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精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置及其溫控方法
本發明公開了一種精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置，包括增壓泵；初級熱交換器，其浸液入口與增壓泵出口連通，浸液在其中進行熱交換，實現浸液溫度的初級調控；次級熱交換器，其浸液入口與初級熱交換器浸液出口連通，浸液在其中進行再次熱交換，實現浸液溫度的次級調控；流量伺服閥，其入口與初級熱交換器浸液出口連通，與次級熱交換器形成并聯，用于調節進入次級熱交換器的浸液流量。通過協調控制進入初級熱交換器和次級熱交換器的冷媒流量，并結合流量伺服閥對進入次級熱交換器的浸液流量的調節，可實現對浸液溫度的兩級調控，從而獲得溫
華中科技大學
2021-04-14
液壓絞車柔性牽引的水下運動體的速度控制方法及系統
本發明公開了一種基于液壓絞車牽引的水下運動體的速度控制方法，包括：(1)確定主閥閥芯開度的設定值；(2)速度控制器獲取當前的閥芯開度反饋值，并計算閥芯開度比；(3)若閥芯開度比不大于閾值，則以單調過阻尼的方式逐漸增大閥芯開度給定值值至閥芯開度設定值，若閥芯開度比大于閾值，則根據速度設定值與反饋速度值的差值以及閥芯開度反饋值,實時給定閥芯開度給定值；(4)液壓絞車根據主閥閥芯的開度牽引柔性水下運動體以對應速度運動；(5)循環執行步驟(2)-(4)，直至小車速度達到設定值。本發明還公開了對應的控制系統。
華中科技大學
2021-04-14
一種適用于芯片轉移的倒裝鍵合控制方法
本發明屬于芯片貼裝工藝相關領域，并公開了一種適用于芯片 轉移的倒裝鍵合控制方法，主要包括：基于大轉盤仰視相機和晶元盤 斜視相機的觀測和配合，對芯片從晶元盤至大轉盤單元的吸附轉移執 行角度及位置控制；基于大轉盤俯視相機和小轉盤側視相機的觀測和 配合，對芯片從大轉盤單元至小轉盤單元的拾取轉移執行角度及位置·108·控制；以及基于小轉盤仰視相機和小轉盤俯視相機的觀測和配合，對 芯片至基板的貼合過程執行相應控制。通過本發明，不僅能夠實現芯 片高效倒裝鍵合整個過程中芯片在位置及角度
華中科技大學
2021-04-14
一種行星輪式越障機器人爬樓梯控制方法
本發明公開了一種行星輪式越障機器人爬樓梯控制方法，包括 如下步驟:1)保持越障機器人勻速直線前進，測量其同一驅動組中兩 行星輪組與前方臺階的距離及行星輪組的轉速，并計算偏轉角;2)計算各行星輪組的理論轉速，并使行星輪組以計算得出的轉速進行運動; 3)檢測當前的 L1 和 L2，并計算當前的偏轉角θ;4)判斷當前偏轉角θ 是否超過預設值:若是，則轉入步驟 2)，若否，則控制機器人繼續等 速直線前進;5)判斷兩行星輪組是否到達階梯:若否，則繼續等速直 線
華中科技大學
2021-04-14
六軸驅控一體工業機器人控制系統
本成果六軸驅控一體系統內部集成了基于相鄰交叉耦合的六軸同步控制算法。在驅動模塊內部會對每軸反饋信號進行同步控制策略處理，并引入一種基于電流動態調整的補償系數，解決傳統相鄰交叉耦合結構補償響應慢、同步精度不高的缺點，同步誤差補償周期短，具有更快的同步控制響應和更高的靈活性。
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、成果簡介
傳統的工業機器人控制和驅動分離，即采用一個獨立運動控制器控制多個獨立伺服驅動器的形式，存在集成度低、體積大、成本高等問題。本成果開發的六軸驅控一體工業機器人控制系統由工業機器人控制軟件和伺服驅動系統組成，主要特點有：
（1）基于多核的SoC芯片，通過片內總線實現控制系統和驅動系統的高速互聯通信，保證信息傳輸的高效性和穩定性。機器人控制算法和六軸驅動系統共用一個芯片中不同的內核完成，實現高度集成。
（2）針對傳統機器人六軸無法高精度同步問題，本成果六軸驅控一體系統內部集成了基于相鄰交叉耦合的六軸同步控制算法。在驅動模塊內部會對每軸反饋信號進行同步控制策略處理，并引入一種基于電流動態調整的補償系數，解決傳統相鄰交叉耦合結構補償響應慢、同步精度不高的缺點，同步誤差補償周期短，具有更快的同步控制響應和更高的靈活性。
華中科技大學
2022-07-27
江蘇地區煙粉虱的暴發成災機制及可持續控制技術
該成果從煙粉虱的越冬、田間擴散、暴發機制、田間種群動態等方面研究江蘇地區煙粉虱種群的形成規律及成災機制，提出了煙粉虱的控制策略、用藥原則和控制技術。研究成果在江蘇推廣應用，可使化學農藥用量減少 10~15%，取得了顯著的經濟效益和社會效益， 2012 年獲全國商業科技進步獎二等獎。
揚州大學
2021-04-14
基于電控液晶紅外發散平面微柱鏡的紅外波束控制芯片
本發明公開了一種基于電控液晶紅外發散平面微柱鏡的紅外波束控制芯片。其包括電控液晶紅外發散平面微柱鏡陣列；電控液晶紅外發散平面微柱鏡陣列包括液晶材料層，依次設置在液晶材料層上表面的第一液晶初始取向層、第一電隔離層、圖形化電極層、第一基片和第一紅外增透膜，以及依次設置在液晶材料層下表面的第二液晶初始取向層、第二電隔離層、公共電極層、第二基片和第二紅外增透膜；公共電極層由一層勻質導電膜構成；圖形化電極層由其上布有 m×n
華中科技大學
2021-04-14
一種電機控制系統中的 IPM 驅動和保護方法
本發明提供一種采用現場可編程門陣列(FPGA)的電機控制系統中智能功率模塊(IPM)的驅動及保護方法。該方法利用 FPGA 給 IPM 發送驅動信號，同時利用 FPGA 接收及處理 IPM 的出錯信號，當 IPM 出錯或出現其他異常時 FPGA 可以關斷 IPM 驅動信號的發送，實現對IPM 的保護。在驅動信號發送中，通過差分驅動器、濾波電路、差分接收器、高速光耦對 IPM 的驅動信號進行差分處理、光電隔離，可以提高IPM 驅動信號傳輸的抗干擾能力。在出錯信號的接收及處理中，采用了濾波電路、高速光耦
華中科技大學
2021-04-14
一種用于柔性膜轉移的機械手控制系統
本發明屬于柔性電子生產相關設備領域，并公開了一種用于柔 性膜轉移的機械手控制系統，包括多自由度機械手、多傳感器反饋單 元和控制單元，其中多自由度機械手用于對柔性膜執行轉移操作；多 傳感器反饋單元包括 CCD 傳感器、激光位移傳感器、重力傳感器組、 真空傳感器、壓力傳感器等，并用于對機械手包括位置、姿態、真空度和接觸力在內的多項狀態指標執行檢測；控制單元則基于多傳感器 反饋單元的信息，對機械手整個轉移過程的操作執行精確控制，同時 還可對拾取頭工作段的吸附面積大小進行靈活調節。通過本發明，可 根據柔性膜
華中科技大學
2021-04-14
軍用高效能高精度全數字化伺服控制系統
? 成果簡介：本成果由全數字化雙軸伺服驅動器和高性能永磁同步電機組成。單軸額定功率為750W，額定轉矩為2.5NM，額定轉速3600RPM，工作溫度為-40℃～60℃，滿足國軍標相應環境適應性與電磁兼容性要求。? 項目來源：自行開發? 技術領域：光機電一體化? 應用范圍：運動控制? 現狀特點：ü 伺服
北京理工大學
2021-04-14