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本發(fā)明公開(kāi)了一種微型皮拉尼計(jì)的制備方法及其與體硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括：在硅基片正面制備體硅器件所需的絕緣層及電路引線；在硅基片的背面或正面沉積一層絕緣隔熱材料，刻蝕去除其四周部分得到絕緣隔熱層；在絕緣隔熱層上制備加熱體和電極；在沒(méi)有加熱體的一面制備圖形化的光刻膠掩膜；在有加熱體的一面沉積金屬膜；將金屬膜粘貼在表面有氧化層的硅托片上；對(duì)有光刻膠掩膜的一面進(jìn)行感應(yīng)耦合等離子體干法刻蝕，刻穿硅基片；去除光刻膠掩膜和金屬膜，得到集成結(jié)構(gòu)。本發(fā)明能有效提高皮拉尼計(jì)的制備與其它工藝的兼容性，解決皮拉尼計(jì)與體硅器件集成封裝工藝難度大，風(fēng)險(xiǎn)高，成本高且產(chǎn)量低的技術(shù)問(wèn)題。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹電子元器件激光打標(biāo)，電感電阻電線電纜，飲料瓶蓋激光打標(biāo)流水線在線激光機(jī)口罩激光機(jī)都可以在線打標(biāo)歡迎咨詢！

發(fā)明專利 “ 一種基于小波差分算法的電纜故障測(cè)距方法應(yīng)用于電力電纜在線故障定位 ” ，證書(shū)證號(hào) 955827 ，專利號(hào) ZL 2010 1 0235507.7 。該方法用于電力電纜的在線故障測(cè)距。

李源和合作者所關(guān)注的材料是Cu3TeO6，在這個(gè)材料中，每個(gè)原胞內(nèi)有12個(gè)具有磁性的Cu2+離子。在61K以下，Cu3TeO6成為反鐵磁體，原胞中6個(gè)Cu2+離子磁矩方向大致平行，而另外6個(gè)Cu2+離子與它們反向。利用線性自旋波理論，李源和合作者發(fā)現(xiàn)，Cu3TeO6中的自旋波具有線性的能帶交疊，而進(jìn)一步的分析表明這種能帶交疊具有拓?fù)湫再|(zhì)：具有純數(shù)形式的拓?fù)潆姾桑鼈儾灰蕾囉谀Ｐ偷募?xì)節(jié)，而只和體系的對(duì)稱性有關(guān)。李源和合作者證明了，只要材料中具有PT對(duì)稱性（時(shí)間反演和空間反演），那么，自旋波的線性能帶交疊總是存在。如果同時(shí)也存在整體的自旋旋轉(zhuǎn)對(duì)稱性U(1)，這種拓?fù)淠軒Ы化B具有狄拉克點(diǎn)的形式（圖1a），而將U(1)對(duì)稱性移除，則狄拉克點(diǎn)將拓展為結(jié)線（圖1b）。狄拉克點(diǎn)和結(jié)線都是在特定材料新預(yù)言的拓?fù)淠軒Ы化B類型。Cu3TeO6具有很高的晶體對(duì)稱性（第206號(hào)空間群，圖1c）,由此保證了在U(1)對(duì)稱性存在的前提下，布里淵區(qū)P點(diǎn)位置的自旋波總是狄拉克點(diǎn)。圖1：（a）基于J1-J2模型的自旋波色散（b）布里淵區(qū)以及布里淵區(qū)中的狄拉克點(diǎn)，同時(shí)展示了U(1)對(duì)稱性移除后狄拉克點(diǎn)演化為結(jié)線的過(guò)程（c）材料中Cu2+離子J1-J2交換網(wǎng)絡(luò)。 為了在實(shí)驗(yàn)上研究上述自旋波的拓?fù)淠軒?，李源和合作者又?duì)Cu3TeO6晶體陣列樣品進(jìn)行了非彈性中子散射實(shí)驗(yàn)。在實(shí)驗(yàn)中，李源和合作者觀測(cè)到了四維空間中清晰的自旋波信號(hào)。為了將實(shí)驗(yàn)結(jié)果和理論計(jì)算進(jìn)行對(duì)照，李源和合作者在模擬材料中磁交換作用方面做了大量工作，他們認(rèn)為：Cu2+離子之間最主要的磁交換作用是最近鄰和第九近鄰的交換作用，前者由于距離最近，后者由于離子之間相對(duì)筆直的交換路徑。從圖2a和b可以看到實(shí)驗(yàn)和計(jì)算結(jié)果符合得相當(dāng)好：數(shù)據(jù)不僅表明在布里淵區(qū)的P點(diǎn)存在狄拉克錐型的色散（圖2c），而且散射信號(hào)的強(qiáng)度與計(jì)算也幾乎是一致的（圖2d和e）。散射信號(hào)的強(qiáng)度反映了動(dòng)力學(xué)結(jié)構(gòu)因子S(Q,w)，其中包含了自旋波波函數(shù)的重要信息，所以實(shí)驗(yàn)和理論的一致性可以認(rèn)為是材料中自旋波拓?fù)鋵傩缘闹苯域?yàn)證。圖2：（a和b）沿著圖1（b）高對(duì)稱路徑的實(shí)驗(yàn)和計(jì)算的自旋波信號(hào)強(qiáng)度圖，布里淵區(qū)中心是(1, 1, 2)（c）布里淵區(qū)P點(diǎn)的狄拉克錐型色散（d和e）a和b虛線框中自旋波的細(xì)節(jié)，虛線包絡(luò)表明了P點(diǎn)的狄拉克錐型色散。

從天體物理動(dòng)力學(xué)理論出發(fā)，闡釋一類新的引力波天體的形成和演化過(guò)程。和此前已知的其他引力波源不同，這類新的天體同時(shí)輻射毫赫茲和百赫茲兩種頻率的引力波，因此可能被空間和地面引力波探測(cè)器同時(shí)觀測(cè)到。 愛(ài)因斯坦的廣義相對(duì)論預(yù)言引力能夠在時(shí)空中激起漣漪，并且這種“引力波”以光的速度傳播。自2015年9月14日美國(guó)的激光干涉引力波天文臺(tái)（Laser Interferometer Gravitational-wave Observatory，簡(jiǎn)稱LIGO）首次探測(cè)到兩個(gè)黑洞合并所激發(fā)的引力波后，引力波天文學(xué)立刻升級(jí)成為一門(mén)新興的實(shí)測(cè)科學(xué)。目前LIGO和歐洲的另一臺(tái)地面探測(cè)器Virgo協(xié)同觀測(cè)，已經(jīng)探測(cè)到了五起雙黑洞并合事件和一起雙中子星繞進(jìn)事件。 傳統(tǒng)的天體物理動(dòng)力學(xué)理論預(yù)言：一個(gè)數(shù)百萬(wàn)倍太陽(yáng)質(zhì)量的超大質(zhì)量黑洞和一個(gè)數(shù)十倍太陽(yáng)質(zhì)量的恒星級(jí)黑洞會(huì)形成“極端質(zhì)量比旋進(jìn)系統(tǒng)”，即extreme-mass-ratio inspiral，簡(jiǎn)稱“EMRI”。這種系統(tǒng)會(huì)輻射0.001赫茲左右的低頻引力波。這種引力波是未來(lái)的空間引力波探測(cè)器，比如歐美的激光干涉空間天線（Laser Interferometer Space Antenna，簡(jiǎn)稱“LISA”）和中國(guó)提出的“太極”、“天琴”等計(jì)劃，最重要的探測(cè)目標(biāo)之一。圖一：雙星極端質(zhì)量比旋進(jìn)系統(tǒng)想象圖。圖二：b-EMRI系統(tǒng)的形成(i)、圓化(ii)、和終結(jié)(iii)示意圖。 陳弦和韓文標(biāo)的研究發(fā)現(xiàn)，EMRI系統(tǒng)中的“小家伙”其實(shí)可能是由兩個(gè)恒星級(jí)黑洞組成的雙星（binary）。他們把這種恒星級(jí)雙黑洞和超大質(zhì)量黑洞組成的三體系統(tǒng)稱作“雙星極端質(zhì)量比旋進(jìn)系統(tǒng)”，即binary extreme-mass-ratio inspiral，簡(jiǎn)稱“b-EMRI”（如圖一所示）。 在文章中，陳弦和韓文標(biāo)系統(tǒng)闡述了恒星級(jí)雙黑洞如何被超大質(zhì)量黑洞潮汐捕獲（圖二中i過(guò)程），又是如何旋進(jìn)（inspiral）到超大質(zhì)量黑洞幾十倍視界半徑處，從而可能被空間低頻引力波探測(cè)器觀測(cè)到（見(jiàn)圖二中ii過(guò)程）。 這項(xiàng)工作的獨(dú)到之處在于作者引入了先進(jìn)的相對(duì)論三體數(shù)值模擬技術(shù)，用于追蹤恒星級(jí)雙黑洞在超大質(zhì)量黑洞附近的動(dòng)力學(xué)演化。因此他們發(fā)現(xiàn)兩個(gè)恒星級(jí)黑洞有較高的概率并合，從而輻射地面天文臺(tái)也能夠探測(cè)到的高頻引力波（見(jiàn)圖二中iii過(guò)程）。 因?yàn)閎-EMRI同時(shí)輻射低、高頻兩種引力波，就像高、低兩聲部同時(shí)進(jìn)行演唱，所以作者形象的稱之為“二重唱”引力波天體。未來(lái)聯(lián)合地、空探測(cè)器尋找到這類天體，將有助于人們進(jìn)一步理解引力波的產(chǎn)生、傳播、以及強(qiáng)引力場(chǎng)所造成的多種非線性動(dòng)力學(xué)過(guò)程。

本發(fā)明提出一種基于調(diào)頻連續(xù)波的超寬帶室內(nèi)定位方法，該方法由三個(gè)模塊組成：標(biāo)簽端是待定位的實(shí)體，向外發(fā)送調(diào)頻連續(xù)波；系統(tǒng)配備若干個(gè)基站，每個(gè)基站配備成對(duì)天線，兩根天線上接收到延時(shí)不同的調(diào)頻連續(xù)波，之后依次通過(guò)混頻、濾波、采樣、DFT等模塊提取到達(dá)時(shí)間差(TDOA)信息，并且每個(gè)基站都將TDOA信息發(fā)送給服務(wù)器；服務(wù)器綜合每個(gè)基站發(fā)來(lái)的TDOA信息，通過(guò)求解非線性最小二乘優(yōu)化，得到待定位標(biāo)簽的位置信息。該系統(tǒng)支持多標(biāo)簽同時(shí)定位，并首次將調(diào)頻連續(xù)波引入到了室內(nèi)定位技術(shù)，進(jìn)而將距離差信息承載在了易于提取的頻

本發(fā)明公開(kāi)了一種用于投影式光刻機(jī)成像系統(tǒng)的波像差檢測(cè)方法，包括光刻機(jī)成像系統(tǒng)的快速正向模型建立，澤尼克系數(shù)靈敏度矩陣的解析求解，檢測(cè)用掩模圖形優(yōu)化求解，基于單次光強(qiáng)測(cè)量的波像差求解。本發(fā)明方法通過(guò)解析求解無(wú)像差時(shí)的空間像光強(qiáng)值和澤尼克系數(shù)靈敏度矩陣，實(shí)現(xiàn)了基于單次離焦空間像光強(qiáng)測(cè)量的波像差檢測(cè)。

本發(fā)明公開(kāi)了一種電子回旋共振加熱毫米波發(fā)射器。其用于與 波導(dǎo)連接，包括真空腔體，以及設(shè)置在真空腔體內(nèi)的極化鏡、橢球反 射鏡和平面鏡；極化鏡設(shè)置在波導(dǎo)的輸出光路上，與波導(dǎo)呈 45°夾角， 用于將由波導(dǎo)輸出的毫米波極化并反射，得到極化毫米波；橢球反射 鏡設(shè)置在極化毫米波的輸出光路上，與極化毫米波呈 45°夾角，用于 將極化毫米波聚焦并反射，得到聚焦毫米波；平面鏡設(shè)置在聚焦毫米 波的輸出光路上，用于將聚焦毫米波反射后注入等離子體加熱腔，對(duì) 等離子體進(jìn)行加熱和電流驅(qū)動(dòng)。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)毫米波的實(shí)時(shí)極化， 并能

本發(fā)明公開(kāi)了一種頻率可調(diào)的太赫茲波超材料調(diào)制器，包括周 期排列的單元器件，每一個(gè)單元器件包括襯底、位于襯底上的功能材 料層以及位于功能材料層上的金屬諧振單元；當(dāng)功能材料層從絕緣相 變成金屬相，功能材料層的電導(dǎo)率呈指數(shù)倍增加使得金屬諧振單元的 中間開(kāi)口電容的面積增加，金屬諧振單元的諧振頻率隨著電容的增大 而變小實(shí)現(xiàn)了對(duì)單元器件的頻率調(diào)諧。本發(fā)明采用在太赫茲波段低傳 輸損耗襯底上制作周期排列的金屬開(kāi)口諧振單元、利用金屬絕

本發(fā)明公開(kāi)了一種電力系統(tǒng)故障錄波格式轉(zhuǎn)換方法，讀取數(shù)據(jù) 信息文件，從文件中獲取當(dāng)前數(shù)據(jù)的格式特征；根據(jù)格式特征判斷當(dāng) 前數(shù)據(jù)格式；根據(jù)當(dāng)前數(shù)據(jù)格式獲取數(shù)據(jù)的通道總數(shù) Sum、模擬量通 道總數(shù) nASum、狀態(tài)量通道總數(shù) nDSum；獲取選擇的通道號(hào) nID，根 據(jù) nID 查詢數(shù)據(jù)文件對(duì)應(yīng)的通道信息；將數(shù)據(jù)歸一化；獲取信息文件 中的錄波開(kāi)始時(shí)間及用戶自定義的開(kāi)始時(shí)間，獲取用戶自定義的頻率， 對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行時(shí)間及頻率的變換；獲取用戶選擇轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)格式，將數(shù) 據(jù)轉(zhuǎn)化指定格式。本發(fā)明可以克服故障錄波器來(lái)自不同