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光掩膜版(又稱光罩，掩膜版，英文 Photo-mask )是芯片制作中實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)圖形轉(zhuǎn)移的載體，是決定其微細(xì)結(jié)構(gòu)和線寬精度的核心材料和工具。 目前中國半導(dǎo)體掩膜版的國產(chǎn)化率10%左右，90%需要進(jìn)口，高端掩膜版國產(chǎn)化率3%，miniLED和microLED產(chǎn)業(yè)升級也需要更多高端掩膜版。隨著中國市場需求的持續(xù)提升，掩膜版產(chǎn)能嚴(yán)重不足。并且中國半導(dǎo)體掩膜版的產(chǎn)業(yè)起步較晚，技術(shù)滯后，核心技術(shù)和裝備基本讓國外公司壟斷，特別是在設(shè)備、材料領(lǐng)域眾多技術(shù)處于“卡脖子”狀態(tài)，例如掩膜版制造的核心裝備光刻機(jī)、檢測機(jī)、測量機(jī)、修復(fù)機(jī)和貼膜機(jī)等都依賴進(jìn)口，嚴(yán)重制約中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。華中科技大學(xué)徐智謀教授團(tuán)隊(duì)致力于全套高端半導(dǎo)體光掩膜版的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)與量產(chǎn)，為“卡脖子”技術(shù)研究而努力。 具有建立180 nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)線相關(guān)核心技術(shù)；具備130 nm至28 nm半導(dǎo)體掩膜版研發(fā)、設(shè)計(jì)及驗(yàn)證能力。主要研究成果如下： 1） 工藝突破 團(tuán)隊(duì)掌握了掩膜版MEMS微納加工量產(chǎn)核心技術(shù)，如電子束光刻、激光光刻和納米壓印光刻等MEMS微納加工工藝的各類技術(shù)參數(shù)的搭配和優(yōu)化，以及大數(shù)據(jù)量軟件快速處理、補(bǔ)償?shù)取? 2） 裝備國產(chǎn)化 A. 超高精度二維測量裝備 尺寸測量是驗(yàn)證掩膜版技術(shù)指標(biāo)的核心，主要包括關(guān)鍵尺寸測量(CD)和長尺寸測量(TP)。團(tuán)隊(duì)已掌握掩膜版的關(guān)鍵測量技術(shù)，達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平，具有整套設(shè)備的整機(jī)制造能力。 TP測量是掩膜版制作的核心指標(biāo)，直接影響到客戶的套合精度，該測量設(shè)備一直由國外極少數(shù)廠商壟斷，且價(jià)格昂貴，一般在1000萬美元以上，高端限制對中國出口。團(tuán)隊(duì)目前正在攻克該項(xiàng)技術(shù)，已取得階段性成果。 B. 缺陷修復(fù)裝備 掩膜版修補(bǔ)技術(shù)是提升良品率的關(guān)鍵手段，該技術(shù)一直為國外壟斷。團(tuán)隊(duì)已熟練掌握UV、DUV激光化學(xué)沉積技術(shù)及皮秒飛秒激光金屬處理技術(shù)，具備整機(jī)制造能力，可降低設(shè)備采購成本70%以上。 C. Pellicle自動(dòng)貼膜裝備 隨著產(chǎn)品精度的提升和應(yīng)用領(lǐng)域的高端化，掩膜版貼膜是個(gè)不可缺少的重要環(huán)節(jié)。在IC制造領(lǐng)域100%掩膜版需貼Pellicle，在IC封裝領(lǐng)域90%以上需貼膜，在LED領(lǐng)域80%以上需貼膜。該貼膜設(shè)備一直國外公司壟斷，國內(nèi)廠家沒有提供，國外采購全自動(dòng)貼膜設(shè)備需100萬美元左右。團(tuán)隊(duì)具備研發(fā)制造該設(shè)備的能力，貼膜精度±0.1mm,且有設(shè)備正式在產(chǎn)線運(yùn)營，制造成本可節(jié)約90%以上。 3） 廠房建設(shè)關(guān)鍵技術(shù) 團(tuán)隊(duì)對MEMS及其掩膜工廠工藝設(shè)備廠務(wù)設(shè)計(jì)有豐富經(jīng)驗(yàn)，掌握高等級防微震廠房結(jié)構(gòu)和設(shè)備平臺的設(shè)計(jì)施工，可達(dá)到VC-D級技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，滿足納米級生產(chǎn)技術(shù)要求。 【技術(shù)優(yōu)勢】 （1）掌握了高性價(jià)比掩膜版量產(chǎn)的關(guān)鍵核心技術(shù)，包括部分裝備的國產(chǎn)化，解決“卡脖子”技術(shù)難題，量產(chǎn)線建設(shè)成本節(jié)約30%以上； （2）具備28 nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)掩膜版設(shè)計(jì)開發(fā)能力和驗(yàn)證平臺，驗(yàn)證周期可縮短3倍； （3）擁有一支20多年以上掩膜版量產(chǎn)、研發(fā)和銷售經(jīng)驗(yàn)的隊(duì)伍，成熟的企業(yè)管理經(jīng)驗(yàn)，保證企業(yè)穩(wěn)步成長，確保投資風(fēng)險(xiǎn)可控。 【合作方式】 股權(quán)投資合作共建或政府孵化+中試線。

本發(fā)明公開了一種摩擦制備柔性透明導(dǎo)電膜的方法，該方法將 聚乙烯膜或者聚氯乙烯膜平鋪在基板上，再將納米石墨粉按 0.005～ 0.02 毫克/平方厘米均勻鋪在聚乙烯或者聚氯乙烯膜上，然后將納米石 墨粉在聚乙烯膜或者聚氯乙烯膜上借助基板進(jìn)行摩擦，使納米石墨粉 在聚乙烯膜或者聚氯乙烯膜表面形成的微導(dǎo)電溝道，得到柔性、透明 的導(dǎo)電膜。本發(fā)明具有工藝周期短，實(shí)施便捷的特點(diǎn)。產(chǎn)品與目前市 場上的透明導(dǎo)電 ITO 玻璃相比，表現(xiàn)出

本發(fā)明公開了一種擠壓涂布機(jī)膜厚控制方法，包括以下步驟： 在擠壓涂布機(jī)更換新的漿料正式生產(chǎn)之前，進(jìn)行一次預(yù)生產(chǎn)過程，測 量記錄有關(guān)參數(shù)；根據(jù)獲得的一系列濕料、干料厚度、及涂布間隙寬 度的樣本數(shù)據(jù)，采用降噪自編碼的方法訓(xùn)練建立兩個(gè)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型； 根據(jù)獲得的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型，由目標(biāo)干料厚度預(yù)測所需濕料的厚度和涂 布間隙的控制寬度；生產(chǎn)過程中實(shí)時(shí)監(jiān)控濕料的厚度，采用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò) 模型預(yù)測方法，及時(shí)調(diào)整涂布間隙的控制寬度，以保證濕料厚

本發(fā)明屬于柔性膜收卷工藝相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種柔性膜收 卷質(zhì)量視覺檢測方法，包括:針對收卷裝置來布置相應(yīng)的視覺檢測裝 置及檢測驅(qū)動(dòng)裝置;在收卷過程中對料卷端面執(zhí)行成像檢測，并獲取 不同焦距下的端面圖像，直至收卷完畢;在收卷完成時(shí)構(gòu)建適當(dāng)算法 求得料卷端面的特征點(diǎn)深度方差，并利用該深度方差來作為量化指標(biāo) 評價(jià)成卷質(zhì)量。本發(fā)明還公開了相應(yīng)的實(shí)時(shí)糾偏處理方式。通過本發(fā) 明，不僅實(shí)現(xiàn)了柔性膜收卷的高精度質(zhì)量檢測，還提出了一種柔性膜 成卷效果量化評價(jià)指標(biāo)，并適用于各類成卷設(shè)備的應(yīng)用場合。

項(xiàng)目背景：1.在我國食品行業(yè)中塑料膜作為包裝材料的主要 形態(tài)之一被廣泛應(yīng)用。對于食品包裝防止食品變質(zhì)，提出了更高 的要求“如何減少防腐劑和脫氧劑的加入并有效增加食品的架貨 期、保持食品的新鮮度，在不脫膜的情況下耐高溫蒸煮”成為當(dāng) 下包裝行業(yè)研究的熱點(diǎn)。2.傳統(tǒng)的聚丙烯 PP 類材料雖然耐蒸煮， 但強(qiáng)度不高，柔韌性不足，傳統(tǒng)的 PE 類材料在耐蒸煮性、透氧 阻隔性又處劣勢；通過工藝技術(shù)的研發(fā)，尋找合適的配方生產(chǎn)膜 材料，尤其在高阻隔防腐方面改進(jìn)復(fù)合膜結(jié)構(gòu)，解決高端市場對 食品、藥品等包裝材料的需求。 所需技術(shù)需求簡要描述：1.實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品經(jīng) 121℃和 135℃高溫 蒸煮，蒸煮過后阻氧系數(shù)可達(dá)到 1 以下；2.包裝材料耐壓、耐拉 伸和耐褶皺，內(nèi)容物兩年內(nèi)不變色。  對技術(shù)提供方的要求:具有相關(guān)研究成果，國內(nèi)領(lǐng)先的院校 或科研單位。 

成果與項(xiàng)目的背景及主要用途： 近年來海水淡化技術(shù)的快速發(fā)展及其成本的大幅降低，使越來越多的國家和地區(qū)開始考慮利用淡化水作為第二水源，以緩解日益嚴(yán)峻的淡水危機(jī)。目前可用于工業(yè)規(guī)模的海水淡化方法反滲透技術(shù)的發(fā)展速度最快，成本的降幅也最大。其原因主要在于膜性能的不斷提高和高效能量回收裝置的廣泛使用。能量回收裝置作為反滲透海水淡化系統(tǒng)的必備設(shè)備之一，對大幅降低淡化系統(tǒng)的運(yùn)行能耗，進(jìn)而降低產(chǎn)水成本至關(guān)重要。正位移式能量回收裝置近年來備受市場青睞，其產(chǎn)品市場占有率也呈逐年快速增長的發(fā)展趨勢，淡化系統(tǒng)本體噸水電耗也由 80 年代的 8.0 kWh 降低到約 2.0kWh。 技術(shù)原理與工藝流程簡介： 按照工作原理的不同，能量回收裝置可分為水力透平式（或離心式）和正位移式兩種類型。水力透平式運(yùn)行時(shí)通常需要經(jīng)過“壓力能-軸功-壓力能”兩步轉(zhuǎn)化過程，能量回收效率相對較低，為 50-75%。而正位移式則利用濃鹽水直接增壓進(jìn)料海水的方式回收壓力能，效率高達(dá) 90%-96%。此外，正位移式能量回收裝置使用過程中還具有根據(jù)運(yùn)行需要靈活調(diào)節(jié)淡化系統(tǒng)的產(chǎn)水回收率的特點(diǎn)。“閥控余壓能量回收裝置”采用正位移式工作原理，集成式水壓缸和閥組相結(jié)合來實(shí)現(xiàn)反滲透海水淡化系統(tǒng)排放濃鹽水余壓能的回收利用。能量回收裝置采用 PLC控制，易于與上位系統(tǒng)相耦合，控制精度和可調(diào)性都很好。 技術(shù)水平及專利與獲獎(jiǎng)情況： 該項(xiàng)目經(jīng)國家海洋局鑒定驗(yàn)收（國海鑒字[2004]003 號），認(rèn)為該成果達(dá)到國際先進(jìn)水平。該技術(shù)已于 2004 年 7 月 7 日獲準(zhǔn)國家發(fā)明專利（授權(quán)公告號 CN1156334C）。 應(yīng)用前景分析及效益預(yù)測： 能量回收裝置由于具有較高的能量回收效率，已經(jīng)逐漸成為海水淡化行業(yè)中研究和開發(fā)的熱點(diǎn)，其產(chǎn)品市場占有率也呈逐年快速增長的發(fā)展趨勢，近年來國內(nèi)海水淡化工程大多采用美國 ERI 公司的 PX 能量回收裝置。我國在 SWRO 能量回收技術(shù)方面的研發(fā)起步較晚，發(fā)展比較遲緩，裝置形式較單一，大都局限于雙液壓缸功交換式，整體水平同國際先進(jìn)技術(shù)還有很大的差距，但工業(yè)化發(fā)展及應(yīng)用前景較好。隨著我國淡水資源的日益缺乏，反滲透海水淡化工程必將大力發(fā)展，因而研究開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的能量回收裝置具有深遠(yuǎn)的意義。閥控余壓能量回收裝置具有與國外同類產(chǎn)品相當(dāng)?shù)男阅苤笜?biāo)，其生產(chǎn)成本可比國外產(chǎn)品降低 1/3~1/2，是反滲透海水（或苦咸水）淡化系統(tǒng)必備的關(guān)鍵設(shè)備之一，市場前景廣闊，經(jīng)濟(jì)效益巨大。 應(yīng)用領(lǐng)域： 該裝置可廣泛應(yīng)用于反滲透海水（或苦咸水）淡化系統(tǒng)和工業(yè)反滲透系統(tǒng)等水處理領(lǐng)域和有關(guān)化工工業(yè)（如合成氨工業(yè)）中需要回收液體壓力能的場合。 合作方式及條件： 以技術(shù)合作的方式開發(fā)新型反滲透海水淡化能量回收裝置系列產(chǎn)品。

本發(fā)明涉及一種中空纖維膜組件結(jié)構(gòu)以及制造方法，屬于膜分離設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有的中空纖維膜組件在進(jìn)行封裝工作時(shí)，存在的膜絲分布、強(qiáng)度可靠性等問題。本發(fā)明開發(fā)一種能有效降低密封硬膠凝固過程中最高溫度的柱式中空纖維膜組件的封裝方法，對提高柱式中空纖維膜組件的良品率、延長膜組件使用壽命具有重要意義。

成果產(chǎn)品生物質(zhì)熱解-提質(zhì)成套裝備與技術(shù)，主要用于將生物質(zhì)轉(zhuǎn)化為高品質(zhì)的液體燃料，替代石油作為車用燃油。工藝采用國內(nèi)外首創(chuàng)自熱式單床內(nèi)循環(huán)串行床對生物質(zhì)熱解，耦聯(lián)“分級轉(zhuǎn)化”（酯化-加氫）技術(shù)對熱解生物油提質(zhì)。

針對不合理施用肥料及集約化生產(chǎn)等導(dǎo)致的土壤生物退化，土壤生態(tài)系統(tǒng)調(diào)控能力下降，植物土傳病害加劇等問題，開展了農(nóng)用功能微生物的篩選及其在農(nóng)業(yè)廢棄物肥料化、土壤微生態(tài)修復(fù)調(diào)理、植物抑病促生等方面的研究。研究獲得200多株對10余種主要農(nóng)作物土傳病原靶標(biāo)菌有較強(qiáng)防病促生優(yōu)良微生物菌株，開發(fā)出生防放線菌菌株3株、真菌1株、細(xì)菌2株。在此基礎(chǔ)上集成功能微生物高密度培養(yǎng)技術(shù)、土壤微生態(tài)系統(tǒng)的快速修復(fù)技術(shù)和微生物干預(yù)植物減害、生態(tài)友好技術(shù)。開發(fā)了放線菌高活性菌粉、放線菌有機(jī)肥和放線菌液體肥料等產(chǎn)品，并建立了相應(yīng)生產(chǎn)線。該成果既能實(shí)現(xiàn)土壤生物退化及連作障礙的微生物修復(fù)，又能實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)減肥減藥、產(chǎn)品提質(zhì)增效；該成果實(shí)施后預(yù)期年生產(chǎn)菌劑固態(tài)6000噸，每噸售價(jià)20000元；液態(tài)5000噸，每噸售價(jià)15000元。