一種電容式三維風(fēng)速風(fēng)向傳感器
本發(fā)明公開了一種電容式三維風(fēng)速風(fēng)向傳感器,所述傳感器包括第一微柱、第二微柱、襯底、第一空氣層、第二空氣層、第一層金屬極板單元、第二層金屬極板單元和第三層金屬極板單元;所述第一微柱連接在襯底的頂面,第二微柱連接在襯底的底面,第一空氣層、第二空氣層和金屬極板單元位于襯底中,第一層金屬極板單元、第一空氣層、第二層金屬極板單元、第二空氣層和第三層金屬極板單元從上向下依次布設(shè);第一空氣層中設(shè)有第一微支點,第二空氣層中設(shè)有第二微支點,第一微支點和第二微支點分別與襯底連接;第一層金屬極板單元、第二層金屬極板單元和第三層金屬極板單元嵌在襯底中,可用引線引出。該傳感器可以實現(xiàn)零功耗,同時提高風(fēng)速測量的可靠性。
東南大學(xué)
2021-04-11