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一種用于原子力顯微鏡的氣氛控制系統(tǒng)
一種用于原子力顯微鏡的氣氛控制系統(tǒng)，其特征在于：氣體瓶一（1a）和氣體瓶二（1b）分別通過流量計一（3a）、流量計二（3b）與混合氣管（4）的進(jìn)氣口相連，混合氣管（4）的出氣口通過進(jìn)氣腔（6）與原子力顯微鏡上的氣氛腔（7）的進(jìn)氣口相連。該系統(tǒng)能為原子力顯微鏡提供不同氣體、各種比例組成的可控混合氣氛，從而使原子力顯微鏡能進(jìn)行各種比例的不同氣體組成的混合氣氛下微機電系統(tǒng)的磨損失效、防護(hù)機理的模擬試驗與研究，從而為相應(yīng)混合氣氛工作中的微機電系統(tǒng)的設(shè)計、制造與維護(hù)提供更準(zhǔn)確、可靠的試驗依據(jù)，以降低微機電系統(tǒng)的磨損，提高微機電系統(tǒng)的使用壽命。
西南交通大學(xué)
2016-10-25
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基于變結(jié)構(gòu)的高壓直流輸電多通道附加阻尼控制方法
本發(fā)明公開了一種基于變結(jié)構(gòu)的高壓直流輸電多通道附加阻尼控制方法。其特點在于通過具有高運算效率和抗擾能力的TLS-ESPRIT算法辨識出次同步和低頻振蕩頻率、阻尼，以及系統(tǒng)降階模型，結(jié)合變結(jié)構(gòu)控制原理，設(shè)計含虛擬狀態(tài)變量的附加控制器，最后引入狀態(tài)觀測器，消除虛擬狀態(tài)變量，實現(xiàn)輸出反饋形式的HVDC變結(jié)構(gòu)控制器，然后采用變結(jié)構(gòu)控制理論設(shè)計多通道直流附加阻尼控制器，降低振蕩模式間的相互影響，能夠同時抑制次同步和低頻振蕩。該方法高效易行，而且變結(jié)構(gòu)控制理論對于實際電網(wǎng)的復(fù)雜多變工況具有較強的抗擾性，同時該控制器利用多通道結(jié)構(gòu)，解決了多控制器間的協(xié)調(diào)控制問題，提出了一套具有很強操作性的實際大電網(wǎng)的控制器設(shè)計方法。
四川大學(xué)
2016-10-25
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一種網(wǎng)絡(luò)化多電機同步控制系統(tǒng)及方法
本發(fā)明公開了一種網(wǎng)絡(luò)化多電機同步控制系統(tǒng)及方法，該系統(tǒng)包括基于 SOPC 的多軸同步控制模塊、PLC 控制器、上位機、人機界面、現(xiàn)場 IO 設(shè)備、脈沖采集模塊和伺服電機驅(qū)動模塊；通過脈沖采集模塊采集主令電機編碼器輸出的編碼脈沖信號經(jīng)過磁耦隔離處理后發(fā)送到多軸同步控制模塊，多軸同步控制模塊對接收到的脈沖信號進(jìn)行周期性的計數(shù)采樣，同時也接收來自上位機和人機界面?zhèn)鱽淼目刂泼?，最終將控制命令轉(zhuǎn)化為 PWM 控制信號，經(jīng)過伺
華中科技大學(xué)
2021-04-14
精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置及其溫控方法
本發(fā)明公開了一種精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置，包括增壓泵；初級熱交換器，其浸液入口與增壓泵出口連通，浸液在其中進(jìn)行熱交換，實現(xiàn)浸液溫度的初級調(diào)控；次級熱交換器，其浸液入口與初級熱交換器浸液出口連通，浸液在其中進(jìn)行再次熱交換，實現(xiàn)浸液溫度的次級調(diào)控；流量伺服閥，其入口與初級熱交換器浸液出口連通，與次級熱交換器形成并聯(lián)，用于調(diào)節(jié)進(jìn)入次級熱交換器的浸液流量。通過協(xié)調(diào)控制進(jìn)入初級熱交換器和次級熱交換器的冷媒流量，并結(jié)合流量伺服閥對進(jìn)入次級熱交換器的浸液流量的調(diào)節(jié)，可實現(xiàn)對浸液溫度的兩級調(diào)控，從而獲得溫
華中科技大學(xué)
2021-04-14
液壓絞車柔性牽引的水下運動體的速度控制方法及系統(tǒng)
本發(fā)明公開了一種基于液壓絞車牽引的水下運動體的速度控制方法，包括：(1)確定主閥閥芯開度的設(shè)定值；(2)速度控制器獲取當(dāng)前的閥芯開度反饋值，并計算閥芯開度比；(3)若閥芯開度比不大于閾值，則以單調(diào)過阻尼的方式逐漸增大閥芯開度給定值值至閥芯開度設(shè)定值，若閥芯開度比大于閾值，則根據(jù)速度設(shè)定值與反饋速度值的差值以及閥芯開度反饋值,實時給定閥芯開度給定值；(4)液壓絞車根據(jù)主閥閥芯的開度牽引柔性水下運動體以對應(yīng)速度運動；(5)循環(huán)執(zhí)行步驟(2)-(4)，直至小車速度達(dá)到設(shè)定值。本發(fā)明還公開了對應(yīng)的控制系統(tǒng)。
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種適用于芯片轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法
本發(fā)明屬于芯片貼裝工藝相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種適用于芯片 轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法，主要包括：基于大轉(zhuǎn)盤仰視相機和晶元盤 斜視相機的觀測和配合，對芯片從晶元盤至大轉(zhuǎn)盤單元的吸附轉(zhuǎn)移執(zhí) 行角度及位置控制；基于大轉(zhuǎn)盤俯視相機和小轉(zhuǎn)盤側(cè)視相機的觀測和 配合，對芯片從大轉(zhuǎn)盤單元至小轉(zhuǎn)盤單元的拾取轉(zhuǎn)移執(zhí)行角度及位置·108·控制；以及基于小轉(zhuǎn)盤仰視相機和小轉(zhuǎn)盤俯視相機的觀測和配合，對 芯片至基板的貼合過程執(zhí)行相應(yīng)控制。通過本發(fā)明，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)芯 片高效倒裝鍵合整個過程中芯片在位置及角度
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種行星輪式越障機器人爬樓梯控制方法
本發(fā)明公開了一種行星輪式越障機器人爬樓梯控制方法，包括 如下步驟:1)保持越障機器人勻速直線前進(jìn)，測量其同一驅(qū)動組中兩 行星輪組與前方臺階的距離及行星輪組的轉(zhuǎn)速，并計算偏轉(zhuǎn)角;2)計算各行星輪組的理論轉(zhuǎn)速，并使行星輪組以計算得出的轉(zhuǎn)速進(jìn)行運動; 3)檢測當(dāng)前的 L1 和 L2，并計算當(dāng)前的偏轉(zhuǎn)角θ;4)判斷當(dāng)前偏轉(zhuǎn)角θ 是否超過預(yù)設(shè)值:若是，則轉(zhuǎn)入步驟 2)，若否，則控制機器人繼續(xù)等 速直線前進(jìn);5)判斷兩行星輪組是否到達(dá)階梯:若否，則繼續(xù)等速直 線
華中科技大學(xué)
2021-04-14
六軸驅(qū)控一體工業(yè)機器人控制系統(tǒng)
本成果六軸驅(qū)控一體系統(tǒng)內(nèi)部集成了基于相鄰交叉耦合的六軸同步控制算法。在驅(qū)動模塊內(nèi)部會對每軸反饋信號進(jìn)行同步控制策略處理，并引入一種基于電流動態(tài)調(diào)整的補償系數(shù)，解決傳統(tǒng)相鄰交叉耦合結(jié)構(gòu)補償響應(yīng)慢、同步精度不高的缺點，同步誤差補償周期短，具有更快的同步控制響應(yīng)和更高的靈活性。
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、成果簡介
傳統(tǒng)的工業(yè)機器人控制和驅(qū)動分離，即采用一個獨立運動控制器控制多個獨立伺服驅(qū)動器的形式，存在集成度低、體積大、成本高等問題。本成果開發(fā)的六軸驅(qū)控一體工業(yè)機器人控制系統(tǒng)由工業(yè)機器人控制軟件和伺服驅(qū)動系統(tǒng)組成，主要特點有：
（1）基于多核的SoC芯片，通過片內(nèi)總線實現(xiàn)控制系統(tǒng)和驅(qū)動系統(tǒng)的高速互聯(lián)通信，保證信息傳輸?shù)母咝院头€(wěn)定性。機器人控制算法和六軸驅(qū)動系統(tǒng)共用一個芯片中不同的內(nèi)核完成，實現(xiàn)高度集成。
（2）針對傳統(tǒng)機器人六軸無法高精度同步問題，本成果六軸驅(qū)控一體系統(tǒng)內(nèi)部集成了基于相鄰交叉耦合的六軸同步控制算法。在驅(qū)動模塊內(nèi)部會對每軸反饋信號進(jìn)行同步控制策略處理，并引入一種基于電流動態(tài)調(diào)整的補償系數(shù)，解決傳統(tǒng)相鄰交叉耦合結(jié)構(gòu)補償響應(yīng)慢、同步精度不高的缺點，同步誤差補償周期短，具有更快的同步控制響應(yīng)和更高的靈活性。
華中科技大學(xué)
2022-07-27
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江蘇地區(qū)煙粉虱的暴發(fā)成災(zāi)機制及可持續(xù)控制技術(shù)
該成果從煙粉虱的越冬、田間擴散、暴發(fā)機制、田間種群動態(tài)等方面研究江蘇地區(qū)煙粉虱種群的形成規(guī)律及成災(zāi)機制，提出了煙粉虱的控制策略、用藥原則和控制技術(shù)。研究成果在江蘇推廣應(yīng)用，可使化學(xué)農(nóng)藥用量減少 10~15%，取得了顯著的經(jīng)濟效益和社會效益， 2012 年獲全國商業(yè)科技進(jìn)步獎二等獎。
揚州大學(xué)
2021-04-14
基于電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡的紅外波束控制芯片
本發(fā)明公開了一種基于電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡的紅外波束控制芯片。其包括電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡陣列；電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡陣列包括液晶材料層，依次設(shè)置在液晶材料層上表面的第一液晶初始取向?qū)?、第一電隔離層、圖形化電極層、第一基片和第一紅外增透膜，以及依次設(shè)置在液晶材料層下表面的第二液晶初始取向?qū)印⒌诙姼綦x層、公共電極層、第二基片和第二紅外增透膜；公共電極層由一層勻質(zhì)導(dǎo)電膜構(gòu)成；圖形化電極層由其上布有 m×n
華中科技大學(xué)
2021-04-14