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共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀制作技術

1 成果簡介該技術可用于制造高技術產品——各種不同波長激光的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀；該技術屬國際首創(chuàng)，具有完全的自主知識產權。這種技術突破了制作一種波長的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀需要用相應波長激光進行調整的限制，它既可以用于在已有相應激光作為檢測工具的情況下制作共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀，也可以在沒有相應激光作為檢測工具的情況下，甚至在國內外尚沒有研制出相應（波長）激光器的情況下，制作所需任何波長的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀；該項技術包括共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀全套部件的制作技術和檢測技術，還包括最新國際首創(chuàng)的光纖耦合輸入共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀制造技術；采用該技術可以以極高的性價比和極高的利潤率制作共焦球面干涉儀，具有國內外最高的性能價格比。該技術已經成熟，制作工藝已經簡化和標準化，并已用于批量生產共焦球面干涉儀。該技術生產的是高技術產品，但由于技術與工藝成熟，所以對操作人員的要求并不高，細心的操作工即可勝任。2 應用說明用該技術制造的共焦球面法布里珀羅干涉儀有重要而廣泛的應用，舉例如下：激光器模譜分析與測量適于各種激光器的測量，包括：適用于固體、氣體、液體、半導體激光器的測量；適用于連續(xù)激光器、重復頻率脈沖激光器的測量；適用于各種波長（可見光、紅外光、紫外光等）激光的測量。激光橫模測量：檢測激光器工作于基橫模，高階橫模，混合模；激光縱模測量：縱模數量、間隔、譜線寬度、增益線線型；激光縱模分裂與模競爭的測量；激光器增益系數的測量。激光器的制作過程監(jiān)測：監(jiān)測激光器工作的單頻、雙頻及多頻狀態(tài)及雙頻激光功率平衡。多種儀器的制作與工作狀態(tài)的檢測：比如激光陀螺、原子時鐘、激光測速儀等，這些儀器都需要工作在一個穩(wěn)定的頻率上。濾波器、選頻器：從多個頻率的激光束中，選出其中一個頻率的激光。穩(wěn)頻器：用于使激光器穩(wěn)定工作在一個所需要的頻率上。多種傳感器：微位移測量（比如壓電陶瓷的微小伸縮靈敏度的測量等），物體表面超聲脈沖的檢測，微振動的檢測，液體折射率和濃度的檢測。3 效益分析對于制作通用波長激光的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀，其售價-成本比高 10:1；對不常用波長激光的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀，其售價-成本比可高 50:1。共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀的單價較高，為 5000-25000 元；生產效率高， 4-5 臺/人日；生產設備投資很低。僅需光學平臺、通用激光器和示波器；生產的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀，是國家教委規(guī)定的大學實驗室必備基本儀器；是激光器、多種傳感器等儀器的制作與使用過程的監(jiān)測等應用的首選儀器；在教學、科研、生產與應用領域中均有重要而廣泛的應用，市場大；由于高性價比和高效益，使用該技術生產的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀已經占領國內市場，國際市場待開發(fā)，可望產生很好的經濟效益。

清華大學 2021-04-13

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