徑分離結構，作用于閥芯軸向的液壓力大幅減少，且便于裝配；閥體基座將微位移驅動部分、位移放大部分、開關閥套部分設計為一體，結構緊湊。
浙江大學
2021-04-13
微熱管陣列式供暖散熱器
成果簡介將微熱管陣列式平板熱管技術應用于供暖散熱器，從根本上解決了傳統供暖鑄鐵散熱器和當前流行的鋼制及銅鋁復合型供暖散熱器的金屬熱情度低、耐腐蝕性差等技術瓶頸，提高供暖散熱器的熱效率，降低消費者的日常使用成本，同時進一步改善產品的使用性能。這種外形更加小巧精致、集熱效率特別好的新型產品可以讓消費者自行選擇安放空間，實現一定程度的個性化。全新微熱管陣列式平板技術將是新型高效供暖散熱器發展的核心，在中國目前的整合產品，銷售、服務的大背景下，可以預期，新型供
北京工業大學
2021-04-14
微納多層聚合物光學膜
聚合物多層光學膜代表著光學膜技術的最高水平，在光電 子相關產業有廣泛的應用，國內產品市場完全被美國 3M、日本東麗等跨國公司所壟斷。項目擬通過設計一維、二維光子晶體結構，利用光子晶體結構的禁帶實現不同能量的光子進行選擇性透過，來實現復雜的光譜選擇（例如紅、藍光雙帶通濾波器）和偏振態調控。產品的實現和產業化，可填補國產高端光學膜產品市場空白。
中國科學技術大學
2021-04-14
毛細管等速微通道電泳芯片
本發明所述毛細管等速微通道電泳芯片，包括芯片本體，包括位于芯片本體上的進樣毛細管和檢測毛細管，所述進樣毛細管中部和檢測毛細管一端呈T形垂直連接。采用本發明所述的毛細管等速微通道電泳芯片，采取蝕刻芯片代替普通毛細管，使得電泳路徑明顯縮短并更加規則；采取T字形毛細管，使得前導、尾隨緩沖液和樣品分別進樣更加方便，且能有效縮短電泳路徑減少流體沿程阻力損失，更大限度的保證衡量污染物監測的精確度。
四川大學
2016-09-29
高性能激光精密微加工裝備
團隊正積極布局研發工業級超短脈沖激光器，并已經突破了一系列關鍵技術，自主研發的全波段超短脈沖生成技術已處于國際領先水平，可提供覆蓋“可見光-近紅外-中紅外”的超快激光器，多款產品已獲得ISO9000質量體系認證以及歐盟CE安全資質認證。主要創新成果為掌握從鎖模光開光、超快種子源、光纖放大、諧波產生（倍頻）到最后組裝工藝一整套完整的超快激光技術方案。目前，商業上的光開關器件大多采用基于半導
南京大學
2021-04-14
可膨脹熱塑性微球的合成
通過調節單體合成出的熱膨脹具有快速響應性，能在達到初始膨脹溫度后迅速響應，快速膨脹至最大尺寸；替代甲基丙烯腈的其他單體而且具有較好的發泡倍率。 與傳統的熱膨脹微球相比較，本技術通過調節單體合成出的熱膨脹具有快速響應性，能在達到初始膨脹溫度后迅速響應，快速膨脹至最大尺寸。市售的熱膨脹微球很多為獲得較好的發泡效果均加入甲基丙烯腈，這不僅具有很強的環境污染而且價格較貴， 本成果提出替代甲基丙烯腈的其他單體而且具有較好的發泡倍率。
揚州大學
2021-04-14
一種測量微位移的裝置
本發明公開了一種測量微位移的裝置，包括導軌、固定安裝在導軌前端的固定板、固定安裝在導軌中部的主板以及活動安裝在導軌后端可沿導軌軸線滑動的鏡架，固定板上設有光檢測器，主板上設有激光器、分光鏡和第一反射鏡，鏡架上設有第二反射鏡，所述激光器、分光鏡、第一反射鏡、第二反射鏡和光檢測器構成邁克爾遜干涉儀，被測物體的兩端分別固定在主板和鏡架上。本發明所提供的測量微位移的裝置，結構簡單，更加小型化，便于攜帶；測量結果由光檢測器直接讀取，提高了檢測精度，且操作簡單，易于調節。
西南交通大學
2016-10-19
多功能原位微扭轉測試儀
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、成果簡介
微米尺度材料、人工肌肉、微型發動機等已經成為機械制造、生物醫療、航空航天等領域必不可少的部分，對它們的扭轉力學性能的表征、致動特性的研究、扭矩的計量等是十分必要的，但是如今面臨著缺少可靠的微扭轉測量設備的重大難題。本技術針對這一難題，開發了多功能原位微扭轉測試儀，將測試裝置的分辨率提高nNm量級，使其具有高分辨率、高精度、大量程、高穩定性、高可靠性的特點，適宜在不同環境（如溫度、濕度等）下使用，為今后微納米力學領域的實驗研究、人工肌肉的制備等方面提供了技術支撐。
華中科技大學
2022-07-27
指甲尺度撲翼微飛行器
指甲尺度撲翼微飛行器采用MEMS技術。研究涉及高性能仿生材料、高能量仿生肌肉、高效率仿生機構、高魯棒性仿生控制系統，昆蟲尺度高機動仿生飛行的概念設計，平面轉立體智能復合材料的疊層制造，左右翅膀劈裂控制以及撲翼飛行的高升力、高機動性和高穩定性等關鍵技術。 上海交通大學目前研發的指甲尺度撲翼微飛行器，重100mg以下，翼展30mm左右，拍打角度120-140°，拍打頻率80-100HZ，實現了指甲尺度首次成功起飛，填補了國內的空白。研究成果已申請或授權了17項國家發明專利和3項軟件著作權。 指甲尺度撲翼微飛行器，尺度微小、隱蔽性好、機動靈活，具有自主飛行、攜帶任務載荷執行特定任務、通信及傳輸信息等基本特征，能夠完成常規飛行器或大翼展撲翼機無法完成的工作，可以像昆蟲一樣超低空飛行、靈活機動地進行偵察和搜索，在狹窄空間、復雜地形高效機動地執行危險任務，在軍事偵查、搜索與營救、危險環境探測、監視、電子干擾、以及行星探測等軍事和民用領域具有不可估量的應用潛力
上海交通大學
2021-04-13