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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
一種陶瓷素坯管的雙工位自動磨切機
一種陶瓷素坯管的雙工位自動磨切機，包括機架、儲料倉、上料機構、傳送機構，陶瓷素坯管的磨削工位、切割工位，陶瓷素坯管的磨削工位在切割工位的左側；上料機構左側為儲料倉，上料氣缸位于儲料倉末端，儲料倉支撐梁末端固定有陶瓷素坯管下落的引導板；傳送機構包括運送托架驅動氣缸和雙V型槽運送托架，雙V型槽運送托架和運送托架驅動氣缸固定在一起，雙V型槽運送托架側面固定導向滑塊；磨削工位，具有無心支撐輪、磁力驅動裝置以及砂帶磨削裝置；切割工位，具有無心支撐輪、磁力驅動裝置、切割裝置，切割工位也具有工件的下料機構；本實用新型具有只需一臺機器即可實現陶瓷素坯管表面磨削和陶瓷素坯管兩端余料切割的優點。
浙江大學
2021-04-13
一種降低離心泵承磨環磨損程度的裝置
本發明公開了一種降低離心泵承磨環磨損程度的裝置，包括高壓清水泵(1)、承磨環(4)、葉輪(10) 和離心泵(13)，高壓清水泵(1)依次通過輸水管(2)、水封管(3)、離心泵(13)的泵殼孔(7)與中心開有徑向孔 (6)的承磨環(4)相連通，承磨環(4)設置在離心泵(13)的泵殼底部，承磨環(4)的近吸水室側底面(9)與葉輪 (10)進口外緣的間隙 L1 小于承磨環(4)的近壓水室側底面(12)與葉輪(10)進口外緣的間隙 L2。本發明成本 較低，便于推廣;能夠使水泵的泄漏損失減少，使得水泵的效率提高;能大大降低承磨環的磨損程度， 使水泵長時間保持高效運行。
武漢大學
2021-04-13
大型風電葉片磨拋移動式加工機器人系統
本成果提出了一種新型的移動式磨拋加工機器人方案，實現了具有高轉動輸出特性的并聯機構構型創新設計與尺寸參數優化，建立了機器人整機高剛度高能效設計方法，開發了高能量密度關鍵驅動單元，搭建了開放式機器人控制系統并研制了移動式混聯磨拋機器人系統樣機，攻克了機器人精度保證難題并實現了末端執行器的準確定位。
項目研究了曲面自適應的主被動耦合柔性磨拋法蘭，建立材料去除模型以研究進給速度與接觸力同步耦合規劃方法、開發了面向大型風電葉片磨拋加工余量檢測的原位視覺測量系統，進行了面向大型風電葉片磨拋的原位視覺測量-余量補償-力控加工的自適應打磨與驗證，為大型風電葉片力控磨拋工藝系統設計提供了理論基礎和實現手段。
并且項目研制基于玻璃鋼葉片高光反射表面三維激光掃描測頭，構建了面向超大葉片的多移動機器人協作型激光三維測量系統，并完成了大型風電葉片測量軟件的開發，實現風電葉片高精度定位以及健壯、高效高精的多機器人協作測量與葉型分析。
【技術指標】
【市場前景】
目前機器人打磨技術在汽車零部件、五金衛浴、3C電子、工業零件、醫療器械、航空航天和軌道交通等行業已經有較為成熟的應用。但相對焊接、噴涂、搬運碼垛等機器人應用來說，打磨應用規模還比較小，隨著人口紅利的消失、產品成本降低和產品質量提高的要求，這一細分領域也蘊涵著巨大的發展潛力。近幾年，我國打磨機器人行業市場規模快速增長，從2012年的15.58億元增長到了2022年的96.1億元，年均復合增長率達到18%，未來隨著勞動力結構的改變及智能制造的發展仍有開拓增長空間。
華中科技大學
2023-07-19
3D顯示系統
3D顯示已成為顯示技術發展的主流。本團隊經過多年的聯合攻關，攻克、掌握 了基于深度圖像繪制、深度估計、超高清多視點視圖合成、超高清裸眼3D全貼 合及校準等多項關鍵技術；已完成了多種3D顯示系統開發，包括基于深度圖像繪 制的視圖合成系統、實時2D轉3D系統、超高清裸眼3D顯示系統等。 基于深度圖像繪制（depth-image-based rendering, DIBR）系統完成了全高 清DIBR系統開發，并在此基礎上開發了一套2D轉3D系統。該系統只需要傳輸一 路視頻流及對應的深度信息，減少了傳輸帶寬。此外，該系統能夠方便地實現 3D顯示的深度調節、2D-3D視頻轉換，以及方便地支持各種裸眼3D顯示器。 超高清多視點裸眼3D顯示一體機完成了 一體機研發。研發的機型支持各種 顯示分辨率、支持多視點融合、支持基于Android, FPGA的一體機實時架構。 產品采用全貼合及校準工藝，能夠實現顯示屏幕與浮點型柱鏡光柵的的最佳匹配。
重慶大學
2021-04-11
3D打印技術
成果描述：3D打印設備和相關技術已應用到與寧江機床、遠景數控機床等企業合作項目的研究工作中，在儀器設備創新設計、鋼結構建筑關鍵環節零件制造等方面起到良好的促進作用。同時，應用3D打印技術支持成都某石油鉆頭企業改進了鉆頭模具制作工藝，使其產品成本下降，生產周期縮短至原來的1/2。完成了大型滾石風動模型的制作工作。與成都丙火創意產業有限公司合作進行家具創新設計的驗證。在與川大智勝的合作中進行人臉模型的數據處理與快速打印。目前正與我校生物醫學工程學科相關單位合作，開展個性化人工關節、人體義肢制作等方面的3D打印服務技術的開發工作。市場前景分析：本研究所在2001年開始使用紫外光固化快速CPS-350成型機，展開了對快速成型技術的跟蹤研究。從2003年開始，在機制專業本科生中開設《快速原型技術》課程，展開了從逆向設計中的數據處理、快速模具制造，到3D打印機的研發以及技術服務工作。與同類成果相比的優勢分析：基于3D打印的產品個性化定制服務模式與數字制造技術； 復雜機械產品3D模型的分層優化和路徑規劃技術； 網絡環境下3D打印定制和再制造業務協同引擎與運行平臺技術； 3D打印再制造服務關鍵技術與應用系統開發； 基于多軸聯動數控系統的3D打印原型樣機。
四川大學
2021-04-11
裸眼3D
成果介紹 核心技術包括三維光場渲染算法+微透鏡陣列，從顯示內容到最終三維顯示的一站式裸眼3D解決方案，包括3D內容制作、人機交互方案、超高清二維面板、微透鏡陣列、三維渲染芯片。 2.專利成果和論文 目前專利16項，包括14項發明專利授權和2項發明專利公開，SCI/EI論文5篇，方案100%自主化。
東南大學
2021-04-11
3D智慧眼
新一代AI圖像增強技術，精準的3D形體識別； 支持手勢控制、實時3D掃描、實景測量、教室學情分析； 偵測到從物移動時，自動跟蹤移動軌跡，精準還原動態細節。
精標科技集團股份有限公司
2021-02-01
D系列消聲器
消聲器
威海威力風機有限公司
2021-06-30
3D打印筆
產品詳細介紹
產品簡介
利用PLA、ABS塑料，3D打印筆可以在任何表面“書寫”。無需電腦或電腦軟件支持，只要把它插上電，等一等就可以開始奇妙創作。它基于3D打印，擠出熱融的塑料，然后在空氣中迅速冷卻，最后固化成穩定的狀態。賦予了無盡的創造力。只要幾個小時的練習，便能夠描畫出驚人的絢爛。
河北洛克教育科技有限公司
2021-08-23