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浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、技術分析 如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。

成果描述：利用簡單鐵鹽與大環多胺形成配合物作為催化劑，催化非活性芳烴和含N雜芳烴的C-H活化直接芳基化反應。首次實現了鐵催化的直接Suzuki偶聯，并且獲得了中等到較好的產率和很好的官能團容忍性，并獲得了較好的選擇性。這個新型的鐵催化體系的發現，克服了之前類似反應底物需要前活化，需要使用用貴金屬作為催化劑的缺點。對于利用這一反應體系有效地簡化了合成步驟，且大大的提高了反應的原子經濟性，推動了化學反應綠色合成的發展，為其應用于藥物合成提供了良好的基礎。市場前景分析：還處于實驗室研制階段。與同類成果相比的優勢分析：1、反應活性及選擇性的控制；2、大規模反應條件的控制。 國際先進。

已有樣品/n本項目在已有的頭孢菌素C酰化酶原始序列基礎上，篩選出對頭孢菌素C的活性和穩定性均有提高的新型突變體，并進行固定化研究。目前該固定化酶反應轉化率可達99%以上，重復批次在200批左右，還有進一步提升空間。后續在該突變體基礎上繼續進行定向進化和固定化研究，進一步提高其反應活性和重復使用批次，以打破韓國的技術壟斷，進一步降低國內7-ACA生產成本。在現有突變體基礎上繼續進行定向進化和固定化研究，以篩選到活性和穩定性更強的突變體。7-ACA目前為國內最大的抗生素原料之一，其全國總產量約為1500

利用簡單鐵鹽與大環多胺形成配合物作為催化劑，催化非活性芳烴和含N雜芳烴的C-H活化直接芳基化反應。首次實現了鐵催化的直接Suzuki偶聯，并且獲得了中等到較好的產率和很好的官能團容忍性，并獲得了較好的選擇性。這個新型的鐵催化體系的發現，克服了之前類似反應底物需要前活化，需要使用用貴金屬作為催化劑的缺點。對于利用這一反應體系有效地簡化了合成步驟，且大大的提高了反應的原子經濟性，推動了化學反應綠色合成的發展，為其應用于藥物合成提供了良好的基礎。

產品詳細介紹 Fitouch—C系列電子白板具備人性化設計和個性化應用等優勢，極大地提高了教學軟硬件資源的利用率。該產品能與計算機、投影機、校園多媒體設備完美結合，將平面教學提升到立體互動教學的嶄新模式，實現了真正的生動化教學，讓上課成為一種享受。自主開發的Fitboard互動白板使用簡單，3分鐘會用，無需改變老師任何習慣，無需啟動軟件，直接點擊板體上的快捷鍵圖標即可輕松板書、標注和操作電腦。 設計特色： 1、人性化快捷鍵點擊、輕松教學； 2、紅外多點觸摸技術，暢享多人互動樂趣； 3、支持多操作系統，免驅啟動，即插即用； 4、支持定制，堅固面板，易安裝、易使用； 5、自帶Fitouch專業互動教學軟件，功能強大易使用； 6、300點/秒速寫反應，軌跡平滑，體驗飛一般的流暢感受；

產品詳細介紹E-201pH電極采用聚碳酸脂外殼，由pH敏感玻璃電極和銀-氯化銀參比電極復合而成，它能與各種pH計配合使用，用于測量溶液中的pH值，本電極具有使用方便、易清洗、重復性好、抗干擾性能強等特點。E-201型pH復合電極 技術參數  1.測量范圍：0～14pH  2.適用溫度：0～60℃  3.百分理論斜率：(PTS)≥98.5％(25℃)  4.零點pH值：7±0.25pH  5.內阻：≤250MΩ(25℃)  6.堿誤差：≤15mV(25℃)  7.響應時間：≤2s(25℃)  8.尺寸：Φ12×120（mm）

產品詳細介紹 經過高精度、高可靠性濾波處理，支持多點觸控體驗。 翻蓋式嵌入至講臺，支持135°的最佳角度翻轉。 10寸觸摸屏平板，屏幕分辨率為1280*1024并向下兼容。 支持千兆以太網輸入及5GHZ無線網絡輸入，各類接口均符合國際標準。 可廣泛應用于教學、培訓、視頻會議等場所。

產品詳細介紹 經過高精度、高可靠性濾波處理，支持多點觸控體驗。 支持低噪音一鍵式的自動柔和式升降體驗。 支持HDMI視頻信號輸入、3.5音頻數據輸入及輸出、USB3.0輸出、220V電源輸出。 支持千兆以太網輸入及5GHZ無線網絡輸入，各類接口均符合國際標準。 10.1寸觸摸平板，四核CPU。 可廣泛應用于教學、培訓、視頻會議等場所。

產品詳細介紹一、 儀器用途：723C型分光光度分析是其于不同物質對某一波長單色光有選擇吸收的特性而建立的分析方法。該儀器內置微機，實現人機對話，操作簡單、功能完善，可廣泛應用在石油、化工、醫藥、環保、教學、材料科學等各個領域，是科研、生產、教學不可缺少的分析測試儀器。特點： 723系列可見分光光度計采用低雜散光，高分辨率的單光速光路結構，儀器具有良好的穩定性，重現性。應用最新微機處理技術，使操作更為簡便，幾個按鍵就能完成測試，并且具有自動調校0%T和100%T等控制功能及多種方法的數據處理功能。LCD數字顯示器可顯示透射比、吸光度和濃度等參數，提高了儀器的讀數準確性。打印輸出，配有串行口，可直接連接打印機，打印實驗數據。標準RS-232通訊接口（串口），可通過用戶應用軟件（需另購）和普通的裝有Microsoft Windows系統的個人電腦聯機。進行試驗測試和數據處理。二.技術參數產品型號 723PCS  可變狹縫掃描型 723PC  掃描型 723C    (723OG)光學系統 1200條 / 毫米衍射光柵波長范圍 325-1000nm 325-1000nm 325-1000nm波長精度 ±0.5nm(寬帶2mm) ±1nm波長重復性 ≤0.2nm ≤0.5nm光譜帶寬 1nm、2n、4nm、5nm 4nm測量范圍 0.125%T    -0.097-3.00A0-1999C     0-1999F 0-125%T     -0.097-2.70A0-1999C      0-1999F 0-125%T     -0.097-2.50A0-1999C      0-1999F透射比準確度 ±0.5%T投射比重復性 ≤0.2%T雜散光 ≤0.15T(λ340、420nm) ≤0.2T(λ340、420nm) ≤0.3T(λ340、420nm)基線直線性 ±0.005A(寬帶2nm) ±0.005A /穩定性 ≤0.004A /λ500nm / 30min波長驅動 自動，最小設定值0.1nm顯示 LCD液晶顯示（2*20帶背光）輸出 RS-232C 有標準打印口 支持分析軟件 有 支持電源 22V 50HZ 200W外形尺寸 440×370×200mm重量 17Kg三.可選購附件      多用途轉換架         可調式微量吸收池架   100mm吸收池架水域恒溫吸收池架8-22mm試管吸收池架程控4槽位樣品架四、反射附件軟件用戶應用軟件儀器具有的測試和數據處理功能上海光學儀器進出口有限公司地 址 ：上海市楊浦區武東路32號2幢401室 郵編 ：200433電話：021-35030526   手機：13916201020   傳真：021-65563863 E-mail:bsg040206@163.com     http://www.soiec.cpooo.com報價：723PCS：11800元   723PC：7850元   723C：6250元（含稅，款到后發貨）  聯系人：卜生高