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高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務(wù)平臺
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半導(dǎo)體設(shè)備超潔凈流控系統(tǒng)及其受制約流控零部件
浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、技術(shù)分析
如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險。浙江大學(xué)流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團(tuán)隊所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導(dǎo)體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。
浙江大學(xué)
2022-07-22
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回旋行波管耦合輸入結(jié)構(gòu)
該發(fā)明提供一種回旋行波管耦合輸入結(jié)構(gòu)，用于解決傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)插入損耗大的問題，該結(jié)構(gòu)包括圓波導(dǎo)及垂直加載于圓波導(dǎo)的矩形波導(dǎo)，所述圓波導(dǎo)的電子注輸入段設(shè)置有一個以上矩形凹槽，所述矩形凹槽位于耦合輸入結(jié)構(gòu)的對稱面上。與矩形波導(dǎo)的截面中心距離為（1/2+n)λ、n為正整數(shù)，其中λ為圓波導(dǎo)中心頻點TE11模的波長；所述矩形凹槽的長、寬由對應(yīng)的工作頻段與耦合量決定，深度為1/8λ´-3/8λ´、其中λ´為矩形凹槽對應(yīng)尺寸的矩形波導(dǎo)的TE10模的波長。該發(fā)明有效減小輸入電池波的插入損耗，且通過增加矩形槽的數(shù)量和調(diào)節(jié)矩形槽的結(jié)構(gòu)參數(shù)，能夠工作于不同需要的寬頻帶范圍；結(jié)構(gòu)簡單、加工方便。
電子科技大學(xué)
2021-02-01
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智慧城市管廊檢測項目
產(chǎn)品服務(wù):項目主要是針對現(xiàn)有的二級三級城市地級市等城市的城市交通管廊檢測，目前我們已經(jīng)在談的是整個東莞市區(qū)的城市污水管廊和電力管廊，和東莞市水務(wù)集團(tuán)下屬的管廊管理公司簽訂了戰(zhàn)略合作，幫助他們對整個東莞市的污水管道進(jìn)行基礎(chǔ)檢測，信息編碼登記，污水處理，污泥和固廢燒制成石膏或者水泥。整體來說每年的營業(yè)收入在1.5億人民幣到2億人民幣。盈利模式包括：檢測，疏通，維護(hù)，修復(fù)，等。目前預(yù)計2020年11月份完成一公里左右的檢測和修復(fù)，同時完成10個智能井蓋的更換和檢測。針對此項目的發(fā)展規(guī)劃是依托同濟大學(xué)電子信息與工程學(xué)院的技術(shù)支持，社會上尋求施工團(tuán)隊和資質(zhì)擁有方合作，每年持續(xù)的接?xùn)|莞的項目和整個東莞市智慧管廊的信息化建設(shè)。 商業(yè)模式:盈利模式包括：檢測，疏通，維護(hù)，修復(fù)，等。
同濟大學(xué)
2021-04-10
多功能射流清管器
本發(fā)明涉及一種輸油管道清管器，尤其是一種多功能射流清管器，其包括同軸線安裝的推進(jìn)裝置、檢測裝置與射流除垢裝置，所述推進(jìn)裝置的主體為推進(jìn)腔，包括大口徑的輸入腔、口徑逐漸變小的錐狀腔以及小口徑的輸出腔，所述檢測裝置包括流體腔和由無損檢測探頭、位移傳感器和數(shù)據(jù)存儲器組成的檢測模塊構(gòu)成，所述射流除垢裝置包括呈喇叭狀的射流腔體與射流噴嘴。本發(fā)明利用高壓射流除垢原理，除垢效率高，同時可進(jìn)行除垢效果檢測和管壁缺陷檢測，使得管道清洗作業(yè)與檢測作業(yè)合二為一，作業(yè)效率高。
浙江大學(xué)
2021-04-11
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器官獲取用膽道灌注管
本實用新型專利屬于醫(yī)療器械技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種膽道灌注管，全長 2 0 0 . 0～ 2 2 0 . 0 cm，包 括灌注管本體，沿著灌注管本體的一端到另一端分別設(shè)有灌注液接頭、流速顯示管、流速調(diào)控裝置、 防逆流裝置和側(cè)孔導(dǎo)管；所述灌注管本體的外徑為5 .8～6 .0mm，內(nèi)徑為5 .3～5 .5mm；比現(xiàn)有的灌注管 （2.8～3.2mm）內(nèi)徑大很多，可以提高灌注液流動的速度；所述防逆流裝置為套接在灌注管本體上的柱狀 體，所述柱狀體的側(cè)面向內(nèi)凹陷，同時柱狀體的直徑大于側(cè)孔導(dǎo)管的直徑，從而有效地防止進(jìn)入膽囊的灌 注液逆流及膽汁外漏
中山大學(xué)
2021-04-10
立式斜板（管）沉淀裝置
此專利產(chǎn)品是對目前廣泛用于水處理工程的斜板（管）的改進(jìn)產(chǎn)品，不改變斜板（管） 的基本工作原理，通過安裝組合與工藝應(yīng)用條件的變化，實現(xiàn)以下特性： 1.將傳統(tǒng)斜板（管）的架空安裝改為落地安裝，難度降低； 2.清水從底部渠道引出，不再需要安裝造價較高的集水槽； 3.出水面由水平面改為垂直面，不再積泥，不需要經(jīng)常沖洗； 4.清水被封閉在底部，不見陽光，沉淀池不再滋生藻類； 5.充分利用池深，增加斜板（管）的安裝數(shù)量，產(chǎn)能提高； 6.成組安裝，不再封閉池面，改管道排泥為機械排泥，不積泥。
同濟大學(xué)
2021-04-13
多功能射流清管器
本發(fā)明涉及一種輸油管道清管器，尤其是一種多功能射流清管器，其包括同軸線安裝的推進(jìn)裝置、檢測裝置與射流除垢裝置，所述推進(jìn)裝置的主體為推進(jìn)腔，包括大口徑的輸入腔、口徑逐漸變小的錐狀腔以及小口徑的輸出腔，所述檢測裝置包括流體腔和由無損檢測探頭、位移傳感器和數(shù)據(jù)存儲器組成的檢測模塊構(gòu)成，所述射流除垢裝置包括呈喇叭狀的射流腔體與射流噴嘴。本發(fā)明利用高壓射流除垢原理，除垢效率高，同時可進(jìn)行除垢效果檢測和管壁缺陷檢測，使得管道清洗作業(yè)與檢測作業(yè)合二為一，作業(yè)效率高。
浙江大學(xué)
2021-04-13
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柔性管疲勞試驗機
本實用新型公開了一種柔性管疲勞試驗機，包括支撐框架、拉伸油缸和擺動組件，所述拉伸油缸和所述擺動組件相對布置并設(shè)置在所述支撐框架的對應(yīng)端部上，所述擺動組件包括擺動支架和驅(qū)動油缸，所述擺動支架鉸接在所述支撐框架的端部上，所述驅(qū)動油缸鉸接在所述支撐框架和所述擺動支架之間；所述拉伸油缸和所述擺動支架上分別設(shè)置有用于固定柔性管端部的連接器。通過增加擺動組件，擺動組件能夠由驅(qū)動油缸驅(qū)動擺動支架相對應(yīng)支撐框架擺動，這樣，柔性管可以進(jìn)行加載彎曲負(fù)荷的疲勞測試，配合拉伸油缸進(jìn)行拉伸載荷的疲勞實驗，可以更加全面的對柔性管進(jìn)行疲勞檢測，提高柔性管疲勞試驗機的檢測精度和檢測可靠性。
青島農(nóng)業(yè)大學(xué)
2021-04-13
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數(shù)控彎管仿真系統(tǒng)（產(chǎn)品）
成果簡介：針對目前數(shù)控彎管機一般不配有仿真系統(tǒng)的狀況，本仿真系統(tǒng)通過建立數(shù)控彎管機的總體仿真模型和運動模型，實現(xiàn)彎管加工過程的三維仿真動畫顯示；提供機床庫或機床各獨立部件庫，根據(jù)需要可從機床庫或部件庫中調(diào)入相關(guān)部件裝配成所需要的彎管機床，實現(xiàn)模胎夾具的自動裝配。可自定義仿真加工環(huán)境，包括彎管機床、地面、相鄰的機床、車間中的其它加工設(shè)備、廠房以及特殊情況下的為導(dǎo)管彎曲設(shè)置的地面溝槽，進(jìn)行導(dǎo)管與加工環(huán)境的碰撞干涉檢測，建立了系列數(shù)控彎管機的機床庫和模胎庫以及導(dǎo)管樣件庫和相關(guān)的NC代碼庫。
北京理工大學(xué)
2021-04-14
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輸液管漏氣檢測裝置
本發(fā)明公開了一種漏氣檢測裝置，設(shè)置在工作臺上，用于實現(xiàn)對輸液管的漏氣檢測，其特征在于，其包括：密封部分（1），其設(shè)置在工作臺一端，用于對輸液管針頭通氣端的密封；夾緊部分（2），其設(shè)置在工作臺中部，用于加緊固定待檢測的輸液管，使其在檢測過程中位置固定；輸氣部分（3），其設(shè)置在工作臺另一端，用于對輸液管的相對枕頭的另一端輸氣加壓；通氣保壓一段時間后，通過測量管內(nèi)壓力變化，即可完成對輸液管是否漏氣的檢測。本發(fā)明的漏氣檢測裝置操作緊湊，效率較人工操作更高，而且相比手工操作，對輸液管的污染減少；采用氣動控制回
華中科技大學(xué)
2021-04-14