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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險。浙江大學(xué)流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導(dǎo)體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

該項目應(yīng)用領(lǐng)域：可替代現(xiàn)有各種管殼式換熱器方案，尤其對貴重材料應(yīng)用的經(jīng)濟性更好，如銅管干式蒸發(fā)器、鈦管閉式冷卻器等。

開發(fā)了一種新型微流控注射器“濾頭”，通過簡單將樣品注入濾頭即可實現(xiàn)微粒的“片上濃縮”

管殼式換熱器在現(xiàn)代工業(yè)中占有十分重要的地位，特別是在動力、能源、化工、空調(diào)制冷、石油、冶金、核能等工業(yè)領(lǐng)域中應(yīng)用極為廣泛，它是工藝流程中的一種主要設(shè)備。傳統(tǒng)的弓形折流板換熱器存在流動死區(qū)，易結(jié)垢，無法充分利用傳熱面積從而導(dǎo)致傳熱系數(shù)低，壓降大，管束易產(chǎn)生流體誘導(dǎo)振動等缺點。高效的管殼式換熱設(shè)備能從多方面節(jié)省能源的消耗：一方面可以節(jié)省驅(qū)使換熱器中冷熱兩種流體的運動所需的功耗，同時換熱面積的縮小可以減少生產(chǎn)換熱設(shè)備所需的能耗以及原材料，有效的結(jié)構(gòu)形式還可以減少換熱面結(jié)垢的可能性，延長運行周期。因此換熱設(shè)備的高效強化是實現(xiàn)我國過程工業(yè)節(jié)能的關(guān)鍵因素之一。據(jù)統(tǒng)計，管殼式換熱器大約占世界換熱器市場總份額的35–40%，且在石油、化工領(lǐng)域管殼式換熱器能占到高達70％的份額。因此對螺旋折流板管殼式換熱器進行推廣應(yīng)用對于節(jié)能具有重要的意義，可以創(chuàng)造巨大的社會效益和經(jīng)濟效益。 上世紀(jì)末提出使用螺螺旋折流板支撐結(jié)構(gòu)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的弓形折流板支撐結(jié)構(gòu)可以顯著降低殼側(cè)壓降，也有利于強化換熱，具有良好的綜合性能，雖然近十余年中國內(nèi)外對于螺旋折流板管殼式換熱器開展了較多的研究，但現(xiàn)有的公開發(fā)表的資料中未見到有關(guān)螺旋折流板換熱器的完整的設(shè)計方法介紹。本技術(shù)基于本課題組大量的試驗與數(shù)值模擬研究并參考相關(guān)公開發(fā)表的文獻，開發(fā)一套完整的熱力設(shè)計方法和軟件。 該項目是在教育部重點課題和“973”項目的大力支持下，經(jīng)過多年的努力完成的。針對單殼程多管程單相介質(zhì)流動換熱的螺旋折流板管殼式換熱器所開發(fā)的熱力設(shè)計軟件，該軟件擁有完全的自主知識產(chǎn)權(quán)。本軟件采用VB6.0、EXCEL2003和FORTRAN混合編程。VB形成可視化操作界面，可視化數(shù)據(jù)輸入輸出，實現(xiàn)數(shù)據(jù)傳遞功能；調(diào)用FROTRAN語言編制的可執(zhí)行程序讀取所需數(shù)據(jù)完成核心計算；調(diào)用EXCEL軟件進行相關(guān)數(shù)據(jù)的保存和輸入輸出管理。

本實用新型提出了一種初期雨水棄流裝置，包括井體、進水管、棄流管和出水管，井體側(cè)壁上端設(shè)有進水口，井體內(nèi)中部設(shè)有隔板，且隔板的最高端不高出進水口，隔板將井體內(nèi)部分隔成過濾腔和棄流腔，且過濾腔設(shè)置在井體靠近進水口一側(cè)，井體側(cè)壁上設(shè)有與過濾腔連通的出水口以及與棄流腔連通的棄流口，過濾腔內(nèi)填充有砂層，井體內(nèi)靠近進水口處并位于砂層上方設(shè)有活性炭層；進水管與進水口連通，棄流管與棄流口連通，出水管與出水口連通。本實用新型能夠?qū)⑿×髁康挠晁Y源通過過濾等方式凈化其水質(zhì)，加以利用；通過紗布網(wǎng)對活性炭層進行固定，以防止

該種新型煤粉旋流燃燒器的特點如下：⑴使用“變截面中心管”和“擋塊”結(jié)合的可調(diào)煤粉濃縮器，將煤粉氣流用慣性分離為內(nèi)濃外淡的兩股環(huán)狀氣流，以實現(xiàn)徑向濃淡燃燒。⑵有擴口的外二次風(fēng)使用較高流速，以強化后期混合。⑶有擴口的內(nèi)二次風(fēng)為強旋轉(zhuǎn)射流，用于組織回流區(qū)和前期燃燒。⑷外一次風(fēng)口和內(nèi)二次風(fēng)口之間有一個“雙錐形噴口”，也就是內(nèi)、外兩側(cè)呈相對的兩個錐形的噴口，能輔助內(nèi)二次風(fēng)組織流場，形成穩(wěn)定且有適當(dāng)回流量的中心回流區(qū)；可延遲一、二次風(fēng)的混合，以保證煤粉的著火和揮發(fā)分析出區(qū)的還原性氣氛；將外一次風(fēng)中的煤粉引向中心回流區(qū)方向，可強化著火；噴口后將形成一圈小的駐渦，幫助穩(wěn)燃并擠壓中心回流區(qū)使之變得狹長。⑸外一次風(fēng)，即淡側(cè)一次風(fēng)具有隔離濃側(cè)一次風(fēng)與二次風(fēng)的作用，使一次燃燒區(qū)為一個狹長的還原性區(qū)域。⑹內(nèi)一次風(fēng)使用了齒形穩(wěn)燃環(huán)，齒后將形成一個個小駐渦，利于著火；齒狀阻塞將加強濃一次風(fēng)與回流區(qū)之間的湍流混合；齒狀噴口會加大濃一次風(fēng)的周界長度，也可強化混合，穩(wěn)定著火。。

成果創(chuàng)新點 通風(fēng)換氣、餐飲油煙凈化、腐蝕物輸運、工業(yè)分離輸 送、河道除淤疏浚、采礦打沙及食品加工等領(lǐng)域。主要技 術(shù)創(chuàng)新路徑：龍卷風(fēng)旋渦能夠產(chǎn)生強大抽吸力 核心優(yōu)勢：風(fēng)機抽吸力絲毫不減，而套筒抽排能力與 風(fēng)機相當(dāng)，總排風(fēng)量大大高于單獨的風(fēng)機的排風(fēng)量；旋流 卷吸套筒獨立使用，為風(fēng)機另辟進風(fēng)渠道實現(xiàn)免污染，排 風(fēng)管道暢通無阻，特別適合腐蝕性或復(fù)雜環(huán)境中工作；旋 流卷吸無需額外能耗，旋轉(zhuǎn)氣流產(chǎn)生離

通風(fēng)換氣、餐飲油煙凈化、腐蝕物輸運、工業(yè)分離輸送、河道除淤疏浚、采礦打沙及食品加工等領(lǐng)域。主要技術(shù)創(chuàng)新路徑：龍卷風(fēng)旋渦能夠產(chǎn)生強大抽吸力 核心優(yōu)勢：風(fēng)機抽吸力絲毫不減，而套筒抽排能力與風(fēng)機相當(dāng)，總排風(fēng)量大大高于單獨的風(fēng)機的排風(fēng)量；旋流卷吸套筒獨立使用，為風(fēng)機另辟進風(fēng)渠道實現(xiàn)免污染，排風(fēng)管道暢通無阻，特別適合腐蝕性或復(fù)雜環(huán)境中工作；旋流卷吸無需額外能耗，旋轉(zhuǎn)氣流產(chǎn)生離心力還可以實現(xiàn)分選截留，實現(xiàn)凈化功能。