一種固定音圈電機(jī)直驅(qū)式 X-Y 微動平臺
本發(fā)明涉及一種直線電機(jī)直驅(qū)的二維微動平臺,為一種固定音圈電機(jī)直驅(qū)式 X-Y 微動平臺,包括基座、音圈直線電機(jī)、X 向運(yùn)動平臺、Y 向運(yùn)動平臺、解耦部件和光柵尺等。音圈直線電機(jī)直接驅(qū)動 X-Y二維微動平臺;X 方向和 Y 方向音圈直線電機(jī)均固接于底座,通過解耦部件實現(xiàn) X 向和 Y 向的運(yùn)動;利用光柵尺來檢測電機(jī)位置。本發(fā)明為提高運(yùn)動速度和運(yùn)動精度,屏棄了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)傳動機(jī)構(gòu),采用直線電機(jī)直接驅(qū)動;為降低運(yùn)動慣量,設(shè)計了解耦部件,X、Y 向直線電機(jī)均固定來實現(xiàn) X-Y 二維運(yùn)動;為實現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定
華中科技大學(xué)
2021-04-14