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一種深硅刻蝕方法
本發(fā)明公開了一種深硅刻蝕方法，包括如下步驟：（1）在硅片表面制備圖形化的光刻膠掩膜；（2）對硅片進行深感應(yīng)耦合等離子體干法刻蝕，包括多個刻蝕階段，每個刻蝕階段均在感應(yīng)耦合等離子體機內(nèi)，通過鈍化、轟擊和刻蝕三個步驟交替循環(huán)加工完成，隨著刻蝕深度的增加，各刻蝕階段中轟擊步驟的轟擊強度逐漸增強。本發(fā)明有效解決了現(xiàn)有技術(shù)中側(cè)壁垂直度及粗糙度難以控制以及大刻蝕深度難以實現(xiàn)的問題，在提高刻蝕效率的同時，提高了對光刻膠的選擇比，刻蝕槽側(cè)壁垂直度高，粗糙度小，刻蝕深度大。
華中科技大學
2021-04-14
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消振式振動深松機
本實用新型涉及耕整底土用機械，尤其是一種消振式振動深松機。包括機架和入土鏟，其中，還包括隨機浮動機構(gòu)、動力逆轉(zhuǎn)機構(gòu)和角度調(diào)整機構(gòu)，隨機浮動機構(gòu)、動力逆轉(zhuǎn)機構(gòu)和角度調(diào)整機構(gòu)均設(shè)置在機架上，入土鏟與隨機浮動機構(gòu)連接；所述機架包括水平設(shè)置的上橫梁和下橫梁，上橫梁位于下橫梁的正上方，所述角度調(diào)整機構(gòu)包括調(diào)整軸和調(diào)整盤，調(diào)整軸的兩端分別與機架鉸接，調(diào)整軸沿平行于下橫梁設(shè)置，調(diào)整盤固定在機架的一側(cè)，調(diào)整盤呈弧形，調(diào)整盤上間隔設(shè)置數(shù)個調(diào)整孔，調(diào)整軸靠近調(diào)整盤的一端固定有調(diào)整板，調(diào)整板與調(diào)整孔之間通過螺栓固定連接。其結(jié)構(gòu)簡單，機械性能穩(wěn)定，可調(diào)整入土角度，并且保證了入土角度一致性，松土效果好。
青島農(nóng)業(yè)大學
2021-04-13
深、淺感覺傳導XM-654A
XM-654A深、淺感覺傳導
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XM-654A深、淺感覺傳導顯示深、淺管感覺及傳導。
尺寸：放大，30×30×48cm
材質(zhì)：塑料
上海欣曼科教設(shè)備有限公司
2021-08-23
XM-654A深、淺感覺傳導
XM-654A深、淺感覺傳導
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XM-654A深、淺感覺傳導顯示深、淺管感覺及傳導。
尺寸：放大，30×30×48cm
材質(zhì)：塑料
上海欣曼科教設(shè)備有限公司
2021-08-23
網(wǎng)絡(luò)化遙控冷、熱水表
項目研究的背景及用途:在 IC 卡冷、熱水表研制的基礎(chǔ)上，我們以一項 發(fā)明專利和三項實用新型專利解決了該項研究的關(guān)鍵技術(shù)，即抗銹蝕閥門技術(shù)、 長壽命供電和低功耗技術(shù)、密封性技術(shù)及集中，透明管理技術(shù)。進而發(fā)展為網(wǎng)絡(luò) 化遙控冷、熱水表產(chǎn)業(yè)化工程。 網(wǎng)絡(luò)化遙控冷、熱水表保持了原 IC 卡冷、熱水表中的無銹蝕閥門特點， 但沒有電池與 IC 卡插座。在每棟樓中設(shè)置低位控制單元，該低位控制單元承擔 向各戶水表直流供電;具備應(yīng)急充電電源;具有故障自動診斷功能;開關(guān)水表中控 制閥功能;無線上網(wǎng)與主控 PC 機通信功能。實現(xiàn)了管理部門利用無線網(wǎng)絡(luò)資源對 用戶冷、熱水表進行綜合管理和遙控監(jiān)測的目的。 技術(shù)原理及流程:網(wǎng)絡(luò)化遙控冷、熱水表由三部分組成:低功耗電子式基 表、低位控制單元及主控微機。 成果水平及主要技術(shù)指標:技術(shù)水平國內(nèi)領(lǐng)先，具有一項發(fā)明專利和三 項實用新型專利的獨立知識產(chǎn)權(quán)。 市場分析及效益預(yù)測:應(yīng)用于方興未艾的房地產(chǎn)業(yè)，適應(yīng)國家及廣大居 民對能源與水資源的管理和節(jié)約要求。還可應(yīng)用于洗浴中心等用水大戶，提高節(jié) 水的自覺性，也可應(yīng)用于對城市地下水的管理等。
天津大學
2021-04-11
一種相變蓄冷裝置
發(fā)明公開了一種相變蓄冷裝置，包括蓄冷模塊和外循環(huán)模塊，所述外循環(huán)模塊包括空調(diào)負荷，冷水機組、水泵、穩(wěn)壓閥和止回閥；所述蓄冷模塊包括外殼、蓄冷槽、入水口、出水口、集水槽、共晶鹽相變材料和三維網(wǎng)狀流道；所述入水口和出水口設(shè)置在所述外殼上，所述蓄冷槽設(shè)置在所述外殼內(nèi)，在所述蓄冷槽的兩側(cè)設(shè)置所述集水槽，所述三維網(wǎng)狀流道配置在所述蓄冷槽內(nèi)，所述蓄冷槽內(nèi)非所述三維網(wǎng)狀流道空間填充所述共晶鹽相變材料。本發(fā)明既可以進行電力的移峰填谷從而保障電網(wǎng)安全、提高發(fā)電和輸變電設(shè)備的效率并且有效利用了有限資源，同時降低了空調(diào)系統(tǒng)的運行費用，很好地實現(xiàn)了間歇性工作。
東南大學
2021-04-11
LJB系列半導體冷阱（槽）
產(chǎn)品詳細介紹 LJB系列半導體冷阱，應(yīng)用半導體致冷器件為固體冷源，以智能化數(shù)量控溫儀表為控制核心，采用大功率半導體器件為控制元件，因此，具有體積小、無噪聲、操作簡便、控溫精度高等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于軍工、電子、石油化工、生物制藥、大專院校及科研院所等領(lǐng)域，是理想的實驗室和產(chǎn)品檢測儀器。
主要技術(shù)指標 1．冷室尺寸：Φ80～Φ300mm（直徑） 100～300mm（深度） 2．溫度范圍：＋60℃～—65℃ 3．控溫精度：±0.5℃～±0.01℃ 根據(jù)用戶的具體要求，增加計祘機通訊接口和升降溫速率控制的功能，根據(jù)用戶的特殊要求，承接異型產(chǎn)品的研制開發(fā)項目。
天津市中科電子致冷有限公司
2021-08-23
全光纖海洋溫鹽深測試系統(tǒng)
1、成果簡介 可以研發(fā)：全光纖溫鹽深傳感器等。 技術(shù)指標：1、溫度：±0.02℃；深度：±0.2%；下降深度：2000m以上2、應(yīng)用說明 主要應(yīng)用對象：海洋測量與勘測。3、效益分析高技術(shù)產(chǎn)品
北京航空航天大學
2021-04-13
深孔高速槍鏜、槍鉸刀具
? 成果簡介：在機械加工總工作量中，約三分之一為孔加工，而深孔加工過程由于排屑困難、切削溫度高、軸線定向性差是孔加工工藝中的難點。生產(chǎn)實際中深孔加工的效率往往很低，加工精度也難以保證。本項目主要解決在中、大批量生產(chǎn)條件下，深孔加工刀具的設(shè)計與制造問題以及相應(yīng)的切削技術(shù)。采用先進的刀具材料、合理的切削幾何結(jié)構(gòu)、有效的排屑及冷卻潤滑方式，可大大提高孔加工刀具的耐用度和加工精度，生產(chǎn)效率增長一倍以上。替代國外同類刀具，刀具壽命提高兩倍以上，刀具轉(zhuǎn)速可達3000rpm以上。各種發(fā)動機中
北京理工大學
2021-01-12
難加工銅合金深冷軋制技術(shù)
Cu-Ni-Sn系合金性能雖好，但由于Sn元素熔點低，其極易發(fā)生偏析而影響合金的最終性能。特別是由于Sn元素的偏析行為，Cu-Ni-Sn系合金在熱軋和冷軋過程中容易產(chǎn)生裂紋，這嚴重制約了該合金的開發(fā)與應(yīng)用。目前，國內(nèi)僅有個別公司可以對Cu-Ni-Sn系合金進行小批量生產(chǎn)。
中南大學深冷成形及高性能有色金屬材料加工研究團隊開發(fā)了深冷軋制技術(shù)，通過深冷溫度抑制Sn元素的偏析行為以及深冷環(huán)境下變形提高材料的變形均勻性，有效解決Cu-Ni-Sn合金等難加工金屬材料的變形裂紋問題。與此同時，通過深冷軋制處理，可以實現(xiàn)銅合金力學性能提升20~30%。
中南大學
2023-05-15