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最近以來，LED照明以其節能環保等優點，獲得了大規模的應用。以氮化物結構陶瓷相關材料（如AlN，Si3N4）為寄出的氧氮化物熒光粉在保持了高溫、化學和力學穩定性的基礎上，還具有較為優異的光轉換性能，贏得了越來越廣泛的關注。其中， 有潛力應用在紫外激發的白光LED上的Eu2+摻雜AlN藍色熒光粉不僅具有較高的光量子效率，而且與常用的熱淬滅嚴重的BaMgAl10O17:Eu2+ (BAM)相比，具有很高的熱穩定性。但是，目前報道的Eu2+摻雜AlN藍色熒光粉的制備方法（如Dierre B, Yuan X L, Inoue K等， J. Am. Ceram Soc, 2009, 92 (6):1272-1275；Hirosaki N, Xie R J, Inoue K等，Appl. Phys. Lett. , 2007, 91(6): 061101）都是采用高純度氮化物粉體在高溫下通過固相反應合成，要求2050℃的高溫下，10個大氣壓的氮氣壓力，保溫4個小時以上獲得，粉體還要在保護環境中球磨粉碎由于高溫產生的團聚，成本及其高昂，且顆粒尺寸控制困難。探索能夠得到高純度、粒徑均勻可控、發光性能

成果簡介： 最近以來，LED照明以其節能環保等優點，獲得了大規模的應用。以氮化物結構陶瓷相關材料（如AlN，Si3N4）為寄出的氧氮化物熒光粉在保持了高溫、化學和力學穩定性的基礎上，還具有較為優異的光轉換性能，贏得了越來越廣泛的關注。其中， 有潛力應用在紫外激發的白光LED上的Eu2+摻雜AlN藍色熒光粉不僅具有較高的光量子效率，而且與常用的熱淬滅嚴重的BaMgAl10O17:Eu2+ (BAM)相比，具有很高的熱穩定性。但是，目前報道的Eu2+摻雜AlN藍色熒光粉的制備方法（如Dierre B, Yuan X L, Inoue K等， J. Am. Ceram Soc, 2009, 92 (6):1272-1275；Hirosaki N, Xie R J, Inoue K等，Appl. Phys. Lett. , 2007, 91(6): 061101）都是采用高純度氮化物粉體在高溫下通過固相反應合成，要求2050℃的高溫下，10個大氣壓的氮氣壓力，保溫4個小時以上獲得，粉體還要在保護環境中球磨粉碎由于高溫產生的團聚，成本及其高昂，且顆粒尺寸控制困難。探索能夠得到高純度、粒徑均勻可控、發光性能好的熒光粉且成本低的合成方法，對于這類新型材料的研究、應用都具有重要意義。 目前， AlN的合成方法主要有以下幾種: 鋁粉直接氮化法、碳熱還原法、氣相還原氮化法、裂解法、等離子體法、電弧熔煉法、自蔓延高溫合成法、微波合成法，其中前兩種方法已經應用于工業化大規模生產。比較而言，鋁粉直接氮化法為強放熱反應,反應不易控制，反應過程中放出的大量熱易使鋁形成融塊，造成反應不完全，難以制備高純度、細粒度的產品；碳熱還原法制備的氮化鋁粉末純度高、性能穩定、粉末粒度細小均勻、成形和燒結性能良好，但是因為反應物中必須加入稍過量的碳以保證反應完全，這種方法難以避免碳的殘留；而氣相還原氮化法制得的AlN純度高、粉末粒度細小均勻并且大大減少了碳的殘留。而在制備氮化鋁前驅體時溶膠-凝膠法又以成分易分布均勻、顆粒細小勝過固相混合法。我們首次利用檸檬酸做絡合劑，通過溶膠凝膠法制備Eu2O3和Al2O3均勻混合的反應前驅體，結合氣相還原氮化法的方法來合成AlN：Eu2+熒光粉，如下圖。這種制備方法成本低，且具有很強的普適性，可應用于合成其他高純氮化物應該材料。 該方法解決了生產氮化物熒光材料中需要高純氮化物作為起始粉料成本高等劣勢，利用價格低廉，原料易得的氧化物作為原料，合成出所需的氮化物熒光材料。而且此方法反應活性高，低溫下得到顆粒大小均勻，發光穩定可控的發光材料，節約后處理成本。

最近以來，LED照明以其節能環保等優點，獲得了大規模的應用。以氮化物結構陶瓷相關材料（如AlN，Si3N4）為寄出的氧氮化物熒光粉在保持了高溫、化學和力學穩定性的基礎上，還具有較為優異的光轉換性能，贏得了越來越廣泛的關注。其中， 有潛力應用在紫外激發的白光LED上的Eu2+摻雜AlN藍色熒光粉不僅具有較高的光量子效率，而且與常用的熱淬滅嚴重的BaMgAl10O17:Eu2+ (BAM)相比，具有很高的熱穩定性。但是，目前報道的Eu2+摻雜AlN藍色熒光粉的制備方法（如Dierre B, Yuan X L, Inoue K等， J. Am. Ceram Soc, 2009, 92 (6):1272-1275；Hirosaki N, Xie R J, Inoue K等，Appl. Phys. Lett. , 2007, 91(6): 061101）都是采用高純度氮化物粉體在高溫下通過固相反應合成，要求2050℃的高溫下，10個大氣壓的氮氣壓力，保溫4個小時以上獲得，粉體還要在保護環境中球磨粉碎由于高溫產生的團聚，成本及其高昂，且顆粒尺寸控制困難。探索能夠得到高純度、粒徑均勻可控、發光性能好的熒光粉且成本低的合成方法，對于這類新型材料的研究、應用都具有重要意義。 目前， AlN的合成方法主要有以下幾種: 鋁粉直接氮化法、碳熱還原法、氣相還原氮化法、裂解法、等離子體法、電弧熔煉法、自蔓延高溫合成法、微波合成法，其中前兩種方法已經應用于工業化大規模生產。比較而言，鋁粉直接氮化法為強放熱反應,反應不易控制，反應過程中放出的大量熱易使鋁形成融塊，造成反應不完全，難以制備高純度、細粒度的產品；碳熱還原法制備的氮化鋁粉末純度高、性能穩定、粉末粒度細小均勻、成形和燒結性能良好，但是因為反應物中必須加入稍過量的碳以保證反應完全，這種方法難以避免碳的殘留；而氣相還原氮化法制得的AlN純度高、粉末粒度細小均勻并且大大減少了碳的殘留。而在制備氮化鋁前驅體時溶膠-凝膠法又以成分易分布均勻、顆粒細小勝過固相混合法。我們首次利用檸檬酸做絡合劑，通過溶膠凝膠法制備Eu2O3和Al2O3均勻混合的反應前驅體，結合氣相還原氮化法的方法來合成AlN：Eu2+熒光粉，如下圖。這種制備方法成本低，且具有很強的普適性，可應用于合成其他高純氮化物應該材料。 該方法解決了生產氮化物熒光材料中需要高純氮化物作為起始粉料成本高等劣勢，利用價格低廉，原料易得的氧化物作為原料，合成出所需的氮化物熒光材料。而且此方法反應活性高，低溫下得到顆粒大小均勻，發光穩定可控的發光材料，節約后處理成本。

隨著光伏產業的高速的發展，硅錠切割產生的切割廢料也將出現井噴式的增長。僅2012年一年，我國就用了23萬噸的多晶硅，產生了近25萬噸的粒度≤5mm的二次切割廢料(SiC和Si)，回收廠家院內廢料堆積如山，粉塵飛揚，環境惡劣。而粒度≤5mm的二次切割廢料(SiC和Si)中的SiC和晶體Si粉都是通過高能耗、高成本制備出來的，所以如能將這些廢料得以回收利用，不僅減少了環境污染，也會產生出巨大的經濟效益。特別是如能將二次廢料中價值最高的晶體硅粉得以回收并再用于制造太陽能多晶硅，這對我國減少多晶硅的進口是有重要意義的，所以說，從晶體硅切割廢料中回收多晶硅是今后一個重要的發展方向。 （1）本項目可從多晶硅切割廢料中提取出太陽能級多晶硅，其技術含量高、生產成本低、能耗小。生產的多晶硅可以替代國外進口產品，減少我國多晶硅的進口量，這對降低光伏能源成本，實現光伏能源的普及有重要意義。 (2) 本項目同時生產的副產品碳化硅制品的最大特點耐高溫和耐磨性等性能遠好于同類產品，且價格遠優于國內同類產品，因此該副產品有著廣闊的市場前景，市場競爭力強。該副產品作為耐火材料可廣泛應用于冶金、陶瓷、能源、化工等行業。如鋼鐵廠高爐的爐窯內襯和鋼包內襯、電解鋁廠鋁電解槽的側部、火法煉鋅的罐體的內襯等；如陶瓷行業所用窯爐內所用的窯板和棚板等。 (3) 產品附加值高：由于本項目所用原料主要是來源于光伏行業產生的切割廢料，原料的來源豐富且價格便宜，產品的科技含量高，生產成本低，故產品的附加值高。本項目擁有CN103086378A, CN101941699A, CN102275925A, CN102241399A, CN101724902A, CN101671022B等多項專利。

碳纖維增強碳化硅陶瓷基復合材料耐腐蝕、耐高溫、耐磨損、韌性高，能夠廣泛用于能源、交通、化工等領域的關鍵部件，比如摩擦制動材料、耐化學腐蝕葉片等。

一、前言 在中國長三角的核心地區，矗立著一座舉世矚目的新興城市——江蘇省蘇州昆山市。這是一方沃土，文化底蘊豐厚，孕育了百戲之祖昆曲、水鄉明珠周莊、奇石之王昆石，還有名聞遐邇的陽澄湖大閘蟹！ 她更是一方熱土，歷代英才輩出，創立圓周率的祖沖之、“富可敵國”的沈萬三、“國家興亡，匹夫有責”的顧炎武、創著《治家格言》的朱柏廬以及當代著名作曲家丁善德、航天英雄費俊龍，他們的成就與光輝令昆山人引以自豪和驕傲。 解放后，特別是改革開放三十年來，昆山更是以其超凡的膽略、博大的胸懷和無盡的活力，深深地吸引了包括世界500強企業在內的各國投資商、開發者和臺資企業四千余家，國民生產總值超過了中等發達國家水平，位列全國百強縣市之首，成為長三角區域經濟發達、商業繁榮、科技進步、社會安定，最具競爭力的新型城市。 大開放、大發展、大跨越,呼喚著大教育。上世紀九十年代，以美籍華人學者梁順才博士為董事長的蘇州茵夢湖集團以其遠見和慧眼，看到了區域經濟和社會發展必定帶來對人才，特別是高素質高技能應用型、創業型人才的迫切需求，毅然決定投資辦學。1998年11月15日，在江蘇省和蘇州市人民政府的大力支持下，硅湖職業技術學院隆重奠基，成為昆山歷史上第一所高等院校。 “硅湖”二字由學院創始人梁順才先生親自選定，借“硅谷”人才涌動而成“硅湖”之意，寄自強不息、教育報國之弘愿。 二、綜述篇 硅湖職業技術學院位于昆山市花橋國際商務城，背靠蘇州，緊鄰上海，為長三角的核心地區，發展潛力巨大。云集蘇滬的眾多先進制造業和現代服務業企業，為學院的快速發展和學生良好就業創造了得天獨厚的區域優勢。 學院根據市場需求，設立了機械與汽車工程系、土木建筑工程系、信息工程系、生物醫藥系、藝術設計系、工商管理系、外語系和基礎部、國際合作部、繼續教育部等十個系部，43個專業（含專業方向），覆蓋工程、經管、生物、語言、設計五大門類，全日制在校生近7000人。 現有專任教師 344名，其中有享受國務院特殊津貼和省內有突出貢獻的中青年專家2名,有高級職稱者59名，碩士以上研究生93名，雙師型教師117名；有來自加、日、韓等國的外籍教師6名；還有來自知名高校、企業的理論高、實踐豐富的兼職教師53人。 學院用地面積403畝；各類建筑15萬平方米，建有教學樓、實驗樓、圖書館、實訓基地、學生公寓、餐廳、多功能文體娛樂中心和生活服務中心及田徑、球類運動場。教學實驗儀器設備齊全，各類設施滿足教學、學習和生活需要。學院擁有先進的汽車拆裝中心、數控機電實訓中心建筑、會計模擬、股市模擬等58個專業實訓中心和實驗室,并與近百家企業合作，建有74個完備的校外實習、實訓基地為學生理論聯系實際、鍛煉實踐能力提供了良好的條件。 覆蓋全校的千兆以太網構建了教學、學習、交流和信息查詢的便捷通道，方正數字化校園信息平臺，為全面推行學分制提供管理支撐。 三、辦學篇 辦學十年來，硅湖職業技術學院謹遵“責任、榮譽”的硅湖校訓，堅持走“產學研一體化”的辦學之路，將“社會需求就是辦學方向，企業滿意就是質量標準，適應經濟就是學校發展”作為辦學方針，致力于創建具有硅湖特色的高職教育體系，努力培養適應現代經濟社會發展需要的應用型、創業型人才。 ? 就業主導，服務需求 十年來，學院堅持以就業為導向，提出了“立足昆山，面向長三角，為地方經濟建設培養既能動腦又能動手的高技能人才”的辦學目標以及“誠實守信，文化夠用，技能過硬，證書多樣”的人才培養要求，堅持定期進行人才需求市場調研和畢業生的跟蹤調查，根據市場變化及時調整和開發新專業，做到“專業開發與市場同步，專業改造與知識更新同步，專業設置與區域經濟發展同步”，先后增設了機電一體化技術、電氣自動化、生物技術（中藥加工與鑒定）、物流管理、旅游管理等十多個市場急需、就業前景看好的專業或專業方向。 學院各專業都組建了“專業建設委員會”，邀請相關企業的技術骨干和客座教授共同參與專業教學計劃、課程大綱和技能訓練指南的制訂。在教學過程中，學院始終把提高就業競爭力作為立足點，努力提高培養質量，強調“基礎能力與專業能力并重、創新教育與實踐教育并重和學歷證書與技能證書并重”三大原則，重點抓住英語、計算機、職業技能三大環節不放松，并將畢業設計（論文）、各類實習、軍事訓練與學習、社會實踐、公益勞動等實踐教學環節以及素質教育考核都納入學分考核體系，力求在全面提高學生綜合素質的基礎上，培養個性化、多樣化的創新型人才。辦學十年來，取得了一大批優秀的教學成果，其中04屆藝術設計系畢業生顧旭東的“虛擬辦公空間設計”和05屆土木建筑工程系畢業生柳寒陽“蘇州市馨泓小學校區建筑設計”，分別獲得江蘇省普通高等學校本專科畢業設計（論文）三等獎和一等獎；07屆藝術設計系畢業生蔣浙峰同學的畢業設計《以慈溪市明峰醫院為例淺析醫院裝飾設計》，又在2007江蘇省普通高校本專科畢業設計（論文）評優與抽檢中被評為二等獎。2007年10月，我院1081名學生報名參加省計算機等級考試，合格率為87.7%，其中優秀率為21.46%，遠高于全省69.72%的合格率和4.87%的優秀率,居全省100多所參考學校的第11位。2008年5月，我院參加江蘇省計算機等級考試的學生達1204人，一次通過率達到91.29%，超過全省平均合格率72.26%近20個百分點，綜合排名列全省本專科高校第四名，實現了歷史性的突破。 ? 全面推行完全學分制 為培養真正適應市場需求又有鮮明個性的應用型、創業型人才，硅湖職業技術學院在學院董事會的大力推動下，學院自2007級起試行學分制改革，成為江蘇省教育廳首批批準推行學分制的20所高校中唯一的一所民辦高校。史寶鳳董事長鮮明地提出“如果我們連學生自主選課都不讓，又談何培養應用型、創業型人才？！” 學校根據高職教育的培養目標和特點，將課程體系建設放在突出的位置，在保證主修專業培養質量的前提下，全面整合和挖掘專業內外的課程資源以及校內外的教學資源，構建“以能力為本位，以職業實踐為主線，以項目課程為主體”的多樣化的模塊課程體系，嘗試部分專業課程進行“訂單式”改革，并配置了目前國內最先進的教學管理軟件“正方高校現代教學管理信息系統”，建立了與學分制相適應的全新教學和學生管理體制和運行機制。現在，在硅湖職業技術學院，學生可以在完成主修專業核心課程的前提下，經導師指導自主進行跨類、跨系、跨專業選學學分課程。在校企合作中，凡涉及跨系跨類跨專業的項目，其專業核心課程設置及學分也可由相關專業與合作企業共同商定，以保證學分制的實施真正有利于推動產學研結合、有利于教學模式的創新和辦學效益的提高，大大提高了學生的學習主動性和積極性，同時也為教師的自我提高、事業發展和增加收入拓展了空間。 ? 產學結合育人才 硅湖職業技術學院建校伊始，學院董事會就將“產學研一體化”作為學校立校之本、強校之路，要求學院從“專業開拓、人才規格、教學計劃、課程內容、隊伍建設和考核評價”等六個方面與企業全面合作，力求做到：專業設置與市場需求相接軌，培養規格與企業需求相吻合，教學內容與企業技術改造和科技進步相銜接，實現學校育人與企業用人的結合。 經過十年的探索，學院在實踐中創建了“工學交替”、“訂單培養”、“跟班實習”、“頂崗實習”和“校企雙元培養”等多種形式的校企合作培養模式，并通過采取有力措施，鼓勵學生參加職業技能或職業資格認證的培訓和考核，使高素質、高技能的培養目標得到有力的保障。學院還組織專業教師通過“廠校崗位替換”、“訪問實踐鍛煉”和“互助培訓”等方式，讓教師輪流到企業考察、實踐，幫助他們熟悉了解一線的實際工作情況，使專業理論與實踐經驗等到較好的結合。與此同時，學校還克服困難，優先為合作單位開展員工培訓、技術咨詢和推薦優秀畢業生，努力為校企合作創造“雙贏”環境，建立長效機制。 目前，學院擁有近百家較為穩定的校外實習實訓與就業基地，其中包括昆山宏圖三胞、蘇州名碩電腦、仁寶電子科技有限公司、好孩子集團、上海同仁堂藥業有限公司、中鐵十局集團、天合建設集團有限公司、無錫旅游協會、易買得購物中心、蘇州金鷹裝飾工程有限公司等著名企業，也有眾多的中小企業，其中較完備的校外實習就業基地有47個。其中昆山天合建設集團還在我院土木建筑工程系設置了“天合集團獎教學金”，對在教學與學習中突出的教師和學生給予獎勵，鼓勵他們在為建筑業培養人才中創新創優。 雙贏的校企合作、產學結合，使學校、企業、學生三方找到了共同的目標、利益及動力，在為學生實習實訓提供保障的同時，也為畢業生就業開辟了“綠色通道”。近5年來，硅湖職業技術學院的畢業生一次性就業率始終高于96%，2008年達到99?07%！在社會上、特別是學生家長中形成了“到硅湖學院讀書，在長三角就業創業”的美譽和共識，成為硅湖職業技術學院一張漂亮的名片。 在2008年5月召開的“硅湖職業技術學院校企合作與實習實訓基地建設座談會”上，易買得購物中心、無錫萬達物流公司、好孩子集團、上海同濟堂藥業有限公司、南京索達軟件有限公司、林達策劃印務公司、昆山天合建筑集團等企業的老總和人力資源總監都異口同聲地說：硅湖學院通過校企合作“讓企業提前介入學校的教育教學，把企業需求、學校辦學和學生的職業生涯規劃三者緊密結合，無疑有助于將人才培養與企業需求真正做到對接，大大縮短了學生就業后與企業的磨合期，顯著提高了學生的就業競爭力”。 ? 強化責任，珍愛榮譽 硅湖職業技術學院在學生工作中，堅持以人為本，注重學生的全面發展，學習和借鑒國內外管理的先進模式，以“國家、責任、榮譽”為綱，突出學生優良品格的塑造。 學院針對學生入學起點偏低的現實，精心構建了“賞識激勵，擠壓成才”的育人模式，要求教師對學生傾注愛心，堅定信心，充滿耐心，以“硅湖學生好、人人有潛能、個個能成才”為信念，以愛動其心，以嚴導其行，為每一個學生提供一個最佳的發展空間，成為一個具有健全人格、良好心理素質和健康體魄的合格人才。 學院鼓勵學生自主建立各種專業和文體社團，組織開展豐富多彩的校園文化活動和社會實踐活動，一年一度的“硅湖之春”文化藝術節和“硅湖之夜”系列講座受到廣大學生的歡迎；“大學生實踐創新訓練活動”、“生存挑戰”和“學生技能大賽”成為學生熱捧的品牌項目，成為學生展示才能的最佳平臺。 學院還建立了學生服務中心，全天候地為學生提供咨詢、服務和管理，獲得了學生家長的好評。一位身有殘疾的母親在第二十四個教師節特地給學院院長寄來一封信，她動情地說“作為母親，我唯一的愿望就是希望女兒成人成才成功。當看到她終于實現了自己的理想和愿望，順利地走向工作崗位。我很高興，這是硅湖老師教育培養的結果！” 十年深耕，桃李芬芳。硅湖學子特有的務實心態、誠信為人、敬業精神以及良好的專業技能，贏得了用人單位的青睞和好評。易買得華東區人事部高級經理盛璐說：“我們是流通性企業，需要大量的人力資源。硅湖學院的學生肯學習、能吃苦，在培訓中，他們明顯比其他高校的同學上手快，我們歡迎這樣的學生，將他們作為易買得的儲備干部來培養”。昆山好孩子集團總裁宋鄭還先生對硅湖的畢業生贊賞有加：“硅湖培養的技術應用型人才，對于我們這樣的企業來說是非常需要的。這些學生留得住、用得上。他們的從業態度、敬業精神和創新能力讓我們滿意！” 四、尾聲 “桃李不言，下自成蹊”。硅湖職業技術學院，歷經十年的艱苦耕耘，向各行各業輸送了8000余名優秀的硅湖畢業生，他們扎根基層，能干實干，受到社會各界和用人單位的普遍好評。硅湖職業技術學院富有特色的辦學經驗，曾多次被《光明日報》、《瞭望周刊》、中央電視臺一套與新聞頻道等權威媒體采訪報道。學院先后被授予“全國自律與誠信建設先進單位”、“江蘇省職業教育先進單位”和“江蘇省百強民間組織先進單位”等光榮稱號。 如今的硅湖校園，自然風光令人陶醉，人文氣息沁人心扉。到處鋪著松軟翠綠的地毯，引來一群群白鷺，悠閑徜徉其間。氣勢恢弘的、外形宛如巨型飛碟的教學主樓，把一屆又一屆莘莘學子帶入知識的殿堂；古色古香的庭院式小樓，是專家、教授們安適的住所。校園里花木相映，小橋流水，自然品質和人文精粹和諧統一，如詩如畫。 一排排信息櫥窗前，名家的學術講座，精彩的文藝演出，激烈的體育比賽，豐富的專業技能比武，歷屆“硅湖之春”文化活動的特寫鏡頭，還有那一幅幅中外合作辦學的彩照，一份份創業有成的畢業生事跡簡介，生動展現了硅湖職業技術學院的豐碩成果和勃勃生機，描繪出硅湖文化絢麗多彩的畫卷。 我們堅信，經過硅湖人的不懈努力，硅湖職業技術學院的明天一定能綻放出更加璀璨的花朵，硅湖職業技術學院的未來一定會更加美好！

近些年LED照明技術革命引起世界各國的普遍重視，市場潛力巨大，其中LED封裝膠是LED應用的關鍵材料之一，其主要功能在于負載熒光粉并為供芯片提供足夠的保護，使其發光更亮、更持久。封裝膠材料對LED芯片的功能發揮具有重要的影響，散熱不暢或出光率低均會導致芯片的功能失效，目前市場上高端LED封裝膠主要由道康寧、信越等國外公司壟斷。 本項目研制了新一代LED封裝膠，并建立了新的膠聯理論和方法，解決了以往封裝膠合成過程中需要金屬催化劑而引起的金屬殘留問題，提高了封裝膠材料的性能和壽命，相對于現用的市場上的國外標桿產品，北航自主開發的新一代LED封裝膠在耐老化性能、抗黃變性能方面通過了更為苛刻的實驗測試，且原材料成本低廉，極具市場競爭力。

農藥原藥通常是由 溶性化合物，需要通過乳化使用。一方面使得農藥噴灑得均勻，另一方面是為了提高農藥在植物表面的附著、擴散、滲透性能。農藥乳化劑一般是聚醚類，或是陰離子類，都屬于碳氫化合物。碳氫化合物的表面張力一般在30-40 mN/m.。液體表面張力越低，在植物表面鋪展和滲透能力越強。為了降低濃乳的表面張力可在農乳中添加增效劑，進一步降低表面張力，以實

本產品為一種改性有機硅柔軟劑，主要用于織物的后整理，給予織物柔軟、滑爽等手感。氨基硅油作為一種織物柔軟劑，不僅對棉、毛、麻等天然纖維有較好的柔軟手感，對合成纖維也有較好的柔軟效果。但經氨基硅油整理后的織物也存在親水性差、經光線照射后容易黃變的缺點，從而不能用于對淺色織物的后整理。本產品對氨基硅油直接進行醇基化改性，產品既保留了部分未改性的氨基硅油，又引入了羥基親水基團。經過本產品處理過的織物，既有經過氨基硅油處理后的手感特點又可改善織物的染色性、耐熱性和耐水性。同時氨基硅油中容易氧化黃變的氨基被部分親水基團醇基取代，增加了織物的親水透氣性，降低了處理后織物的黃變。

本發明公開了一種深硅刻蝕方法，包括如下步驟：（1）在硅片表面制備圖形化的光刻膠掩膜；（2）對硅片進行深感應耦合等離子體干法刻蝕，包括多個刻蝕階段，每個刻蝕階段均在感應耦合等離子體機內，通過鈍化、轟擊和刻蝕三個步驟交替循環加工完成，隨著刻蝕深度的增加，各刻蝕階段中轟擊步驟的轟擊強度逐漸增強。本發明有效解決了現有技術中側壁垂直度及粗糙度難以控制以及大刻蝕深度難以實現的問題，在提高刻蝕效率的同時，提高了對光刻膠的選擇比，刻蝕槽側壁垂直度高，粗糙度小，刻蝕深度大。