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MS-246小型多靶磁控濺射鍍膜機(jī) 真空腔室：1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，上開(kāi)蓋和前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)；真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+分子泵（進(jìn)口和國(guó)產(chǎn)可選）；極限真空：優(yōu)于8?10-5Pa（設(shè)備空載抽真空24h）；真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；升降基片臺(tái)：尺寸直徑100mm，高度60～120mm可調(diào)，旋轉(zhuǎn)0～20r/min可調(diào)，可加熱至300℃（可選水冷功能），可選配偏壓清洗功能；磁控靶：直徑2英寸2只（可升級(jí)成3只），兼容直流和射頻，可以濺射磁性材料的靶材；濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動(dòng)匹配的射頻濺射電源可任選；質(zhì)量流量計(jì)：10sccm、50sccm質(zhì)量流量控制器各1套；膜厚監(jiān)控儀：可選配國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口單水冷探頭膜厚儀；控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空；整機(jī)尺寸：L60cm?W60cm?H96cm機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個(gè)CF35法蘭接口。

EV-246小型電阻蒸發(fā)鍍膜機(jī)真空腔室：1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，上開(kāi)蓋和前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)；真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+分子泵（進(jìn)口和國(guó)產(chǎn)可選）；極限真空：優(yōu)于8?10-5Pa（設(shè)備空載抽真空24h）；真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；基片臺(tái)：可拆卸式，尺寸60?60mm，旋轉(zhuǎn)0～20r/min可調(diào)，可加熱至300℃（可選水冷功能）；蒸發(fā)源及電源：水冷銅電極3組，逆變式蒸發(fā)電源，功率2KW，配源間防污隔板；膜厚監(jiān)控儀：采用國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測(cè)和控制蒸發(fā)速率、膜厚；控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空；整機(jī)尺寸：L60cm?W60cm?H96cm機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個(gè)CF35法蘭接口。

云蝶科技是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的人工智能和AI大模型企業(yè)，聚焦產(chǎn)業(yè)數(shù)字化轉(zhuǎn)型服務(wù)，提供從核心算法、智能硬件到全場(chǎng)景應(yīng)用的大數(shù)據(jù)及人工智能技術(shù)產(chǎn)品與解決方案。乘著國(guó)家數(shù)字化轉(zhuǎn)型的東風(fēng)，云蝶科技近年來(lái)已成長(zhǎng)為技術(shù)創(chuàng)新領(lǐng)航、業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)領(lǐng)跑、市場(chǎng)規(guī)模領(lǐng)先的行業(yè)龍頭企業(yè)，相繼獲評(píng)國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、廣東省專精特新中小企業(yè)、廣州市未來(lái)獨(dú)角獸企業(yè)、廣州擬上市企業(yè)最強(qiáng)科創(chuàng)領(lǐng)頭羊等榮譽(yù)，目前已在全國(guó)超過(guò)100個(gè)區(qū)縣落地4000余個(gè)項(xiàng)目，產(chǎn)品和方案被廣泛的應(yīng)用于教育、工業(yè)和農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域。