硅諧振微傳感器頻率特性測試儀
該儀器主要用于測量諧振微傳感器(也適用于所有諧振式傳感器)的動力學特性:諧振頻率,微振幅,品質(zhì)因數(shù)、幅頻特性、相頻特性等;它也是實現(xiàn)閉環(huán)自激系統(tǒng)以及研制和開發(fā)各種諧振式微傳感器,如微加速度計和微陀螺等不可缺少的測試設(shè)備;本儀器的若干新技術(shù)也可直接應用于其他需要進行微弱信號檢測和處理的場合。適用于從事自動化、測控技術(shù)、傳感器、儀器儀表等科研院所、企業(yè)和高等院校的科研和教學方面的應用。測試儀的創(chuàng)新點為:綜合應用了多項新技術(shù),研制過程中發(fā)展了弱信號相關(guān)檢測技術(shù),超低頻、低噪聲恒流源技術(shù)。
北京航空航天大學
2021-04-13