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本發(fā)明公開了一種超精密工作臺(tái)，它包括宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與微位移工作臺(tái)，其中宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的導(dǎo)軌形式采用氣浮導(dǎo)軌，微位移工作臺(tái)與宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接，并隨宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)一起沿 X 向、Y 向移動(dòng)。微位移工作臺(tái)中包含壓電智能結(jié)構(gòu)，其中該壓電智能結(jié)構(gòu)既能感知外界對其施加的力、位移等信號，又能主動(dòng)地對外界施加力、位移等。此外，壓電智能結(jié)構(gòu)不僅可以用于超精密工作臺(tái)的微位移工作臺(tái)中，而且也可以制成類似彈簧-阻尼系統(tǒng)的俘能機(jī)構(gòu)，應(yīng)用在超精密工作臺(tái)中。本發(fā)明可以廣泛應(yīng)用于超精密機(jī)床、超精密測量、微電子制造等領(lǐng)域。

本發(fā)明提供了一種結(jié)構(gòu)緊湊的超低頻精密主動(dòng)減振器，屬于超精密減振領(lǐng)域。該超低頻精密主動(dòng)減振器由負(fù)剛度機(jī)構(gòu)與空氣彈簧并聯(lián)組成被動(dòng)減振單元，由洛倫茲直線作動(dòng)器構(gòu)成主動(dòng)減振單元。負(fù)剛度機(jī)構(gòu)是由片彈簧、鉸鏈和剛性桿等組成的壓桿結(jié)構(gòu)。負(fù)剛度機(jī)構(gòu)安裝在空氣彈簧的腔室內(nèi)部，使減振器結(jié)構(gòu)更加緊湊。正負(fù)剛度并聯(lián)使得減振器具有大的承載力的同時(shí)具有極低的剛度，大大地降低了其固有頻率。洛倫茲直線作動(dòng)器用于提供主動(dòng)阻尼，實(shí)現(xiàn)主動(dòng)控制。本發(fā)明所提供的超低頻精密主動(dòng)減振器具有極低的固有頻率，不僅對高頻振動(dòng)干擾具有良好的隔振效果，還

成果創(chuàng)新點(diǎn) 1.溫飄、分辨率、穩(wěn)定性等指標(biāo)具有國際領(lǐng)先水平； 2.溫度自補(bǔ)償技術(shù)、信號源漂移自矯正技術(shù)、噪聲抑 制技術(shù)等是主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)。 技術(shù)成熟度 小試中試階段 市場前景 可用在大型天文望遠(yuǎn)鏡中作為邊緣傳感器；可以用在 精密車床、電子顯微鏡、原子力顯微鏡、共焦顯微鏡等中。 轉(zhuǎn)化計(jì)劃 預(yù)期轉(zhuǎn)化方式：自主轉(zhuǎn)化尋求投資，已于天使基金接 觸。

 1.溫飄、分辨率、穩(wěn)定性等指標(biāo)具有國際領(lǐng)先水平； 2.溫度自補(bǔ)償技術(shù)、信號源漂移自矯正技術(shù)、噪聲抑制技術(shù)等是主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)。 

團(tuán)隊(duì)正積極布局研發(fā)工業(yè)級超短脈沖激光器，并已經(jīng)突破了一系列關(guān)鍵技術(shù)，自主研發(fā)的全波段超短脈沖生成技術(shù)已處于國際領(lǐng)先水平，可提供覆蓋“可見光-近紅外-中紅外”的超快激光器，多款產(chǎn)品已獲得ISO9000質(zhì)量體系認(rèn)證以及歐盟CE安全資質(zhì)認(rèn)證。主要?jiǎng)?chuàng)新成果為掌握從鎖模光開光、超快種子源、光纖放大、諧波產(chǎn)生（倍頻）到最后組裝工藝一整套完整的超快激光技術(shù)方案。目前，商業(yè)上的光開關(guān)器件大多采用基于半導(dǎo)

本發(fā)明公開了一種定位隔振平臺(tái)，它包括定位隔振裝置和主動(dòng)控制器，兩者之間通過電氣連接，主動(dòng)控制器對定位隔振裝置進(jìn)行位置控制和振動(dòng)控制。定位隔振裝置包括分布在正三角形頂點(diǎn)的三支撐腿及其共同支撐的一塊負(fù)載平板。每一個(gè)支撐腿中有一個(gè)螺旋彈簧作為主要支撐部件。一個(gè)位移傳感器布置在連接板下方檢測連接板位移，負(fù)載平臺(tái)對應(yīng)支撐腿的位置安裝有垂向速度傳感器。主動(dòng)控制器為主從開放式結(jié)構(gòu)形式，由上位控制計(jì)算機(jī)和下位執(zhí)行控制器組成，保證負(fù)載平臺(tái)保持在設(shè)定位置，并有效的隔離地基振動(dòng)對平臺(tái)精度的影響。本發(fā)明可廣泛應(yīng)用于精密加工

本實(shí)用新型提供了一種結(jié)構(gòu)緊湊的精密主動(dòng)減振裝置，屬于超精密減振領(lǐng)域。該精密主動(dòng)減振裝置由負(fù)剛度機(jī)構(gòu)與空氣彈簧并聯(lián)組成被動(dòng)減振單元，由洛倫茲直線作動(dòng)器構(gòu)成主動(dòng)減振單元。負(fù)剛度機(jī)構(gòu)是由片彈簧、鉸鏈和剛性桿等組成的壓桿結(jié)構(gòu)。負(fù)剛度機(jī)構(gòu)安裝在空氣彈簧的腔室內(nèi)部，使減振器結(jié)構(gòu)更加緊湊。正負(fù)剛度并聯(lián)使得減振器具有大的承載力的同時(shí)具有極低的剛度，大大地降低了其固有頻率。洛倫茲直線作動(dòng)器用于提供主動(dòng)阻尼，實(shí)現(xiàn)主動(dòng)控制。本實(shí)用新型所提供的精密主動(dòng)減振裝置具有極低的固有頻率，不僅對高頻振動(dòng)干擾具有良好的隔振效果，還能有效地隔離超低頻振動(dòng)，適用于對振動(dòng)敏感的超精密加工與測量設(shè)備。

成果與項(xiàng)目的背景及主要用途： 該技術(shù)采用數(shù)控氣動(dòng)閉環(huán)控制回路、機(jī)械手可以上下插拔，在 XYZ 三個(gè)方向有力觸覺，可以感受作用力，如果力大，機(jī)械手可以自動(dòng)緩沖或收回。機(jī)械手具有抓夾功能。該項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)成功應(yīng)用到核工業(yè)元件加工過程中。相同的技術(shù)和功能可以方便的應(yīng)用和移植到其它應(yīng)用領(lǐng)域。 技術(shù)原理與工藝流程簡介： 利用數(shù)控氣動(dòng)閉環(huán)控制回路。三維柔性力緩沖XY 方向±1 ㎜，Z 方向 10 ㎜，Z 向下插行程 0～500 ㎜可調(diào)，可以安裝各種用途機(jī)械爪，具有形成阻尼緩沖和氣動(dòng)消音。技術(shù)水平及專利與獲獎(jiǎng)情況：處于國內(nèi)同類型先進(jìn)技術(shù)水平。 應(yīng)用前景分析及效益預(yù)測： 該類型機(jī)械手技術(shù)可以應(yīng)用于很多領(lǐng)域，如：機(jī)械制造業(yè)、汽車工業(yè)、化工業(yè)、核能工業(yè)、生物工業(yè)、安全領(lǐng)域等需要提高作業(yè)效率、精度、危險(xiǎn)環(huán)境等行業(yè)。 目前該技術(shù)成熟，整機(jī)價(jià)格在 10～16 萬人民幣之間，可以進(jìn)行小批量工業(yè)化生產(chǎn)。 應(yīng)用領(lǐng)域：械制造業(yè)、汽車工業(yè)、化工業(yè)、核能工業(yè)、生物工業(yè)、安全領(lǐng)域等需要提高作業(yè)效率、精度、危險(xiǎn)環(huán)境等行業(yè)。 技術(shù)轉(zhuǎn)化條件（包括：原料、設(shè)備、廠房面積的要求及投資規(guī)模）： 所需原材料：均為市場上可采購原材料，無特殊要求，例如：氣動(dòng)元件、機(jī)械件等； 設(shè)備及環(huán)境要求： AC220V 電源、普通氣源； 所需廠房面積：普通廠房 100 平方米； 人員要求：若干機(jī)、電相關(guān)專業(yè)人員； 初期投資規(guī)模：除以上條件外需流動(dòng)資金 60～80 萬。 合作方式及條件： 技術(shù)轉(zhuǎn)讓，轉(zhuǎn)讓費(fèi)：人民幣 50 萬元； 合作生產(chǎn)，具體可面談。 

1、項(xiàng)目簡介 本項(xiàng)目由江南大學(xué)留美博士后趙永武教授獨(dú)創(chuàng).徹底地解決了高硬度零件和表面帶氧化皮或銹斑零件拋光時(shí)間過長或需要多步才能完成的技術(shù)難題，填補(bǔ)了國內(nèi)空白。 2、創(chuàng)新要點(diǎn) （1）拋光速度快,效率高,時(shí)間短。是國內(nèi)現(xiàn)有拋光劑拋光速度的數(shù)倍至數(shù)十倍以上。 （2）表面加工質(zhì)量優(yōu)異。經(jīng)本拋光劑加工后的工件表面組織非常細(xì)膩，表面粗糙度可達(dá) Ra0.02,零件光亮照人,形狀精度進(jìn)一步的提高,有可能省去超精研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去銹,去油,防銹和拋光等多種功能,一步拋光,同時(shí)完成。而國內(nèi)現(xiàn)有的拋光劑大多需要去氧化皮和除油等多道前處理工序，耗時(shí)費(fèi)力。 （4）加工批量大。對于小零件一次可以加工成千上萬件。 （5）零件的使用性能和壽命得到明顯提高。采用本拋光劑拋光后的零件在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的振動(dòng)和噪音顯著降低，而使用壽命大幅度提高。 （6）加工成本低.僅為磨削和精研成本的幾分之一。 （7）無毒無害，對環(huán)境友好,且操作方便,易于掌握。 （8）本拋光劑既適用于螺旋振動(dòng)和離心式光飾機(jī),也適宜于滾筒和旋轉(zhuǎn)渦流式等拋光機(jī)。 3、效益分析 對具備 10 臺(tái)機(jī)床的小型車間而言，每年凈提高產(chǎn)值 150 萬元以上。 4、推廣情況 軸承、紡織、汽車、摩托車，縫紉機(jī)、日用五金、建筑五金、金屬工藝品，五金工具、模具，液壓氣動(dòng)和精密機(jī)械等企業(yè)。