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本技術(shù)涵蓋大尺寸鈮酸鋰晶體生長(zhǎng)工藝及裝備、晶圓制備、單晶薄膜制備及聲表面波器件，實(shí)現(xiàn)材料、裝備、器件協(xié)同發(fā)展。主要針對(duì)8英寸鈮酸鋰晶體、單晶薄膜及聲表面波器件進(jìn)行開(kāi)發(fā)研究，該技術(shù)屬于我國(guó)“卡脖子”技術(shù)，目前國(guó)際市場(chǎng)空白。在鈮酸鋰晶體生長(zhǎng)方面，開(kāi)發(fā)了大尺寸智能單晶生長(zhǎng)設(shè)備及工藝，包括大尺寸鈮酸鋰晶體生長(zhǎng)模擬仿真設(shè)計(jì)、鈮酸鋰熔體-晶體固液界面特性與控制、大尺寸鈮酸鋰晶體生長(zhǎng)工藝開(kāi)發(fā)、生長(zhǎng)-檢測(cè)-分析-控制人工智能系統(tǒng)。采用離子束切片鍵合技術(shù)制備鈮酸鋰單晶薄膜，突破傳統(tǒng)的薄膜制備方法無(wú)法制備單晶鈮酸鋰薄膜

本項(xiàng)目的創(chuàng)新點(diǎn)主要是采用環(huán)形鏡解調(diào)和GSM數(shù)字移動(dòng)網(wǎng)傳輸信號(hào)的技術(shù)。具有響應(yīng)速度快、調(diào)諧范圍寬、可實(shí)時(shí)檢測(cè)、使用壽命長(zhǎng)、抗電磁干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，有重要實(shí)用意義。 光纖光柵傳感器陣列的每一個(gè)光柵反射率大于90%，線寬小于0.4nm，各光柵中心波長(zhǎng)間隔大于1nm。 研制出寬帶光源等實(shí)驗(yàn)裝置，寬帶光源輸出功率大于1mw，帶寬30nm；已成功應(yīng)用于光纖光柵傳感器陣列檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。 研制出寬帶光源、高雙折射光纖環(huán)鏡濾波邊緣濾波解調(diào)系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)樣機(jī)。 研制出快

電子材料及器件噪聲-可靠性測(cè)試平臺(tái)，該系統(tǒng)是國(guó)內(nèi)外首套電子器件噪聲-可靠性分析系統(tǒng)。采用了基于虛擬儀器的微弱噪聲測(cè)試、基于噪聲的可靠性診斷方法、電子器件噪聲的子波分析方法等關(guān)鍵技術(shù)，將子波分析用于噪聲-可靠性表征，可對(duì)各種電子器件和集成電路模塊進(jìn)行噪聲測(cè)試與分析、內(nèi)部潛在缺陷診斷和無(wú)損預(yù)篩選。系統(tǒng)可以測(cè)量電子器件的各種噪聲參數(shù)，同時(shí)對(duì)噪聲進(jìn)行頻譜分析、子波分析、集總參數(shù)分析。具有實(shí)時(shí)檢測(cè)、采集、和分析, 高精度、高可靠性、智能化、小體積的優(yōu)點(diǎn)，良好的通用性和可升級(jí)性使其同時(shí)適用于科研和生產(chǎn)單位。

本發(fā)明公開(kāi)了一種用于 ESD 保護(hù)的低壓觸發(fā) SCR 器件。本發(fā)明創(chuàng)造采用第一 PMOS 和第二 PMOS 分別進(jìn)行襯底觸發(fā)和柵觸發(fā)，從而降低 SCR 器件的觸發(fā)電壓。 ESD 脈沖信號(hào)施加在 Anode 和 Cathode 之間，第一 PMOS 和第二 PMOS 首先被觸發(fā)導(dǎo)通，第一 PMOS 開(kāi)通之后，給 Nwell 施加一觸發(fā)電流，第二 PMOS 開(kāi)通之后給第三 PMOS 施加一觸發(fā)電壓。第一 PMOS 施加的 Nwell 觸發(fā)電流和第三 PMOS 的溝道電流觸發(fā)晶閘管導(dǎo)通，晶閘管電流（ SCR current ）導(dǎo)通大部分 ESD  電流，從而實(shí)現(xiàn)了 ESD 保護(hù)。

光學(xué)領(lǐng)域頂尖期刊《自然·光子學(xué)》報(bào)道了浙江大學(xué)信息與電子工程學(xué)院陳紅勝教授課題組的一項(xiàng)最新研究：在國(guó)際上率先實(shí)現(xiàn)基于深度學(xué)習(xí)的新一代智能隱身器件。在不依賴任何人為操控的情況下，快速地動(dòng)態(tài)適應(yīng)變化的背景環(huán)境，從而與背景電磁環(huán)境特征融為一體，實(shí)現(xiàn)自適應(yīng)隱身。論文審稿專家認(rèn)為：“這是一項(xiàng)激動(dòng)人心的、及時(shí)而杰出的工作，它連接了變換光學(xué)、電磁超材料和人工智能等領(lǐng)域，為智能光子材料和器件這個(gè)新興領(lǐng)域樹立了很好的標(biāo)桿，也將大大促進(jìn)其他智能電磁器件的發(fā)展?！弊匀唤绱嬖趦煞N“隱身”策略。一種是在變色龍和章魚生物中常見(jiàn)的擬態(tài)隱身，使自己融于周邊環(huán)境；另一種是透明隱身，即光透過(guò)物體時(shí)不產(chǎn)生任何散射，例如海樽和水母?？茖W(xué)家近年來(lái)提出的變換光學(xué)隱身方法則區(qū)別于上述兩種策略，它利用坐標(biāo)變換的方法來(lái)控制電磁波，使其繞過(guò)被隱身的區(qū)域，按照原來(lái)的方向傳播，從而使物體完全隱形。與自然界的“隱身衣”相比，人類的“隱身衣”多數(shù)只能工作在單一的環(huán)境背景和既定的入射波條件。如果稍加改變外界環(huán)境或者入射波，隱身效果便會(huì)大幅度降低。“理想的隱身衣應(yīng)該和章魚和變色龍一樣，能夠快速自動(dòng)地適應(yīng)于變化的外界刺激和背景環(huán)境。”陳紅勝說(shuō)。如何才能實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)？“章魚有色素細(xì)胞，我們有可重構(gòu)的新型人工電磁材料單元；章魚有中樞神經(jīng)，我們有深度學(xué)習(xí)方法；章魚有光敏細(xì)胞，我們可以搭建電磁波和環(huán)境探測(cè)器?！闭撐牡谝蛔髡?、課題組成員錢超說(shuō)。當(dāng)前，深度學(xué)習(xí)已經(jīng)開(kāi)始滲入電磁材料領(lǐng)域，但是主要偏重于理論上設(shè)計(jì)優(yōu)化人工電磁材料。如何在實(shí)驗(yàn)上實(shí)現(xiàn)新型的智能電磁材料、構(gòu)建新一代智能隱身系統(tǒng)并實(shí)現(xiàn)快速有效的自適應(yīng)隱身，是一個(gè)極具挑戰(zhàn)的課題，在此之前還未見(jiàn)成功實(shí)驗(yàn)的報(bào)道。經(jīng)過(guò)三年多的不懈努力，陳紅勝研究團(tuán)隊(duì)組在充分研究隱身領(lǐng)域關(guān)鍵技術(shù)瓶頸的基礎(chǔ)上，在微波段成功實(shí)現(xiàn)了智能自適應(yīng)隱身器件。研究團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)了一項(xiàng)小車智能隱身實(shí)驗(yàn)——小車身披一層超薄的可重構(gòu)的超表面隱身材料，這件“隱身衣”由智能芯片控制，集成了訓(xùn)練好的深度學(xué)習(xí)模型，能夠根據(jù)輸入的電磁信息快速做出決策，改變“隱身衣”的電磁響應(yīng)。探測(cè)雷達(dá)隨機(jī)改變著入射波的頻率、極化和入射角，而小車的任務(wù)就是動(dòng)態(tài)適應(yīng)變化的探測(cè)信號(hào)，對(duì)雷達(dá)“隱身”。當(dāng)環(huán)境發(fā)生變化，變色龍大約需要6秒時(shí)間過(guò)度到環(huán)境色；而當(dāng)電磁環(huán)境發(fā)生變化時(shí)，披著智能隱身衣的小車只需要15毫秒就能自動(dòng)地實(shí)時(shí)“換裝”。陳紅勝教授表示，智能隱身成功地融合了新型電磁材料和人工智能等領(lǐng)域，其采用硬件手段實(shí)現(xiàn)用于隱身調(diào)控的深度學(xué)習(xí)模型，在應(yīng)用中只需單次前向計(jì)算即可做出合理的決策，大大地縮短了響應(yīng)時(shí)間，這一方法對(duì)于實(shí)時(shí)性要求很高的其他應(yīng)用也有很好的借鑒意義

項(xiàng)目采用了中山大學(xué)自主研發(fā)的低損耗低應(yīng)力超低溫氮化硅材料平臺(tái)，研制了一系列光子集成的關(guān)鍵 器件

復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院教授盧紅亮團(tuán)隊(duì)首次結(jié)合硬模板法、原子層沉積技術(shù)和水熱工藝，在低功耗MEMS器件上原位合成了單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線的多級(jí)異質(zhì)復(fù)合納米材料，并以此作為氣體傳感器，對(duì)濃度低至1 ppm的硫化氫實(shí)

該器件屬專利技術(shù)，是一種顏色穩(wěn)定的有機(jī)-無(wú)機(jī)異質(zhì)結(jié)白色電致發(fā)光器件及制備方法。具體地講是一種在有機(jī)異質(zhì)結(jié)界面嵌入無(wú)機(jī)II-VI族化合物薄層而獲得顏色穩(wěn)定的白色電致發(fā)光器件。 通常，在雙層及多層結(jié)構(gòu)的電致發(fā)光器件中，由于器件內(nèi)部異質(zhì)結(jié)界面處界面勢(shì)壘的影響，該界面處所積累的載流子會(huì)隨著所加電壓的增加而增加，器件內(nèi)部各有機(jī)層的電場(chǎng)會(huì)進(jìn)行重新分布，并相應(yīng)地改變著在器件各層上的電壓分布以及發(fā)光區(qū)域在各層中的位置，進(jìn)而改變光譜的形狀，影響發(fā)光顏色。特別地，如果雙層有機(jī)電致發(fā)光器件中的電子傳輸層與空穴傳輸層的相互作用較強(qiáng)，則該異質(zhì)結(jié)界面處會(huì)出現(xiàn)激基復(fù)合物（Exciplex 或Electroplex）的發(fā)光。若利用無(wú)機(jī)材料的載流子（包括電子和空穴）遷移率高以及相對(duì)更加穩(wěn)定的特點(diǎn)，在有機(jī)異質(zhì)結(jié)界面處嵌入一層無(wú)機(jī)材料薄層，可實(shí)現(xiàn)無(wú)機(jī)材料薄層兩側(cè)有機(jī)材料的發(fā)光。利用互補(bǔ)色原理，當(dāng)兩側(cè)有機(jī)材料的發(fā)光可以相互混合成白光時(shí)，則可以得到顯色性很好的白色發(fā)光器件。改變器件所加的電壓只是改變發(fā)光強(qiáng)度，器件的發(fā)光顏色將基本不變。 技術(shù)內(nèi)容： 該器件是一種顏色穩(wěn)定的有機(jī)—無(wú)機(jī)異質(zhì)結(jié)白色電致發(fā)光器件，使用該器件既能克服有機(jī)異質(zhì)結(jié)界面可能會(huì)出現(xiàn)激基復(fù)合物發(fā)光而降低發(fā)光效率，又能解決器件的發(fā)光顏色隨電壓發(fā)生變化等問(wèn)題。 器件的白色電致發(fā)光器件結(jié)構(gòu)為： 在玻璃基片上鍍有一層ITO陽(yáng)極，在ITO陽(yáng)極上鍍有一層有機(jī)空穴傳輸層兼發(fā)光層和一層有機(jī)電子傳輸層兼發(fā)光層，在該兩層有機(jī)層之間，有一層無(wú)機(jī)材料薄層，在有機(jī)電子傳輸層兼發(fā)光層上鍍有金屬背電極。 該器件與目前使用的有機(jī)異質(zhì)結(jié)界面處的激基復(fù)合物發(fā)光來(lái)獲得白色電致發(fā)光的方法相比，其優(yōu)點(diǎn)是：首先，II-VI族無(wú)機(jī)材料的引入可以有效避免有機(jī)異質(zhì)結(jié)界面形成激基復(fù)合物發(fā)光而降低發(fā)光效率；其次，電子傳輸層兼發(fā)光層及其中摻雜的組分（如染料等）都可以優(yōu)化，器件的顏色可得到進(jìn)一步優(yōu)化，而一旦確定了有機(jī)電子傳輸層兼發(fā)光層及其中摻雜組分之后，器件的顏色是基本確定的，不再隨著電壓的改變而改變；再次，由于所用的無(wú)機(jī)材料（II-VI族化合物）本身的能帶結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)，使得從電子傳輸層兼發(fā)光層注入的電子在該有機(jī)/無(wú)機(jī)界面處沒(méi)有勢(shì)壘，而從空穴傳輸層兼發(fā)光層注入的空穴在該有機(jī)/無(wú)機(jī)界面處有一定的空穴注入勢(shì)壘，可以平衡載流子的注入，使得無(wú)機(jī)材料層兩側(cè)的有機(jī)層都有發(fā)光；另外，所插入的無(wú)機(jī)材料薄膜本身對(duì)不同的波長(zhǎng)都具有一定的透過(guò)率。不難理解，無(wú)機(jī)材料較高的電子遷移率和空穴遷移率使得載流子能順利穿透無(wú)機(jī)層到達(dá)相應(yīng)的有機(jī)層中形成激子并復(fù)合發(fā)光，再通過(guò)優(yōu)化器件各層的厚度即可得到顯色性好、顏色穩(wěn)定的白色發(fā)光器件。由于使用了化學(xué)穩(wěn)定性更強(qiáng)的無(wú)機(jī)材料，因此器件的穩(wěn)定性增加了。

電致變色器件是一種納米多層膜功能器件。它是一種通過(guò)低電壓（1-5V）、無(wú)電流、零能耗驅(qū)動(dòng)的多功能變色器件。它可以根據(jù)需求智能化地調(diào)節(jié)可見(jiàn)光透射率和反射率以及紅外光的發(fā)射率，從而在在智能化高效節(jié)能窗、航天器表面熱控、武器裝備隱身、汽車無(wú)眩光后視鏡等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。項(xiàng)目組自主研究開(kāi)發(fā)出了完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的兩種新一代全固態(tài)電致變色器件：全無(wú)機(jī)薄膜型和無(wú)機(jī)/有機(jī)組合型電致變色器件。 研究了電致變色器件在三個(gè)方面的應(yīng)用特性：作為智能化高效節(jié)能窗對(duì)于太陽(yáng)光透過(guò)率的調(diào)節(jié)作用；作為衛(wèi)星表面智能熱控器件其表面紅外發(fā)射率的調(diào)控特性和太陽(yáng)能光譜波段的反射率調(diào)控特性；作為多頻譜隱身器件在可見(jiàn)光和紅外迷彩以及紅外特征抑制方面的色彩和紅外發(fā)射率調(diào)制。 自主開(kāi)發(fā)了高性能的無(wú)機(jī)固態(tài)離子導(dǎo)體薄膜和有機(jī)離子導(dǎo)電膠兩種全固態(tài)電致變色器件中的核心技術(shù)。研發(fā)了全固態(tài)電致變色器件的專用鍍膜制備技術(shù)和裝置。獲得國(guó)家發(fā)明專利4項(xiàng)。發(fā)表學(xué)術(shù)性研究論文30多篇。