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本發(fā)明公開了一種深硅刻蝕方法，包括如下步驟：（1）在硅片表面制備圖形化的光刻膠掩膜；（2）對硅片進行深感應耦合等離子體干法刻蝕，包括多個刻蝕階段，每個刻蝕階段均在感應耦合等離子體機內，通過鈍化、轟擊和刻蝕三個步驟交替循環(huán)加工完成，隨著刻蝕深度的增加，各刻蝕階段中轟擊步驟的轟擊強度逐漸增強。本發(fā)明有效解決了現(xiàn)有技術中側壁垂直度及粗糙度難以控制以及大刻蝕深度難以實現(xiàn)的問題，在提高刻蝕效率的同時，提高了對光刻膠的選擇比，刻蝕槽側壁垂直度高，粗糙度小，刻蝕深度大。

晶硅太陽電池生產仿真實訓讓學員以車間技術人員的身份參與整條晶硅太陽電池產線的生產工作。學員可以按標準生產流程操作車間生產設備、檢測生產樣品以及對電池生產進行工藝仿真，從而深刻了解整個太陽電池生產流程以及關鍵工藝參數(shù)。 一.1.1. 場景設計 場景由制絨車間、擴散車間、后清洗車間、PECVD鍍膜車間、絲網印刷車間和分選包裝車間六大場景組成。場景素材從多個真實工廠采集而來，高保真還原車間設備與生產流程 場景模型主要包括：潔凈車間、制絨機、自動上下料機、硅片、電子天平、分光光度計、電源柜、水冷機、空壓機、化學液柜、電腦，鍵盤、鼠標、擴散爐、石英舟、插片房、傳遞窗、純水箱、石英舟清洗槽、防毒面具、試驗臺、緩沖墊、防化服、源瓶、氣柜、硅槳、方阻測試儀，萬用表，石墨舟、PECVD鍍膜機、舟車、烘箱、全自動絲網印刷機、網版、刮刀、攪拌機、槳料、夾具、接觸電阻測試儀、燒結爐、IV分選儀、硅片盒、五格花藍等... 一.1.2. 互動設計 第一人稱視角控制主角場景漫游，學員可以在三維空間中自由活動和觀察場景中的物體。 拾取物體操作采用3D空間實際抓取的方式，沒有采用一般游戲中的背包欄方式，而當需要同時拾取多個物體時則提供3維工具用于裝放，采取這種方式會更加接近現(xiàn)實，使學員更真實的體驗實際工具的存放及使用的技巧。 各生產車間按照真實生產流程設計實訓生產任務，完成當前任務后才能進入下一個任務，每個任務記錄完成時間以及工藝仿真結果 縮略地圖實時顯示角色位置與任務點位置 第一人稱視角與特寫觀察視角無縫平滑撤換 機器與設置仿真控制，通過機器控制面板設置工藝參數(shù)，控制啟動生產，檢測生產結果 表單填寫與作業(yè)報告生成 使用儀器與設備檢測生產樣品 操作規(guī)程與關鍵知識點主動提示學習 原理動畫演示

濟南金威刻科技發(fā)展有限公司創(chuàng)建于2004年，是目前中國綜合實力最強的激光設備制造企業(yè)之一。公司位于濟南高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)，占地面積26000平方米。公司現(xiàn)有員工150余人，年產能達3000余臺。2013年實現(xiàn)營業(yè)收入9000萬元。 金威刻是一家專業(yè)研發(fā)、生產、銷售光、機、電一體化設備的高新技術企業(yè)。公司擁有一批頂尖的激光科技人才，建立了覆蓋中國、輻射全球的銷售體系，主營產品包括：激光雕刻機系列、激光切割機系列、激光打標機系列、木工機系列等四大系列。金威刻設備廣泛應用于廣告行業(yè)、工藝禮品、服裝服飾、建筑建材、木工行業(yè)、包裝印刷、電子電路、儀器儀表、精密器械、汽車配件、首飾飾品等行業(yè)。 公司擁有現(xiàn)代化的企業(yè)技術中心及頂尖的科學技術研發(fā)團隊，確保企業(yè)技術水平緊跟世界前沿。依托領先的研發(fā)平臺，公司獲得了產品和技術授權專利18項、3個技術創(chuàng)新項目榮獲新產品及科技成果鑒定證書、金威刻激光設備榮獲濟南市自主創(chuàng)新產品；公司榮獲濟南市守合同重信用企業(yè)、市級“一企一技術”創(chuàng)新企業(yè)、CSA中國廣告設備器材價值榜•行業(yè)新銳獎、中國機電產品進出口商會會員。 金威刻公司頒布并實施了激光雕刻機、激光切割機企業(yè)標準，在國內同行業(yè)率先通過了ISO9001質量管理體系認證，金威刻激光設備獲得了歐盟CE認證和美國FDA認證，遠銷美國、加拿大、澳大利亞、歐洲、東南亞、非洲等80多個國家和地區(qū)，且公司為十多個品牌提供OEM代工生產服務。 金威刻秉承“以質量求生存，以科技求發(fā)展，以創(chuàng)新求進步，以服務求市場”的經營理念，憑借先進的技術，致力于向全球用戶提供全面的激光應用解決方案。金威刻愿與您共同推進民族激光事業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。

本發(fā)明屬于機械泵領域，并公開了一種刻槽軸承動壓懸浮機械泵，包括蝸殼、上端蓋、葉輪、無刷電機、防水套筒和水潤滑螺旋槽推力軸承，所述蝸殼上設置有進水通道和出水通道；所述無刷電機包括電機外殼、硅鋼片、線圈、磁鋼轉子、防水套筒、轉子套筒和轉子轉軸；所述磁鋼轉子的上方和下方分別設置一組所述水潤滑螺旋槽推力軸承，每組所述水潤滑螺旋槽推力軸承均包括靜環(huán)和帶有螺旋槽的動環(huán)。本機械泵工作時，液體通過上端蓋的中間進水孔，進入到電機

深地空間艙，屬于深地科學技術領域。應用于地球表面下方，包括空間艙本體，空間艙本體上設置有應變監(jiān)測器、應力監(jiān)測器及通風系統(tǒng)，空間艙本體內設置有緊急避難所、公共活動空間、應急能源供應室及數(shù)據(jù)處理分析中心，數(shù)據(jù)處理分析中心中設置有相連接的數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，空間艙本體還設有與地球表面外部相連通的通道，所述通道設置有屏蔽門，還包括通過巷道與空間艙本體相連通的研究室，巷道上分別相對設置有應變監(jiān)測器及應力監(jiān)測器，所述應變監(jiān)測器、應力監(jiān)測器分別與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)相連。本實用新型適用于深地研究。

本發(fā)明屬于半導體制造中的套刻誤差測量領域，具體涉及一種基于穆勒矩陣的納米結構套刻誤差提取方法。本發(fā)明采用穆勒矩陣矩陣對角線上的 M13 和 M31 元素，或者 M23 和 M32 元素的線性組合分別直接擬合得到一條直線，利用該擬合直線可直接根據(jù)測量穆勒矩陣元素得到套刻誤差。該方法可以實現(xiàn)不同周期下一維套刻結構套刻誤差的快速、準確提取。本發(fā)明方法可以實現(xiàn)一維套刻結構的套刻誤差的快速、準確提取。

硅PU球場材料。是一種具有多功能運動性和施工優(yōu)勢的國家專利球場材料。 作為一種體育設施場地地面材料，有良好的緩沖性和延展性，粘結力量，對基礎有一定的治愈功能，能夠自動找平，施工簡單，抗老化性能優(yōu)秀，施工后化學性能穩(wěn)定，不易產生氣泡，且不會出現(xiàn)開裂和鼓泡現(xiàn)象。同時擁有常規(guī)PU與丙烯酸的優(yōu)良特性。是場地工程的最佳選擇。

深冷高壓儲氫技術，可以達到深冷高壓能耗降低一半，儲氫密度最高，無氫氣蒸發(fā)損耗，氫氣加注速度數(shù)倍于高壓氫氣、系統(tǒng)體積最小的目的。深冷高壓儲氫在小容量儲運容器上具有顯著的優(yōu)勢。 重卡車載儲氫領域、路基分布式儲氫基站、特種車輛儲氫領域。 最佳有效體積儲氫密度: 67g/L; 高續(xù)航里程、動力總成的重量和成本能與柴油車匹敵; 小容積(<500L)高儲氫量的發(fā)展趨勢； 深冷高壓加氫站加注速度快、能耗和碳排放低以及安全性高。