一種硅光子晶體波導(dǎo)器件的飛秒激光制備系統(tǒng)及方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種硅光子晶體波導(dǎo)器件的飛秒激光制備系統(tǒng)及方法,系統(tǒng)包括飛秒激光器、多級(jí)半波片、偏振分光棱鏡、第一反射鏡、空間光調(diào)制器、第一透鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、第二透鏡、電動(dòng)翻轉(zhuǎn)鏡、第四反射鏡、高倍物鏡、三維加工平臺(tái)、第三透鏡、CCD相機(jī)、計(jì)算機(jī);由飛秒激光器輸出的激光通過(guò)多級(jí)半波片和偏振分光棱鏡,經(jīng)過(guò)反射鏡射入空間光調(diào)制器;用計(jì)算機(jī)將加工方案生成全息圖,加載到空間光調(diào)制器;光束經(jīng)調(diào)制后通過(guò)第一透鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、第二透鏡、第四反射鏡,再經(jīng)過(guò)高倍物鏡聚焦到硅基片上,通過(guò)輸入到計(jì)算機(jī)內(nèi)的程序控制三維加工平臺(tái)移動(dòng),完成加工任務(wù)。本發(fā)明加工步驟簡(jiǎn)易,加工精度高,加工速度快,加工成本低。
湖北工業(yè)大學(xué)
2021-01-12