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浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、技術分析 如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。

目成果/簡介: AH系列稀土復合穩定劑集熱穩定劑、抗氧劑和內外潤滑劑等助劑為一體，經科學配方和嚴格工藝處理而成的新一代多功能、多用途的聚氯乙烯（PVC）塑料加工助劑。該系列產品具有優良的熱穩定性，加工初期著色性小和流動性好，高效且用量少，無毒（實際無毒級），耐候性能優良等特性。使用本系列產品無需改變原工藝操作規程，也不需改變穩定劑以外的其它材料配方，可等量或減量取代原用穩定劑。應用范圍: AH系列稀土復合穩定劑適用于聚氯乙烯（PVC）硬塑（管材、板材、異型、硬片等）、軟塑（電纜料、人造革、塑料鞋、透明包裝材料、薄膜等）類制品。知識產權類型:其他技術先進程度:達到國內先進水平成果獲得方式:獨立研究獲得政府支持情況:無

AH系列稀土復合穩定劑集熱穩定劑、抗氧劑和內外潤滑劑等助劑為一體，經科學配方和嚴格工藝處理而成的新一代多功能、多用途的聚氯乙烯（PVC）塑料加工助劑。該系列產品具有優良的熱穩定性，加工初期著色性小和流動性好，高效且用量少，無毒（實際無毒級），耐候性能優良等特性。使用本系列產品無需改變原工藝操作規程，也不需改變穩定劑以外的其它材料配方，可等量或減量取代原用穩定劑。

50T 數控系統是一款可控制步進電機、細分步進電機及全數字交流伺服電機的第三代普 及型數控系統。采用高分辨率液晶顯示、人機對話、中文界面，采用高速 16 位 CPU 處理器 和 FPGA 大規模門陣列，分辨率 0.001mm，具有高集成化、高可靠性、高精度，操作方便， 適用各類數控車床的配套及改造。 40 系統具有適合任意機械傳動比的電子齒輪；編輯/自動/手動/單步/手輪/診斷等操作方 式；圓弧 R 編程；公、英制螺紋加工；絕對/增量編程；恒線速加工；內外圓柱切削、端面 切削、螺紋切削循環；自動直線/指數升降速；4-6 刀位自動刀架或排刀控制；主軸無級變 頻調速或多檔控制；關機坐標、刀號、間隙補償方向、系統狀態記憶及開機恢復；與 PC 機 的串行通訊與程序雙向傳遞等先進與實用的功能。 由于對產品成本進行了嚴格控制，具有很強的價格競爭力。經過近 4 年的市場推廣和功 能不斷改進與完善，其技術與生產工藝已經非常成熟，性能穩定可靠，適合產業化與市場推 廣。 

產品詳細介紹    物聯網綜合實訓臺ITS-T06 將模擬電子、數字電子、電路設計、信號處理、傳感器原理與檢測、RFID 技術、單片機技術、計算機原理、電機控制、網絡通訊編程、網頁制作、無線電通訊、圖像處理、音頻處理、指紋采集、嵌入式技術等相關知識與生產生活常見場景和設備有機地結合起來，實現參數的采集、傳輸和控制，如家電控制、門禁控制、照明控制、窗簾自控、溫室大棚環境控制、RFID 標簽讀寫識別、指紋身份識別、圖像采集、圖像壓縮、圖像解壓、圖像留言、聲音采集、聲音編碼、聲音解碼、室內外遙控、定時控制、電話遠程控制、計算機遠程控制等，有利于學生將所學的物聯網知識融會貫通，發揮創新能力。        物聯網綜合實訓臺ITS-T06 采用模塊化結構，配置一個中央控制系統模塊，若干個基礎產品模塊，以及智慧農業、智能家居、智能安防、智能門禁、智能倉儲、智能圖書館等物聯網應用系統實訓模塊，還可以根據用戶要求定制物聯網行業應用實訓模塊。物聯網綜合實訓臺ITS-T06 標準配置6 個模塊（雙面操作），另外可以選配若干個應用模塊。應用模塊可以根據教學要求裝拆替換，靈活方便，可以滿足不同層次、不同行業的教學需要。 物聯網綜合實訓臺ITS-T06 將當前熱門的物聯網技術和最有市場潛力的物聯網應用方案結合，提供了貼近現場應用的模擬環境，可以用于物聯網基礎理論的學習驗證的實驗教學，還可用于物聯網應用系統裝調及二次開發的實訓教學，為師生接觸和研究當前先進技術搭建橋梁。讓學生在學科實踐中不僅能接觸到硬件、編寫代碼，還能體會實際產品開發過程中各相關專業知識的交叉引用，積累開發經驗。有了物聯網綜合實訓創新實踐平臺，學生不用走出校門、不用找企業實習，在創新實踐中心就能積累產品開發的經驗、培養團體精神、提高技術技能。為學生的就業創造更好、更多的機會。     物聯網綜合實訓臺ITS-T06 的特色 1． 實現多學科綜合實踐：ITS-T06 將模擬電子、數字電子、電路設計、信號處理、傳感器原理與檢測、單片機技術、計算機原理、 電機控制、網絡通訊編程、網頁制作、無線電通訊、圖像處理、音頻處理、指紋采集、嵌入式技術等相關知識融會貫通，讓學生可以靈活應用各科知識，發揮創新能力。 2． 采用當前熱門嵌入式技術：ITS-T06 為老師和學生們提供當前最受歡迎的嵌入式技術。學生通過實踐能夠熟悉嵌入式開發的流程，掌握開發智能家居相關軟件和調試工具的使用方法。 3． 采用源碼開放的Linux 操作系統：為了便于老師和學生研究計算機操作系統原理，揭開計算機操作系統的神秘面紗，我們采用源代碼開放的Linux 操作系統。老師和學生不僅可以閱讀Linux 系統的源碼，而且可以自己配置和修改部分代碼，定制個性操作系統。由于Linux 相關的網絡資料、書本資料很豐富，因此在學習或開發過程中如果遇到問題，就可以在相關論壇得到幫助， 縮短技術攻關的時間，提高學習或工作效率。 4．采用最合理的梯度實踐方案：物聯網綜合實訓方案根據教學活動的不同、學生知識水平的不同，采用難度遞增的分層設計。 5． 體驗式實驗項目66 個：在體驗實踐活動中學生們課可以親自動手操作所提拱的實踐項目，觀察現象。也可以修改一些參數，操作修改參數后的項目并觀察現象。體驗實踐通過操作演示，讓學生體會科技的魅力，培養和激發創新的興趣，認識到自己專業的重要性。體驗實踐課可以設置在大一或大二相關專業的專業課概述、專業課見習實習、興趣體驗等教學活動中，以此來培養學生對本專業的愛好，同時也豐富同學們的學習生活。 6． 課程實習項目38 個：老師先給同學們演示所要進行的實習題目的整體功能，然后讓同學們自己查資料、編寫代碼。在老師的指導下同學們實現演示時看到的功能。為了方便老師教學我們給老師提供所有實習題目的源代碼。老師可以通過參考源代碼快速掌握功能的實現過程，便于在教學中指導同學們進行實踐活動。課程實習教學實踐活動，加深學生對相關理論課程的認識；培養同學們自己動手搜集資料、篩選資料、快速學習知識的能力；積累項目規劃、編寫代碼、上機調試的經驗，讓學生在實踐中鍛煉自己，快速成長，最終達到社會對畢業生的能力要求。 7． 創新項目方案12 個：物聯網綜合創新實踐平臺為廣大師生提供體驗實踐和課程實習的源代碼，為老師們研究學科知識在實際產品中的運用提供捷徑。通過研究源碼和物聯網的整體實現方法，老師就能更好的掌握哪些學科知識才是社會生產中最需要的。同學們通過研究源代碼和物聯網的整體實現方法，可以根據需要進行創新實踐活動，開發自己的科技作品。通過二次開發實踐培養同學們的科技創新能力，為參加大型的國家或學校科技競賽積累經驗。 8． 探索項目方案6 個：物聯網綜合創新實踐平臺，為師生進行學科研究和驗證更高效的算法供平臺，使師生們的科技探索不僅能深入的進行理論研究，而且能在實際的產品平臺上驗證算法和理論成果。比如網絡攝像頭這一功能涉及到了圖像的存儲、壓縮、解壓。如果有師生對圖像處理感興趣，就可以在網絡攝像頭操作演示代碼的基礎上開發圖像處理的功能。如精確的人臉識別、模式識別、高效圖像壓縮等。 9． 應用面廣：ITS-T06 可應用于計算機科學與技術、電子信息工程、通信工程、應用電子技術等專業的模擬電子、數字電子、電路設計、信號處理、傳感器原理與檢測、單片機技術、計算機原理、電機控制、網絡通訊編程、網頁制作、無線電通訊、圖像處理、音頻處理、指紋采集、嵌入式技術的實驗和實訓，提升學生動手能力，培養綜合型、復合型人才。          

性能特點： 1、微機控制，觸摸面板，LED顯示。 2、采用直流無刷電機。 3、可直接設定轉速，自動計算RCF值。

產品詳細介紹特色功能     激光教鞭  第三代光電鼠標  一鍵全屏放大  多個演示專用功能鍵  2節7號電池 1.基本描述     Knorvay諾為無線多功能演示器是一個全方位的電腦遙控器，它具有并超越無線鼠標的全部功能，能方便、準確、靈活的遙控電腦。特別適合于在演講、培訓、教學、會議、數字化家庭等場合用作電腦遙控器。它所具有的多項創新技術，能無限您的無線數字生活！     Knorvay諾為無線多功能演示器是諾為公司精心設計的2.4G全向無線光電多功能演示器，本產品充分體現了人性化之設計理念。無論是商業用戶，還是家庭用戶，本產品將帶給您前所未有的輕松與喜悅的使用樂趣，諸多全新的專利技術將使您體驗到前所未有的操作感受。 2.主要功能及特點 A) 集成激光指示器     Knorvay諾為無線多功能演示器集成激光指示器，具有激光筆、激光教鞭的功能。指示重點，一目了然！ 它采用滿足國際安全標準Class II的激光器，能有效節省電池電力并能夠避免激光對眼睛的物理損傷。（Class II激光短時照射到眼睛時，會造成眼睛局部暫時失明,但不會超成永久性傷害。長時間照射仍然會對眼睛超成永久性損傷，因此嚴禁將激光照射到人的眼睛，更多信息請參閱激光器國際安全Class II標準）。 B) 集成PowerPoint演示器     Knorvay諾為無線多功能演示器集成PowerPoint演示器，能夠遙控上下翻頁、一鍵使PowerPoint進入全屏演示狀態、一鍵黑屏。在運行隨機附帶的綠色軟件ZoomIt后，還可提供休息時間倒計時功能。只需按一下快捷鍵，即可在屏幕上提供休息時間倒計時。其中T4還可以實現一鍵全屏自由標注功能，T5可以實現一鍵進入Windows Media Center媒體中心的功能。讓你擺脫電腦束縛，演講、培訓、教學更加瀟灑自如。C) 集成第三代高靈敏度無線太空光電鼠標     Knorvay諾為無線多功能演示器集成第三代高靈敏度無線太空光電鼠標，具有無線鼠標的全部功能。 其高達1000CPI的光學解析度，讓光標定位更加準確、靈活。 它采用光電技術，沒有機械器件，不會出現機械鼠標長期使用時，灰塵降低機械器件靈敏度的情況。長期使用，也不需要拆開清洗。 D) 一鍵全屏自由縮放功能     Knorvay諾為無線多功能演示器集成一鍵全屏自由縮放功能。在運行隨機附帶的綠色軟件ZoomIt后，只需輕按放大按鈕，即可自由放大屏幕任何一個地方，讓聽眾不錯過每一個細節。即使坐在后排的觀眾，也能借此功能，看清演示內容。E) 媒體播放功能     Knorvay諾為無線多功能演示器中的T3和T5更獨具有針對Media Center / Media Player的遙控功能，擁有音量控制、上一曲目、下一曲目、播放及暫停等功能鍵，讓您的媒體播放更輕松、更快捷。 F）采用2.4G RF技術，無方向性，干擾小    無線部分采用2.4G國際綠色RF技術，沒有方向性，發射器和接收器之間不需要對準。只要接收器沒有被金屬物體屏蔽，在任何方向都可以控制電腦。采用紅外技術的遙控器，如普通電視遙控器，在進行控制時，需要把發射器對準接收器。無線部分采用2.4G國際綠色頻率，并使用沖突檢測技術，自動更改頻道，可以最大限度減少其它無線設備的干擾。 G) 其它卓越特性     15米范圍全方位隨意無線控制，250平方米會議室、教室、套房內均可自由走動，遙控時不需要對準電腦。 根據人體工學設計，操作靈活方便，流線造型，手感舒適，左、右手均可操作。 采用自動待機、電源開關雙重節能設計，最大限度延長電池使用時間。 采用2節普通AAA（普通7號）電池，便利店均有銷售，容易更換。 采用USB2.0技術，即插即用，無需安裝驅動軟件。 提供多個快捷功能鍵，使用方便。 更多翻頁激光筆信息請點擊訪問http://www.knorvay.com

關于設備： 一、系統工藝說明： 工藝流程：原水--原水泵--多介質過濾器--活性碳過濾器--保安過濾器--高壓泵 --反滲透裝置--用水點      二、工藝設備說明： 1、預處理部分：原水泵、機械過濾器、活性碳吸附器、精密過濾器等設備，主要解決如下問題。  1）防止膜面結垢（包括Fe3+、Fe2+、CaCO3、CaSO4、SrSO4、SiO2、鐵，鋁氧化物）。 2）防止膠體物質及懸浮固體微粒污堵。 3）防止有機物的污堵。 4）防止微生物的污堵。 5）防止氧化物質對膜的氧化破壞。 6）保持反滲透裝置產水穩定。 2、反滲透裝置： 反滲透是該系統的心臟部分，設計成熟合理與否不僅直接決定RO系統能否達到設計要求，而且關系到RO膜的使用壽命，經RO裝置處理的水，能除絕大部分無機鹽類和幾乎全部有機物、微生物。 RO裝置在水質分離過程中沒有相變，脫鹽率高，設備體積小，自控運行，適用性強，應用范圍廣等優點，本系統采用一/二級反滲透除鹽系統，去除水中絕大部分離子、微粒、有機物等，使其水質達到純化水標準。  公司技術人員會根據客戶方的水質情況進行合理的設計，確保達到凈化效果，并且把成本降到最低。我公司組裝RO反滲透裝置均以進口名牌配件為主。 三、主要配置： 1、RO膜：進口膜 2、高壓泵：國優產品（南方特種泵） 3、膜外殼：公司品牌 4、流量計：國優產品 5、壓力表：防震注油 關于公司： 1、聯系地址：山東省青島市黃島區臨港經濟技術開發區前灣港路929號 2、聯系電話：0532-85172858-138        18695681982 傳真：0532-85172857     3、訂購說明：設備分單級和雙級配置。同型號配置不同價格不同，訂購時請詳細說明。（網站圖片僅供參考，具體以設備實際為準） 4、運輸方式：一般建議發大物流公司。服務比較周全，到貨時間比較快，運輸也比較放心。提貨時請先驗貨再簽收，如有損壞請及時與我們溝通。 5、運費說明：設備價格不含運費，運費多少因距離遠近而不同，一般由物流代收或協商。 6、關于質量：質保一年，一年內免費維修，一年后只收配件費，隨時接受電話咨詢。 7、關于價格：報價不含運費和稅費。如需開發票需加上相應稅費。 8、付款方式：銀行匯款或支付寶或貨到付款  。

2T/H反滲透純水設備 水處理設備 優質反滲透水處理設備廠家供應經濟型反滲透純水設備一般自來水經一級反滲透系統處理后，產水電導率＜10μS/cm，經二級反滲透系統后產水電導率＜5μS/cm甚至更低，在反滲透系統后輔以離子交換設備或EDI設備可以制備超純水，使電阻率達到18兆歐姆(電導率=1/電阻率)是反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水）通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。經濟型反滲透純水設備 1、工業反滲透基本原理2T/H反滲透純水設備 水處理設備 優質反滲透水處理設備廠家供應2T/H反滲透純水設備 水處理設備 優質反滲透水處理設備廠家供應 當純水和鹽水被理想半透膜隔開，理想半透膜只允許水通過而阻止鹽通過，此時膜純水側的水會自發地通過半透膜流入鹽水一側，這種現象稱為滲透，若在膜的鹽水側施加壓力，那么水的自發流動將受到抑制而減慢，當施加的壓力達到某一數值時，水通過膜的凈流量等于零，這個壓力稱為滲透壓力，當施加在膜鹽水側的壓力大于滲透壓力時，水的流向就會逆轉，此時，鹽水中的水將流入純水側，上述現象就是水的反滲透（RO）處理的基本原理。經濟型反滲透純水設備 2、工業反滲透簡介經濟型反滲透純水設備 RO（Reverse Osmosis）反滲透技術是利用壓力表差為動力的膜分離過濾技術，源于美國二十世紀六十年代宇航科技的研究，后逐漸轉化為民用，目前已廣泛運用于科研、醫藥、食品、飲料、海水淡化等領域。 RO反滲透膜孔徑小至納米級（1納米=10-9米），在一定的壓力下，H2O分子可以通過RO膜，而源水中的無機鹽、重金屬離子、有機物、膠體、細菌、病毒等雜質無法通過RO膜，從而使可以透過的純水和無法透過的濃縮水嚴格區分開來。4T/H反滲透純水設備 水處理設備 優質反滲透水處理設備廠家供應 RO膜過濾后的純水電導率5 s/cm,符合國家實驗室三級用水標準。再經過原子級離子交換柱循環過濾，出水電阻率可以達到18.2M .cm，超過國家實驗室一級用水標準（GB682—92）。 3、滲透預處理目的及考慮因素--經濟型反滲透純水設備 使用反滲透系統時，尤其應注意原水預處理。為了避免堵塞反滲透系統，原水應經預處理以消除水中的懸浮物，降低水的濁度；此外，還應進行殺菌以防微生物的孽生長大。 由于反滲透對原水中的懸浮物的要求很高，所以常用一種水質對受懸浮物污染情況的污染指數來對水質進行檢測。此法實質上是測定反滲透系統受水中懸浮物的污堵的情況。進入反滲透系統水的污染指數以不大于5為宜，建議值一般小于3。預處理時還應該考慮到進水的pH值。各種半透膜都有其最適宜的運行pH值，故需按反滲透膜的要求，調節進水的pH值。預處理時還應該考慮到進水的溫度。膜的透水量是隨水溫的增高而增大的，但溫度過高會加快醋酸纖維素膜的水解速度，且使有機膜變軟，易于壓實。所以，對于有機膜來說，通常將溫度控制在約20—40℃范圍內為宜，復合膜溫度控制在約5—45℃范圍內為宜。經濟型反滲透純水設備 反滲透膜分離技術是利用反滲透膜原理進行分離的，具體特點如下： 1、在常溫不發生相變的條件下，可以對溶質和水進行分離，適用于對熱敏感物質的分離、濃縮，并且與有相變化的分離方法相比，能耗較低。 2、反滲透膜分離技術雜質去除范圍廣。 3、較高的脫鹽率和水回用率，可截留粒徑幾個納米以上的溶質。 4、利用低壓作為膜分離動力，因此分離裝置簡單，操作、維護和自控簡便，現場安全衛生。 2T/H反滲透純水設備 水處理設備 優質反滲透水處理設備廠家供應應用領域： （1）電力工業：鍋爐補給水、冷卻水壩； （2）電子工業：半導體工業超純水、集成電路清洗用水、配方用水； （3）食品工業：配方用水、生產用水； （4）制藥行業：工藝用水、制劑用水、洗滌用水、注射用水、無菌水制備； （5）飲料工業：配方用水、生產用水、洗滌用水； （6）化學工業：生產用水、廢水處理； （7）飲水工程：超純水制備、飲用水凈化； （8）石油化工：油田注入水、石化廢水深度處理； （9）海水淡化：海島地區、沿海缺水地區、船舶、海水油田等生產生活用水； （10）環保領域：電鍍漂洗水中貴重金屬、水的回收，實現零排放或微排放。 2T/H反滲透純水設備 水處理設備 優質反滲透水處理設備廠家供應系統優點： 反滲透(RO)技術是一種高效節能技術。它依靠壓力推動將水和離子分離，從而達到純化和濃縮的目的。該過程無相變，一般不需加熱，能耗低，具有運行成本低，無污染，操作方便運行可靠，產水水質高等諸多優點，而成為海水和苦咸水淡化最節能的技術。目前已廣泛應用于醫藥、電子、化工、食品、海水淡化等諸多行業。反滲透技術已成為現代工業中首選的水處理技術。反滲透(RO)技術成為膜分離技術的一個重要組成部分。