一種納米結(jié)構(gòu)三維形貌測量方法及裝置
本發(fā)明公開了一種納米結(jié)構(gòu)三維形貌測量方法及其裝置,可以同時測量納米結(jié)構(gòu)線寬、深度、側(cè)墻角、線緣粗糙度、線寬粗糙度等三維形貌參數(shù)的方法及裝置。本發(fā)明方法步驟如下:將波長為紫外到近紅外波段的光束經(jīng)分光、起偏、前后相位補(bǔ)償?shù)玫降臋E圓偏振光投射到待測;采集待測結(jié)構(gòu)表面反射零級衍射信號,計算得到納米結(jié)構(gòu)測量穆勒矩陣;將測量穆勒矩陣與理論穆勒矩陣進(jìn)行匹配,提取得到待測納米尺寸結(jié)構(gòu)的三維形貌參數(shù)值。本發(fā)明所提供的納米結(jié)構(gòu)三維形貌參數(shù)測量裝置,能為基于圖形轉(zhuǎn)移的批量制造方法如光刻和納米壓印等工藝中所涉及的一維和二維
華中科技大學(xué)
2021-04-14