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本發(fā)明公開(kāi)了一種同時(shí)具有糾偏和張力控制功能的浮輥系統(tǒng)，包括機(jī)架、輸入導(dǎo)向惰輥、輸出導(dǎo)向惰輥、浮輥縱向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)、浮輥以及糾偏和張力精調(diào)機(jī)構(gòu)。糾偏和張力精調(diào)機(jī)構(gòu)包括糾偏傳感器、張力傳感器和球形電機(jī)。若檢測(cè)到的薄膜偏移量表明薄膜在進(jìn)給面上存在偏移，則驅(qū)使球形電機(jī)動(dòng)子帶動(dòng)浮輥在薄膜進(jìn)給面上擺動(dòng)，此時(shí)浮輥與薄膜間的摩擦驅(qū)使薄膜逆方向的擺動(dòng)實(shí)現(xiàn)糾偏；依據(jù)檢測(cè)到的薄膜張力與目標(biāo)張力的比較結(jié)果，驅(qū)使球形電機(jī)動(dòng)子帶動(dòng)浮輥轉(zhuǎn)動(dòng)，動(dòng)子與浮輥的軸線偏心使得浮輥對(duì)薄膜進(jìn)行拉緊或松弛，完成對(duì)薄膜張力的控制。本發(fā)明通過(guò)球形電

一種用于原子力顯微鏡的氣氛控制系統(tǒng)，其特征在于：氣體瓶一（1a）和氣體瓶二（1b）分別通過(guò)流量計(jì)一（3a）、流量計(jì)二（3b）與混合氣管（4）的進(jìn)氣口相連，混合氣管（4）的出氣口通過(guò)進(jìn)氣腔（6）與原子力顯微鏡上的氣氛腔（7）的進(jìn)氣口相連。該系統(tǒng)能為原子力顯微鏡提供不同氣體、各種比例組成的可控混合氣氛，從而使原子力顯微鏡能進(jìn)行各種比例的不同氣體組成的混合氣氛下微機(jī)電系統(tǒng)的磨損失效、防護(hù)機(jī)理的模擬試驗(yàn)與研究，從而為相應(yīng)混合氣氛工作中的微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造與維護(hù)提供更準(zhǔn)確、可靠的試驗(yàn)依據(jù)，以降低微機(jī)電系統(tǒng)的磨損，提高微機(jī)電系統(tǒng)的使用壽命。

本發(fā)明公開(kāi)了一種基于變結(jié)構(gòu)的高壓直流輸電多通道附加阻尼控制方法。其特點(diǎn)在于通過(guò)具有高運(yùn)算效率和抗擾能力的TLS-ESPRIT算法辨識(shí)出次同步和低頻振蕩頻率、阻尼，以及系統(tǒng)降階模型，結(jié)合變結(jié)構(gòu)控制原理，設(shè)計(jì)含虛擬狀態(tài)變量的附加控制器，最后引入狀態(tài)觀測(cè)器，消除虛擬狀態(tài)變量，實(shí)現(xiàn)輸出反饋形式的HVDC變結(jié)構(gòu)控制器，然后采用變結(jié)構(gòu)控制理論設(shè)計(jì)多通道直流附加阻尼控制器，降低振蕩模式間的相互影響，能夠同時(shí)抑制次同步和低頻振蕩。該方法高效易行，而且變結(jié)構(gòu)控制理論對(duì)于實(shí)際電網(wǎng)的復(fù)雜多變工況具有較強(qiáng)的抗擾性，同時(shí)該控制器利用多通道結(jié)構(gòu)，解決了多控制器間的協(xié)調(diào)控制問(wèn)題，提出了一套具有很強(qiáng)操作性的實(shí)際大電網(wǎng)的控制器設(shè)計(jì)方法。

本發(fā)明公開(kāi)了一種網(wǎng)絡(luò)化多電機(jī)同步控制系統(tǒng)及方法，該系統(tǒng)包括基于 SOPC 的多軸同步控制模塊、PLC 控制器、上位機(jī)、人機(jī)界面、現(xiàn)場(chǎng) IO 設(shè)備、脈沖采集模塊和伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)模塊；通過(guò)脈沖采集模塊采集主令電機(jī)編碼器輸出的編碼脈沖信號(hào)經(jīng)過(guò)磁耦隔離處理后發(fā)送到多軸同步控制模塊，多軸同步控制模塊對(duì)接收到的脈沖信號(hào)進(jìn)行周期性的計(jì)數(shù)采樣，同時(shí)也接收來(lái)自上位機(jī)和人機(jī)界面?zhèn)鱽?lái)的控制命令，最終將控制命令轉(zhuǎn)化為 PWM 控制信號(hào)，經(jīng)過(guò)伺

本發(fā)明公開(kāi)了一種精確控制浸沒(méi)式光刻機(jī)浸液溫度的裝置，包括增壓泵；初級(jí)熱交換器，其浸液入口與增壓泵出口連通，浸液在其中進(jìn)行熱交換，實(shí)現(xiàn)浸液溫度的初級(jí)調(diào)控；次級(jí)熱交換器，其浸液入口與初級(jí)熱交換器浸液出口連通，浸液在其中進(jìn)行再次熱交換，實(shí)現(xiàn)浸液溫度的次級(jí)調(diào)控；流量伺服閥，其入口與初級(jí)熱交換器浸液出口連通，與次級(jí)熱交換器形成并聯(lián)，用于調(diào)節(jié)進(jìn)入次級(jí)熱交換器的浸液流量。通過(guò)協(xié)調(diào)控制進(jìn)入初級(jí)熱交換器和次級(jí)熱交換器的冷媒流量，并結(jié)合流量伺服閥對(duì)進(jìn)入次級(jí)熱交換器的浸液流量的調(diào)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液溫度的兩級(jí)調(diào)控，從而獲得溫

本發(fā)明公開(kāi)了一種基于液壓絞車牽引的水下運(yùn)動(dòng)體的速度控制方法，包括：(1)確定主閥閥芯開(kāi)度的設(shè)定值；(2)速度控制器獲取當(dāng)前的閥芯開(kāi)度反饋值，并計(jì)算閥芯開(kāi)度比；(3)若閥芯開(kāi)度比不大于閾值，則以單調(diào)過(guò)阻尼的方式逐漸增大閥芯開(kāi)度給定值值至閥芯開(kāi)度設(shè)定值，若閥芯開(kāi)度比大于閾值，則根據(jù)速度設(shè)定值與反饋速度值的差值以及閥芯開(kāi)度反饋值,實(shí)時(shí)給定閥芯開(kāi)度給定值；(4)液壓絞車根據(jù)主閥閥芯的開(kāi)度牽引柔性水下運(yùn)動(dòng)體以對(duì)應(yīng)速度運(yùn)動(dòng)；(5)循環(huán)執(zhí)行步驟(2)-(4)，直至小車速度達(dá)到設(shè)定值。本發(fā)明還公開(kāi)了對(duì)應(yīng)的控制系統(tǒng)。

本發(fā)明屬于芯片貼裝工藝相關(guān)領(lǐng)域，并公開(kāi)了一種適用于芯片 轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法，主要包括：基于大轉(zhuǎn)盤仰視相機(jī)和晶元盤 斜視相機(jī)的觀測(cè)和配合，對(duì)芯片從晶元盤至大轉(zhuǎn)盤單元的吸附轉(zhuǎn)移執(zhí) 行角度及位置控制；基于大轉(zhuǎn)盤俯視相機(jī)和小轉(zhuǎn)盤側(cè)視相機(jī)的觀測(cè)和 配合，對(duì)芯片從大轉(zhuǎn)盤單元至小轉(zhuǎn)盤單元的拾取轉(zhuǎn)移執(zhí)行角度及位置·108·控制；以及基于小轉(zhuǎn)盤仰視相機(jī)和小轉(zhuǎn)盤俯視相機(jī)的觀測(cè)和配合，對(duì) 芯片至基板的貼合過(guò)程執(zhí)行相應(yīng)控制。通過(guò)本發(fā)明，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)芯 片高效倒裝鍵合整個(gè)過(guò)程中芯片在位置及角度

本發(fā)明公開(kāi)了一種行星輪式越障機(jī)器人爬樓梯控制方法，包括 如下步驟:1)保持越障機(jī)器人勻速直線前進(jìn)，測(cè)量其同一驅(qū)動(dòng)組中兩 行星輪組與前方臺(tái)階的距離及行星輪組的轉(zhuǎn)速，并計(jì)算偏轉(zhuǎn)角;2)計(jì)算各行星輪組的理論轉(zhuǎn)速，并使行星輪組以計(jì)算得出的轉(zhuǎn)速進(jìn)行運(yùn)動(dòng); 3)檢測(cè)當(dāng)前的 L1 和 L2，并計(jì)算當(dāng)前的偏轉(zhuǎn)角θ;4)判斷當(dāng)前偏轉(zhuǎn)角θ 是否超過(guò)預(yù)設(shè)值:若是，則轉(zhuǎn)入步驟 2)，若否，則控制機(jī)器人繼續(xù)等 速直線前進(jìn);5)判斷兩行星輪組是否到達(dá)階梯:若否，則繼續(xù)等速直 線

本成果六軸驅(qū)控一體系統(tǒng)內(nèi)部集成了基于相鄰交叉耦合的六軸同步控制算法。在驅(qū)動(dòng)模塊內(nèi)部會(huì)對(duì)每軸反饋信號(hào)進(jìn)行同步控制策略處理，并引入一種基于電流動(dòng)態(tài)調(diào)整的補(bǔ)償系數(shù)，解決傳統(tǒng)相鄰交叉耦合結(jié)構(gòu)補(bǔ)償響應(yīng)慢、同步精度不高的缺點(diǎn)，同步誤差補(bǔ)償周期短，具有更快的同步控制響應(yīng)和更高的靈活性。 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、成果簡(jiǎn)介 傳統(tǒng)的工業(yè)機(jī)器人控制和驅(qū)動(dòng)分離，即采用一個(gè)獨(dú)立運(yùn)動(dòng)控制器控制多個(gè)獨(dú)立伺服驅(qū)動(dòng)器的形式，存在集成度低、體積大、成本高等問(wèn)題。本成果開(kāi)發(fā)的六軸驅(qū)控一體工業(yè)機(jī)器人控制系統(tǒng)由工業(yè)機(jī)器人控制軟件和伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)組成，主要特點(diǎn)有： （1）基于多核的SoC芯片，通過(guò)片內(nèi)總線實(shí)現(xiàn)控制系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的高速互聯(lián)通信，保證信息傳輸?shù)母咝院头€(wěn)定性。機(jī)器人控制算法和六軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)共用一個(gè)芯片中不同的內(nèi)核完成，實(shí)現(xiàn)高度集成。 （2）針對(duì)傳統(tǒng)機(jī)器人六軸無(wú)法高精度同步問(wèn)題，本成果六軸驅(qū)控一體系統(tǒng)內(nèi)部集成了基于相鄰交叉耦合的六軸同步控制算法。在驅(qū)動(dòng)模塊內(nèi)部會(huì)對(duì)每軸反饋信號(hào)進(jìn)行同步控制策略處理，并引入一種基于電流動(dòng)態(tài)調(diào)整的補(bǔ)償系數(shù)，解決傳統(tǒng)相鄰交叉耦合結(jié)構(gòu)補(bǔ)償響應(yīng)慢、同步精度不高的缺點(diǎn)，同步誤差補(bǔ)償周期短，具有更快的同步控制響應(yīng)和更高的靈活性。

該成果從煙粉虱的越冬、田間擴(kuò)散、暴發(fā)機(jī)制、田間種群動(dòng)態(tài)等方面研究江蘇地區(qū)煙粉虱種群的形成規(guī)律及成災(zāi)機(jī)制，提出了煙粉虱的控制策略、用藥原則和控制技術(shù)。研究成果在江蘇推廣應(yīng)用，可使化學(xué)農(nóng)藥用量減少 10~15%，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益， 2012 年獲全國(guó)商業(yè)科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。