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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
一種具備零直流電壓故障穿越能力的 MMC 及其設計方法
本發明公開了一種具備零直流電壓故障穿越能力的 MMC 及其 設計方法。綜合半橋子模塊成本低、運行效率高及全橋子模塊可輸出 負電平的優勢，采用本發明所提出的零直流電壓故障穿越方案，根據 半橋子模塊與全橋子模塊額定電壓，并結合 MMC 直流側額定電壓及 交流側相電壓峰值，計算出半橋和全橋子模塊配置個數；得到的 MMC 可在保證其能實現零直流電壓故障穿越的前提下，有效降低變換器成 本及提高變換器的運行效率。本發明提出的技術方案并不局限于半橋子模塊和全橋子模塊的組合，還可以是半橋子模塊和其它能在非閉鎖 狀態
華中科技大學
2021-04-14
一種用于加工大直徑薄壁盤類零件的數控雙面車床
華中科技大學
2021-04-14
復雜零件全流程加工精度/效率/能耗預測技術與智能工藝優化決策系統
本項目突破了機理模型與工況數據混合驅動的航空/航天復雜薄壁曲面零件全流程加工精度/效率/能耗預測技術，提出了零件全流程加工智能工藝優化決策方法，開發了具有完全自主知識產權的智能加工產線工藝全流程智能決策和優化軟件系統。
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、成果簡介
本項目突破了機理模型與工況數據混合驅動的航空/航天復雜薄壁曲面零件全流程加工精度/效率/能耗預測技術，提出了零件全流程加工智能工藝優化決策方法，開發了具有完全自主知識產權的智能加工產線工藝全流程智能決策和優化軟件系統。
1、提出機理模型和工況數據混合驅動的航空/航天復雜薄壁零件全流程加工精度/效率/能耗高效高精預測算法，突破全流程加工工藝智能優化與決策技術。
2、開發具有自主知識產權的智能加工產線工藝全流程智能決策和優化軟件系統，實現能耗監測/DFM/CAM/CAPP等工藝設計軟件核心算法完全自主可控。
華中科技大學
2022-07-27
一種短路電流零點預測方法及短路電流選相分斷控制方法
本發明公開了一種短路電流零點預測方法及短路電流選相分斷 控制方法，短路電流選相分斷控制方法包括 S1 實時采集電流信號，并 判斷是否發生短路故障，若是，則轉入步驟 S2，若否，則繼續采集電 流信號；S2 采用類-Prony 方法對短路電流進行處理，獲得短路電流零 點；S3 根據短路電流零點、斷路器的分閘動作時間和最佳燃弧時間獲 得距離目標相位的延時時間；S4 判斷繼電保護指令是否達到，若是， 則直接分斷開關，若否，則進入延時倒計時；S5 判斷延時倒計時時間 是否為 0，若是，則轉入步驟 S6，若否，
華中科技大學
2021-04-14
一種適用于復雜零件的固熔復合增材成形方法
本發明公開了一種適用于復雜零件的固熔復合增材成形方法， 該方法包括以下步驟：建立金屬零件 CAD 幾何模型，然后提取 STL 模型，利用分層切片軟件以分層厚度為單位對 STL 模型進行合理分層 并提取各層的輪廓信息，由計算機根據這些輪廓信息生成控制指令； 通過切割裝置用該層對應的數控指令沿該層的輪廓軌跡切割該層板 料；按照各層的排列次序通過焊料依次將各層板料進行粘合，以此完 成整個零件的粘合處理；粘合處理后的整個零件進行加熱，以實現固 熔復合熔接成形，以此方式，完成復雜零件的增材成形。本發明與現 有
華中科技大學
2021-04-14
一種用于軸類零件在裝配或加工中實現翻轉的裝置
本實用新型公開了一種用于軸類零件在裝配或加工中實現翻轉的裝置。包括氣爪機構和翻轉機構，傳送鏈上沿傳送方向依次設置有用于控制軸類零件前進和停止的氣爪機構和翻轉機構；翻轉機構包括兩個底座、兩根豎直導桿、水平導桿和導向桿，兩根豎直導桿下部分別插裝在兩側的底座上；豎直導桿上部固定安裝有水平導桿，兩側的水平導桿相對布置，兩側的水平導桿之間套接有導向桿；底座底部側壁開有槽口，槽口內裝有用于防止軸類零件過度翻轉的彈簧片。本實用新型能有效的保證零件的翻轉，減少了操作工位，同時也減少工作設備，結構簡單，而且不會占用太多空間，適用于各種軸類零件，降低了成本，大大提高了生產效率。
浙江大學
2021-04-13
一種基于分層配料與布料的燒結過程中同步控制污染物排放的新方法
（專利號：ZL 201510137251.9） 簡介：本發明公開了一種基于分層配料與布料的燒結過程中同步控制污染物排放的新方法，屬于燒結過程污染物減排技術領域。本發明的具體步驟為：步驟一：燒結混料：制備燒結混合料(a)和配有添加劑的混合料(b)；步驟二：燒結布料：(A)在燒結臺車的上面鋪裝鋪底料層；(B)將燒結混合料(a)鋪裝在鋪底料層的上面形成第一混合料層；(C)將配有添加劑的混合料(b)鋪裝在第一混合料層上面形成協同減排料層；(D)再將燒結混合料(a)鋪裝在協同減排料層上面形成第二混合料層；步驟三：煙氣集中收集處理：將臺車中后部的風箱內的煙氣經增壓泵匯入布袋除塵器。本發明通過分層配料與布料，實現了燒結過程中多種污染物的同步控制。
安徽工業大學
2021-04-11
混聯雙級 NTP 系統協同 DPF 和 SCR 同步降低柴油機 PM 和 NOx 排放的化學反應機
多年來一直從事發動機排放污染物控制方面的研究工作，主持國家自然科學基金青年項目 1 項，參與國家自然科學基金面上項目 2 項，撰寫論文 10 多篇。近幾年主要針對柴油機 SCR 系統進行了較為細致的研究工作，對 DOC 的 NO 轉化效率、尿素水溶液噴射方案優化、水溶液液-氣相變轉化規律、 SCR 系統流場及化學場模擬、催化劑起燃特性、系統結構優化、熱-流-固-化學多場耦合及能量管理等方面做了較為深入的研究。團隊可開展以下技術服務：協助企業開展發動機后處理系統的 CAE 計算及模擬仿真工作，提供設計
江蘇大學
2021-04-14
人工關節軟骨材料——半晶聚乙烯醇水凝膠彈性體
北京科技大學材料科學與工程學院生物醫用材料研究室研制開發的半晶聚乙烯醇水凝膠彈性體是一種新型醫用生物材料，可用于人關節軟骨的修復或替代。本項目成果屬國內外首創，其應用和推廣不但會產生100萬元／年的經濟效益，而且能帶來巨大的社會效益。利用反復冷凍－融化法可將聚乙烯醇（Polyvinyl alcohol，縮寫PVA）水溶液凝膠化而制成聚乙烯醇水凝膠彈性體（PVA hydrogel elastomers, 縮寫PVAHE），由于其PVA結晶度為50％－60％，因此又稱為半晶聚乙烯醇水凝膠彈性體。1998年以來，這種人工關節軟骨材料通過三次動物實驗（共19個月）表明生物相容性很好，植入材料（PVAHE）周圍組織未產生任何炎性反應和退變。2000年6月至2001年10月曾在中國藥品生物制品檢定所動物實驗室進行PVAHE生物學評價并通過產品注冊檢測。目前，已達到臨床應用的水平。從1996年以來，本項目的研究和研制開發工作是在北京市自然科學基金（3962006）、國家自然科學基金（59775038）和北京市科技項目合同（954020400）資助下歷時5年完成的。多年實驗室試驗和動物試驗表明，半晶聚乙烯醇水凝膠彈性體是一種很有產業化前景的醫用表面修復材料，它具有以下特點：（1）潤滑性能良好（摩擦系數0.05，磨損系數小于10-7mm3/Nm）;（2）充分的吸震能力（含水率70％－80％，多微孔）；（3）很好的生物相客性；（4）彈性大，強度高（壓縮模量14MPa，壓縮強度4MPa）；（5）能與宿主骨（軟骨下骨）牢固連接（界面剪切強度1MPa）。 半晶聚乙烯醇水凝膠彈性體的結構和性能非常接近于人關節軟骨，其主要用途是在矯形外科手術中用于修復或替代關節軟骨。典型產品為厚度2~3mm的平板狀水凝膠彈性體（白色、不透明、觸感類似于橡膠）。
北京科技大學
2021-04-11