一種低剛度的磁懸浮重力補償器及微動臺結構
本發(fā)明屬于重力補償結構相關技術領域,其公開了一種低剛度 的磁懸浮重力補償器,其包括動子結構及定子結構,動子結構包括外 永磁陣列環(huán)、內永磁陣列環(huán)及動子支撐框架,外永磁陣列環(huán)及內永磁 陣列環(huán)分別設置在動子支撐架的環(huán)形槽相對的兩個側壁上,內永磁陣 列環(huán)的厚度大于外永磁陣列環(huán)的厚度;定子結構包括收容于環(huán)形槽內 的線圈支架及嵌設在線圈支架上的定子永磁環(huán),所述定子永磁環(huán)的高 度大于厚度,定子永磁環(huán)與內永磁陣列環(huán)的間距小于定子永磁環(huán)與外 永磁陣列環(huán)的間距。本發(fā)明還提供了具有上述的磁懸浮重力補償器的 微動臺結構。本
華中科技大學
2021-04-14