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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類(lèi) 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過(guò)超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類(lèi)半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來(lái)在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

 許多工業(yè)設(shè)備往往因?yàn)槟硞€(gè)關(guān)鍵零部件表面的損壞，導(dǎo)致整個(gè)系統(tǒng)效能大幅度降低甚至報(bào)廢，造成極大地浪費(fèi)。綜合應(yīng)用先進(jìn)的表面涂層技術(shù)，不僅可以極大延長(zhǎng)裝備關(guān)鍵零部件的壽命，提高產(chǎn)品質(zhì)量，甚至可以修復(fù)已損壞的關(guān)鍵零部件，實(shí)現(xiàn)裝備的再制造，達(dá)到節(jié)能、減排、降耗、環(huán)保之目的。 熱噴涂技術(shù)可使工件表面獲得不同于基體材料的特性，具備更優(yōu)良的強(qiáng)度、硬度、耐磨、耐蝕、耐熱、絕緣、導(dǎo)電、密封、抗氧化、隔熱、消毒、防微波輻射以及其它各種特殊物理化學(xué)性能。它不僅可以再制造修復(fù)關(guān)鍵零部件，使報(bào)廢的零部件

對(duì)于大型或超大型零部件，如大型箱體類(lèi)零件上，常有軸承孔系以及面的平行、垂直等位置精度的要求，本技術(shù)區(qū)別于傳統(tǒng)的加工方法，利用特有的等分定位技術(shù)和車(chē)間現(xiàn)場(chǎng)條件，可方便地確定孔的對(duì)稱(chēng)位置和關(guān)聯(lián)面間的位置，且加工或修正出具有很高位置精度的零部件。 工作原理：等分定位新技術(shù) + 特殊的定位處理技術(shù)

致力于高性能非調(diào)質(zhì)鋼鍛件關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)與應(yīng)用，通過(guò)鍛件一體化復(fù) 合鍛造成形技術(shù)、非調(diào)質(zhì)鋼曲軸和連桿熱溫復(fù)合鍛造成形工藝及專(zhuān)用模具、 以及非調(diào)質(zhì)鋼復(fù)雜構(gòu)件組織性能差異化控制技術(shù)等技術(shù)，創(chuàng)新性發(fā)明了非 調(diào)質(zhì)鋼在汽車(chē)零部件上應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)，解決了非調(diào)質(zhì)鋼強(qiáng)度有余而韌性 不足的關(guān)鍵問(wèn)題。利用該成果對(duì)非調(diào)質(zhì)鋼線材通過(guò)控制形變、冷傲、滾絲、 時(shí)效處理等工藝技術(shù)，研究開(kāi)發(fā)的形變強(qiáng)化高強(qiáng)度緊固件達(dá)到GB/T3098. 1 中的10.9級(jí)和12.&

1. 具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的復(fù)雜服役條件下強(qiáng)度與耐久性評(píng)價(jià)技術(shù)：載荷譜處理新技術(shù)——有機(jī)地結(jié)合強(qiáng)度的動(dòng)態(tài)變化特征等的載荷譜處理新技術(shù)；強(qiáng)度與耐久性快速試驗(yàn)和評(píng)價(jià)技術(shù)——基于動(dòng)態(tài)強(qiáng)度特征零部件耐久性快速評(píng)價(jià)技術(shù)；復(fù)雜載荷下零部件疲勞壽命預(yù)測(cè)技術(shù)——有機(jī)的結(jié)合載荷強(qiáng)化和損傷特性、基于強(qiáng)度特征的疲勞累積損傷理論進(jìn)行復(fù)雜載荷下汽車(chē)零部件壽命預(yù)測(cè)和評(píng)價(jià)。   2.基于載荷與強(qiáng)度特性的輕量化設(shè)計(jì)技術(shù)：具有自主產(chǎn)權(quán)的基于強(qiáng)度特征的輕量化設(shè)計(jì)方法——基于零部件載荷譜和強(qiáng)度特征進(jìn)行輕量化設(shè)計(jì)，該方法能夠充分發(fā)揮材料的強(qiáng)度潛能，疲勞強(qiáng)度和疲勞壽命設(shè)計(jì)更加合理；在零部件的輕量化設(shè)計(jì)中把靜強(qiáng)度、疲勞強(qiáng)度和壽命、熱處理要求、動(dòng)態(tài)特性和成本有機(jī)結(jié)合起來(lái)進(jìn)行，把產(chǎn)品的強(qiáng)度與耐久性延伸到成形工藝和熱處理強(qiáng)化工藝，把成形工藝-熱處理工藝-產(chǎn)品疲勞耐久性能關(guān)系有機(jī)的結(jié)合起來(lái)，成功的應(yīng)用于等速萬(wàn)向傳動(dòng)中間軸自主開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)中。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹MFR-20型臺(tái)式顆粒制樣機(jī)（ MFR制樣機(jī)）關(guān)鍵詞： 顆粒制樣機(jī)，MFR制樣機(jī)，快速取樣      MFR-20型臺(tái)式顆粒制樣機(jī)又叫MFR制作快速用在熔指儀上的制樣機(jī)。也叫MFR制樣機(jī)用于從材料上直接取顆粒樣品下來(lái)，做實(shí)驗(yàn)用，是少量快速制樣的好幫手，可用來(lái)來(lái)料檢測(cè)。產(chǎn)品成形后，材料分析。產(chǎn)品配方分析，直徑可作到。3MM 4MM.5MM 6MM,別的直徑可以訂做，是科研機(jī)構(gòu)和各大學(xué)院及各質(zhì)檢院的快速取樣的重要裝備和首選儀器。一、主要技術(shù)參數(shù)：1、動(dòng)力類(lèi)型:電動(dòng)2、主電機(jī)功率:0.37（kw）3、公稱(chēng)壓力:20（kn）4、喉口深度:65（mm）5、滑塊行程:40（mm）6、控制形式:人工7、模柄孔尺寸:20（φmm*mm）8、布局形式:立式9、適用行業(yè):通用10、作用對(duì)象材質(zhì):金屬 和非金屬11、產(chǎn)品類(lèi)型:全新12、沖樣尺寸：2MM-10MM13、沖樣厚度：可達(dá)5CM14、沖樣刀具：可換15、沖樣可度：可調(diào)16、設(shè)備整體：鑄造17、沖擊速度：200/分18、沖擊頻率：連續(xù)19、電壓：220V20、設(shè)備重量：80KG

2012年，國(guó)內(nèi)甲醇產(chǎn)能超過(guò)5000萬(wàn)噸，甲醇產(chǎn)能?chē)?yán)重供大于求，開(kāi)發(fā)甲醇下游產(chǎn)品具有廣 闊的市場(chǎng)前景。2011年我國(guó)燃料乙醇產(chǎn)量約200萬(wàn)噸，燃料乙醇的需求在不斷增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)2015 年，按照國(guó)內(nèi)目前使用的E10 (汽油中摻混10%的乙醇) 標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算，對(duì)燃料乙醇的需求將達(dá)1000 萬(wàn)噸。我國(guó)對(duì)乙醇的潛在消費(fèi)需求，為甲醇直接制氫技術(shù)帶來(lái)了良好的市場(chǎng)機(jī)遇。目前的甲醇 價(jià)格持續(xù)低迷，而乙醇需求增長(zhǎng)潛力巨大，而目前糧食乙醇的發(fā)展受到限制，甲醇制乙醇技術(shù) 將帶來(lái)顯著的經(jīng)濟(jì)效益及社會(huì)效益，對(duì)替代傳統(tǒng)的糧食發(fā)酵路線，緩解石油資源緊缺的矛盾， 提高我國(guó)能源安全，具有重要的戰(zhàn)略意義和深遠(yuǎn)影響。

本項(xiàng)目采用了一種新型制氫工藝，該工藝主要包括四部分：1）鐵氧化物與水反應(yīng)得到純凈的氫氣；2）一氧化碳還原鐵氧化物；3）還原反應(yīng)產(chǎn)生的二氧化碳與碳反應(yīng)生成一氧化碳；4）還原氣造氣過(guò)程中所需碳源由煤經(jīng)過(guò)高溫炭化得到。整個(gè)工藝過(guò)程消耗的是煤和水，得到的產(chǎn)物是純凈的氫氣、純凈的一氧化碳和煤炭化釋放出的煤氣（主要成分是甲烷、氫氣和一氧化碳，可直接作為燃?xì)馐褂茫Ｔ摲椒ǖ膬?yōu)勢(shì)在于：1）不把煤作為燃料，而將其作為制氫的原料，可以實(shí)現(xiàn)煤炭中有害物質(zhì)的集中處理與轉(zhuǎn)化，從而避免煤炭分散燃燒帶來(lái)的環(huán)境污染和高處理成本。2）煤轉(zhuǎn)化為氣體燃料，其能量利用效率大大提高，如煤基氫—電聯(lián)產(chǎn)系統(tǒng)效率可達(dá)75%，純發(fā)電效率達(dá)到60%，而傳統(tǒng)的煤燃燒發(fā)電系統(tǒng)的效率只有33%～35%。3）本方法中氫氣和一氧化碳分別在不同的反應(yīng)階段，由不同的反應(yīng)器中分別輸出，可以直接得到純凈的氫氣和一氧化碳，與傳統(tǒng)的煤氣化制氫工藝相比，減少了分離、凈化環(huán)節(jié)，工藝更簡(jiǎn)單。4）各種煤經(jīng)過(guò)高溫炭化處理后都可以作為反應(yīng)所需的碳源，而煤氣化制氫工藝則對(duì)煤種的適應(yīng)性有較大局限性。已證實(shí)了該工藝的可行性與穩(wěn)定性，項(xiàng)目目前進(jìn)入進(jìn)入中試放大研究階段。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹

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