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高檔超精密磨床及LED劃片裝備
為滿足光電通訊、光學、信息等產業中小口徑非球面光學玻璃透鏡模具產業化的需求，研制了小口徑非球面光學玻璃透鏡模具超精密數控復合機床,具備納米級精度斜軸鏡面納米磨削、斜軸磁流變研拋、在線測量補償加工等功能，為小口徑非球面光學透鏡模具的產業化制造提供可靠的裝備支撐。分辨率10nm，主軸回轉精度50nm；加工對象為微小非球面透鏡及模具；加工口徑10mm以下；加工面形狀精度：PV小于300nm ，工件表面粗糙度小于Ra10nm。應用領域包括集成電路（IC）、發光二極管（LED）、光學光電、MEMS、NTC、塑封件（QFN、BGA）、電子陶瓷、通訊、醫療器械等，能切割硅晶圓、砷化鎵、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、鈮酸鋰、氧化鋁、藍寶石等。GUI交互界面。具備接觸式測高及非接觸式測高，刀痕檢測，具有切割深度自動補償，刀片破損補償功能，能保證切割質量。
湖南大學
2021-04-11
鈦鎳 60 合金及其超滑技術
隨著我國戰略性新興產業（如高速鐵路、大飛機）和高端裝備制造業（如部分高速精密機床）的發展，高端軸承進口增長較快。目前高鐵軸承全部進口，部分高速精密機床軸承還需進口。從長遠看，對我國戰略性新興產業的成長將產生不利影響。鈦鎳合金是一種金屬間化合物，具有優良的耐磨性、耐蝕性。鈦鎳合金TiNi60是一種Ti、Ni質量原子比為40: 60的金屬間化合物，具有低密度、高硬度、優異的耐蝕性以及良好的摩擦學性能且在熱處理前易于加工，可望在高速軸承中得到應用。TiNi60的密度為6.7 g/cc，比普通軸承鋼密度小30%左右，密度小這一特點，可實現軸承的輕量化和高速化。本項目主要是解決現用滾動軸承材料難以滿足高速滾動在高鐵、高速機床等高技術領域應用中高強度、低摩擦、高耐磨性要求的問題，采用高真空感應熔煉技術制備出優異性能的高速滾動軸承材料-鈦鎳60合金，并采用可生物降解潤滑劑的超滑技術對高速球軸承會為耐磨、減摩起到事半功倍的作用，為高端軸承的國產化奠定基礎，為我國裝備制造業的發展貢獻力量。本項目的前期工作，針對球軸承材料TiNi60采用蓖麻油潤滑獲得了超低摩擦系數（最低達到0.004）。該項技術完全由本課題組研發，完全具有自主知識產權，此外該技術具有生產過程環保、能耗小、制造成本低、產品易系列化和原材料無危險性、毒性等突出特點。因此可以肯定該項技術、該類產品的出現為我國軸承市場注入了新鮮的“血液”。可以預見該技術的市場前景是非常廣闊的，其產品的市場競爭優勢也是非常明顯的。
西安交通大學
2021-04-11
一種超精密工作臺
本發明公開了一種超精密工作臺，它包括宏運動平臺與微位移工作臺，其中宏運動平臺的導軌形式采用氣浮導軌，微位移工作臺與宏運動平臺連接，并隨宏運動平臺一起沿 X 向、Y 向移動。微位移工作臺中包含壓電智能結構，其中該壓電智能結構既能感知外界對其施加的力、位移等信號，又能主動地對外界施加力、位移等。此外，壓電智能結構不僅可以用于超精密工作臺的微位移工作臺中，而且也可以制成類似彈簧-阻尼系統的俘能機構，應用在超精密工作臺中。本發明可以廣泛應用于超精密機床、超精密測量、微電子制造等領域。
華中科技大學
2021-01-12
超衍射極限納米光刻機技術
研發階段/n1、在該方向發表論文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申報和獲得該方向相關發明專利8項。其中1項授權轉讓給Facebook，Sony和中國一家企業。在華中科技大學申報5項發明專利，依托武漢舒博光電技術有限公司申報2項發明專利。。3、研發出2代超分辨納米光刻樣機。。4、配備光學裝備開發專門團隊，初步建成光學精密制造和檢測平臺。
華中科技大學
2021-01-12
超凈排放氨法煙氣脫硫技術
上海交通大學
2021-04-13
非線性光學準晶超構表面
提出并制備了非線性光學準晶超構表面，并研究了超構單元局域對稱性和排布方式的全局對稱性對超構表面遠場非線性光輻射的共同影響。該非線性光學準晶超構表面運用了基于非線性光學貝里幾何相位的金屬等離激元結構單元，依據經典的彭羅斯準周期拼接和具有六重對稱性的六角準周期拼接形成了不同種類的準晶結構。彭羅斯結構的準周期拼接具有五重對稱性，其衍射圖案則具有十重對稱性，這些都是晶體衍射定理所不允許的對稱性。而六角準周期拼接是2017年提出的一種準周期拼接，它具有晶體衍射定理所允許的六重對稱性，卻并不遵從短程有序的規律。這兩種拼接方式可以與某些特定的比例聯系起來，這些比例由不同階次的迭代規則決定：彭羅斯結構對應一階迭代過程，其比例是人們熟知的“黃金分割比”，而六角準周期晶格對應三階過程，其比例可稱為“黃銅分割比”。自六角準周期晶格從理論上提出以來，本項工作中的非線性光學準晶超構表面是首個利用黃銅分割比實驗實現的人工光學結構。? 非線性光學準晶超構表面中不同轉向的超構單元對入射基頻光的響應是均勻的，因此其線性光學衍射僅能反映超構表面的全局對稱性，即晶格結構決定其遠場光衍射。而在倍頻實驗中，即出射光的頻率是入射光的兩倍（如1200nm 變為600nm）。由于打破了超構單元的中心反演對稱性并引入了非線性光學幾何相位，其非線性光學衍射與晶格結構的局域對稱性、全局對稱性同時相關。因此，可以通過調控超構單元的指向分布，進而有效地調控倍頻光衍射中的零級。非線性光學準晶超構表面這一概念或將為設計超構表面非線性光源、人工微納光學結構材料提供新的思路。
南方科技大學
2021-04-13
超精密電渦流位移傳感器
成果創新點 1.溫飄、分辨率、穩定性等指標具有國際領先水平； 2.溫度自補償技術、信號源漂移自矯正技術、噪聲抑 制技術等是主要創新點。 技術成熟度 小試中試階段 市場前景 可用在大型天文望遠鏡中作為邊緣傳感器；可以用在 精密車床、電子顯微鏡、原子力顯微鏡、共焦顯微鏡等中。 轉化計劃 預期轉化方式：自主轉化尋求投資，已于天使基金接 觸。
中國科學技術大學
2021-04-14
超精密電渦流位移傳感器
1.溫飄、分辨率、穩定性等指標具有國際領先水平；
2.溫度自補償技術、信號源漂移自矯正技術、噪聲抑制技術等是主要創新點。
中國科學技術大學
2023-05-16
超細晶高強多孔鐵合金
本項目開發的超細晶高強多孔鐵合金具有精細細小（均小于5微米），強度高、韌性好、質輕等特點。根據不同需要可制備出孔隙率從10-50%的多孔結構，孔徑在1微米左右。當孔隙率為20%時，最高抗壓強度超過了1000MPa。當孔隙率達到50%左右時，抗壓強度超過了400MPa，壓縮率超過50%而不斷裂。該合金具有非常好的軟磁性能，可用于輕質鐵磁性材料的制備。
西南交通大學
2015-01-26
車用聲學超材料系列產品
近年來，聲學超材料技術發展迅速，聲學超材料是指具有負等效質量密度或負等效模量的人工亞波長結構，由于其具有良好的低頻彈性波帶隙及導波特性，在低頻減振降噪方面具有廣泛的應用前景。目前車用聲學超材料產品尚未在市場上出現，但本團隊已掌握其理論設計方法及應用技術，已申報相關工程應用專利4項，另有6項相正在申報中。車用聲學超材料產品可實現汽車低頻振動及噪聲的有效控制，為解決困擾工程界已久的低頻問題提供新的途徑。
西南交通大學
2016-06-27