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浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、技術分析 如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。

在一般腐蝕介質環境中工作的管板，通常由普通金屬，如鑄鐵、碳鋼、鋁合金、不 銹鋼、鈦合金等，金屬表面襯有防腐高分子材料如橡膠，或由浸漬石墨制成。倘若工作 環境為強腐蝕介質，就必須使用鋯、鈮、鉭等貴金屬材料，或者碳化硅（SiC）等陶瓷 材料，這些材料的成本不僅十分昂貴，而且機械性能或者加工性能不足，難以在大尺寸 的管板中應用。

目前在阻燃材料領域最常用的技術有添加型阻燃技術和反應型阻燃技術兩種。在添加型 阻燃技術中，所用的阻燃劑為含鹵、含磷、含硼、含銻及其它金屬元素，能夠有效的阻燃，但 是其危害性很大，使用中會污染環境。因此，阻燃材料不僅要求其具有高的阻燃效率，而且要 求其燃燒時無毒、低煙、對環境影響小。添加無鹵阻燃劑 (氫氧化鋁或氫氧化鎂) 的阻燃材料 可以滿足這些要求。如果采用氫氧化鋁或氫氧化鎂，為了達到UL94V-0級，其質量分數要達到 60％～70％，致使材料的拉伸強度、伸長率、沖擊強度降低。將本征阻燃聚合物如酚醛樹脂、 多乙炔苯、聚酰亞胺 (PI) 及其衍生物、聚苯并咪唑 (PBI) 等反應結合到基體樹脂上得到阻燃改 性的基體樹脂也是目前研發的方向之一。 材料的阻燃性，通常是通過氣相阻燃、凝聚相阻燃及中斷熱交換阻燃等機理來實現。凝聚 相阻燃機理是指在凝聚相中延緩或中斷阻燃材料熱分解而達到阻燃效果。阻燃材料燃燒時在其 表面生成難燃、隔熱、隔氧炭層，可阻止可燃氣進入燃燒氣相及外部熱源向材料的內部傳遞， 致使燃燒中斷。本技術依據凝聚相阻燃機理，制了備高性能的無鹵阻燃板。

此專利產品是對目前廣泛用于水處理工程的斜板（管）的改進產品，不改變斜板（管） 的基本工作原理，通過安裝組合與工藝應用條件的變化，實現以下特性： 1.將傳統斜板（管）的架空安裝改為落地安裝，難度降低； 2.清水從底部渠道引出，不再需要安裝造價較高的集水槽； 3.出水面由水平面改為垂直面，不再積泥，不需要經常沖洗； 4.清水被封閉在底部，不見陽光，沉淀池不再滋生藻類； 5.充分利用池深，增加斜板（管）的安裝數量，產能提高； 6.成組安裝，不再封閉池面，改管道排泥為機械排泥，不積泥。 

隨著國民經濟的快速發展，國內汽車保有量迅速增加，對高品質汽車板的需求日益旺盛。目前，板材表面光潔性、涂漆性能是影響汽車外板關鍵因素，尤其是中高檔轎車，外板材料必須達到 O5 級表面水平（O5 級別要求鋼板表面無任何缺陷）。因此，控制汽車板材表面質量是鋼鐵企業生產中最重要的技術之一。當前高等級的汽車板生產難度極高，主要是存在以下三個難題：（1）汽車板澆鑄過程中水口結瘤物嚴重，影響汽車板質量與正常生產；（2）連鑄結晶器液面波動引起的界面卷渣缺陷；（3）大尺寸夾雜物及液態保護渣易出現在鑄坯表層。當前普遍采用鑄坯表面扒皮方法降低缺陷概率，然而此種方法耗費大量人力、物力，且不能從根本上解決高等級的汽車面板缺陷問題。因此，控制汽車板表面缺陷是打造高端 O5 板、實現高效節能穩定生產需解決的關鍵問題。（1）汽車板鋼連鑄浸入式水口結瘤控制技術。汽車板鋼 RH 精煉過程加入鋁粒，脫除鋼中[O]含量，生產 Al 3 O 2 夾雜物，在后續工藝中采用控制精煉渣系、提高軟吹時間、防止二次氧化等手段，減少鋼液中夾雜物含量。在實際連鑄生產過程中，Al 2 O 3 仍頻繁的造成水口結瘤，影響正常澆鑄。在水口結瘤物中發現，水口內壁結瘤物中普遍存在大量的凝固鋼，從而加劇水口堵塞的速度。本項目提出水口結瘤控制技術，在浸入式水口附近采用電磁加熱技術，通過調整電流頻率和強度，在水口內部附近產生高頻交變磁場，誘導此區域產生大量的焦耳熱，提高水口內壁溫度，避免由于鋼液滯留造成的凝鋼現象，降低水口堵塞幾率，避免由于偏流現象導致的界面卷渣行為，改善鑄坯表層質量，提高高端汽車板生產節奏的穩定性。（2）連鑄結晶器界面卷渣控制技術。通過改變浸入式水口類型、浸入深度、吹氬流量等操作參數可以改變連鑄結晶器內單環流—雙環流流動行為，從而改善界面波動，降低卷渣概率。當前研究吹氬條件下結晶器鋼液流動行為，普遍通過水模型進行物理模擬，而對實際生產過程中鋼渣界面的波動行為研究很少。因此在實際生產過程中，仍頻繁出現卷渣現象，遺留至鑄坯表層附近，嚴重影響汽車板的正常生產。本項目采用插釘板實驗，實驗測量澆鑄過程中鋼渣界面形狀和流速分布，確定獲得鋼渣界面的傳輸行為。通過優化操作工藝參數，實現連鑄結晶器界面卷渣的有效控制。與國內研究相比，能夠實現連鑄結晶器液面波動行為的實際測量，測量結果更為準確直觀，有效指導生產實踐。（3）初始凝固鉤尺寸控制技術。連鑄結晶器彎月面附近，高溫鋼液與結晶器銅板接觸良好，大量的凝固潛熱瞬時釋放，凝坯殼快速形成。在結晶器往復震動作用下，初始凝固坯殼被液態保護渣擠壓向鋼液內部彎曲，病形成初始凝固鉤。在非正常澆鑄條件下，初始凝固鉤尺寸較大，對上浮的大尺寸夾雜物和液態保護渣有較強的捕獲作用，造成鑄坯表層夾渣而遺留至鑄坯內部，并在后續軋制過程中極易形成汽車板表層缺陷。目前國內對彎月面附近初始凝固行為研究較少，開展凝固鉤捕獲大尺寸夾雜物與保護渣研究很少。本項目采用實驗檢測與數值模擬手段，研究結晶器彎月面附近凝固行為，研究凝固鉤形成過程及大尺寸夾雜物遷移、捕獲行為，分析關鍵工藝參數初始凝固行為影響，實現凝固鉤尺寸的有效控制，降低凝固鉤對夾雜物和保護渣捕獲概率。

【發 明 人】江星；徐桂華；陳華；王璇 【摘要】 本實用新型涉及一種面部刮痧板，包括中空的手持部及刮痧部，二者連接為一個整體；刮痧部的前端間隔固定有滾珠，手持部與刮痧部相對的一端上設有至少一個開口，開口內設有暗扣；刮痧板內注有液體。本實用新型結構簡單，設計合理，操作便捷，利用刮痧板邊緣的滾珠將刮痧板內部的精油導出，使精油與刮痧治療相結合，不僅可以起到潤滑的作用，同時還能使治療效果加倍。

新型塑料蜂窩板是以聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯等通用塑料為原料，制成的具有蜂窩紙板剛度、抗壓和抗彎性的環保性材料。其成本與蜂窩紙板成本相近。由于新型塑料蜂窩板防潮、防霉，可制成包裝箱、托盤，因此是取代木制品和蜂窩紙板理想的包裝材料。由于新型塑料蜂窩板可反復回收利用，因此它是一種節省資源、保護生態環境、成本低廉的新型綠色包裝材料，具有很大的應用前景。新型塑料蜂窩板成型技術是專利技術，包括成型裝備與模具設計、制品結構設計、配方及加工工藝控制技術。

產品詳細介紹1.采用優質鍍鋅鋼板及高檔鋁合金框架制成，結構堅固，經久耐用。2.板面顏色為銀灰色，符合國家《黑板安全衛生要求》（WS99-1998）之規定（國家規定黑板顏色為五種：黑色、綠色、銀灰色、藍色、棕色），美觀大方，色彩柔和，板面平整，不反光，不刺眼，能減輕視覺疲勞，預防近視。3.便于攜帶，方便使用，美觀精致。4.公司自主研發生產，擁有自主知識產權。

產品詳細介紹1.采用優質鍍鋅鋼板及高檔鋁合金框架制成，結構堅固，經久耐用。2.板面顏色為銀灰色，符合國家《黑板安全衛生要求》（WS99-1998）之規定（國家規定黑板顏色為五種：黑色、綠色、銀灰色、藍色、棕色），美觀大方，色彩柔和，板面平整，不反光，不刺眼，能減輕視覺疲勞，預防近視。3.一板多用，既可書寫又能與多媒體互動教學資源配合使用。左右推拉書寫板還可以套裝電子白板和一體機使用。    4.公司自主研發生產，擁有自主知識產權。