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本發(fā)明公開(kāi)了一種 MEMS 器件的封裝方法，包括 S1 在框架基 板與封蓋的內(nèi)表面上對(duì)稱附著圖形化的過(guò)渡金屬化層和釬料層；S2 在 框架基板的釬料層上附著圖形化的自蔓延多層膜；S3 將芯片鍵合固定 在框架基板上并實(shí)現(xiàn)信號(hào)互連；S4 將固定有芯片的框架基板與封蓋進(jìn) 行除氣除濕處理后對(duì)準(zhǔn)堆疊形成封裝結(jié)構(gòu)；S5 對(duì)封裝結(jié)構(gòu)施加壓力、 預(yù)熱后引燃自蔓延多層膜，自蔓延多層膜燃燒并熔化釬料層實(shí)現(xiàn)冶金 互連。本發(fā)明將封蓋直接與框架

中階梯光柵的刻劃： ICP光譜儀的分光核心部件主要是中階梯光柵，中階梯光柵的二維分光系統(tǒng)，具備更高的分辨能力，使光譜儀具有分析精準(zhǔn)、多元素同時(shí)檢測(cè)以及檢測(cè)速度快等優(yōu)點(diǎn)。 √ 分辨力高 √ 制作難度大

中紅外光譜技術(shù)被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療診斷、軍事偵察、工業(yè)控制、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。其中，中紅外光源是實(shí)現(xiàn)中紅外技術(shù)的核心部件之一。作為二維層狀材料家族的新興成員，黑磷（BP）已因其獨(dú)特的性能而得到廣泛研究。

伴隨著虛擬現(xiàn)實(shí)技術(shù)，增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)技術(shù)，觸覺(jué)反饋技術(shù)以及智能機(jī)器人的出現(xiàn)，人們?cè)谝曈X(jué)和觸覺(jué)上有了越來(lái)越多不同的全新體驗(yàn)。例如，目前對(duì) 于機(jī)器人的操作方式一般是通過(guò)遙控裝置或是手動(dòng)觸控，這個(gè)使用者的操作帶來(lái) 很多不方便而且對(duì)于初學(xué)者來(lái)講也不是很好掌握，同時(shí)操作失誤率較高，因?yàn)槲覀儾荒苷媲械母惺艿綑C(jī)器人的世界。具備視覺(jué)與觸覺(jué)反饋的體感機(jī)器人采用體感交互裝置采集目標(biāo)人體肢體關(guān) 節(jié)信息，對(duì)目標(biāo)人體的姿態(tài)或動(dòng)作進(jìn)行分析識(shí)別;根據(jù)獲取到的分析識(shí)別結(jié)果產(chǎn) 生對(duì)應(yīng)的體感交互指令;將體感交互指令發(fā)送至機(jī)器人，機(jī)器人執(zhí)行體感交互指 令;同時(shí)機(jī)器人采集自己周圍環(huán)境信息，例如指尖壓力信息和周身圖像信息，通 過(guò)體感交互裝置反饋給目標(biāo)人體。通過(guò)上述方式不僅突破了傳統(tǒng)的對(duì)機(jī)器人的控 制方式，而且通過(guò)觸覺(jué)反饋的方式還有 3D 圖像的顯示，在大程度的讓使用者得 到沉浸式的操作體驗(yàn)。隨之而得到的不僅僅是方便的操作和大大降低的操作失誤 率，同時(shí)也給用戶帶來(lái)了更為生動(dòng)的操作體驗(yàn)。

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種分布式光感卡盤(pán)安全扳手，包括從上至下依次固定相連的手柄、上扳手體和 下扳手體，所述手柄上設(shè)有至少一個(gè)光感傳感器，所述下扳手體底部設(shè)有方形軸，所述下扳手體內(nèi)部設(shè) 有電源、控制器和蜂鳴器，所述方形軸內(nèi)底部設(shè)有光感傳感器，所述手柄上和方形軸內(nèi)光感傳感器的信 號(hào)均接入控制器，通過(guò)控制器接收信號(hào)判斷卡盤(pán)安全扳手所處狀態(tài)，來(lái)控制蜂鳴器是否報(bào)警。本實(shí)用新 型原理簡(jiǎn)單，使用、維護(hù)方便，可有效的

本項(xiàng)目深入分析了日常生活中暈車暈船等暈動(dòng)病的發(fā)病原因，開(kāi)創(chuàng)性地從體感和視覺(jué)兩個(gè)方面對(duì)暈動(dòng)病進(jìn)行預(yù)防和緩解。通過(guò)設(shè)計(jì)一種基于自動(dòng)控制技術(shù)和圖像處理技術(shù)的嵌入式防暈動(dòng)平衡系統(tǒng)，以Intel Galileo和Bay Trail平臺(tái)為核心，同時(shí)控制三自由度平臺(tái)的平衡和穩(wěn)定攝像頭采集的圖像，實(shí)現(xiàn)了體感和視覺(jué)的雙平衡，從而屏蔽了外界傾斜和晃動(dòng)對(duì)乘客的影響。在一定程度上避免了暈動(dòng)病的發(fā)生，更為乘客帶來(lái)了娛樂(lè)舒適、豐富多彩的旅行體驗(yàn)。

未來(lái)裝配式建筑構(gòu)件若實(shí)現(xiàn)工業(yè)化、標(biāo)準(zhǔn)化和智能化制造，關(guān)鍵環(huán)節(jié)是要求構(gòu)件成型模具拆裝靈活，便捷高效，可重復(fù)使用，并具通用性。高性能磁性固定器件就是為簡(jiǎn)化預(yù)制混凝土構(gòu)件模具安裝而設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的一種新型無(wú)損模具固定裝置，旨在解決傳統(tǒng)螺栓錨定對(duì)生產(chǎn)平臺(tái)的破壞性、難拆卸、通用性差的技術(shù)難題。

為了追求極限性能，越來(lái)越多的電子系統(tǒng)需要在低溫條件下工作。例如，在量子計(jì)算機(jī)、高性能傳感器、深空觀測(cè)以及一些經(jīng)典信息處理系統(tǒng)中，通常使用工作溫度為2K甚至是mk溫區(qū)的低溫器件，從而在噪聲、速度和靈敏度等方面實(shí)現(xiàn)接近量子極限的性能。對(duì)于這一類低溫系統(tǒng)，信號(hào)讀取與處理通常采用兩種方式：第一種是采用超導(dǎo)數(shù)字電路SFQ（單磁通量子技術(shù)）來(lái)實(shí)現(xiàn)高性能計(jì)算和處理；第二種是將信號(hào)傳送至幾十K的溫區(qū)，再采用低溫CMOS技術(shù)對(duì)進(jìn)行信號(hào)處理。然而，不論采用何種技術(shù)路徑，數(shù)字電路的功耗都必須控制在極小范圍之內(nèi)，從而保持極低溫的工作環(huán)境，維持低溫器件的高性能。隨著應(yīng)用需求的提高和低溫陣列器件規(guī)模的擴(kuò)大，低溫電子系統(tǒng)性能受到信號(hào)處理和傳輸技術(shù)的制約，急切需要新的方案進(jìn)行解決。 圖1. (a) 采用超導(dǎo)納米線結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)的12門(mén)控或邏輯門(mén)；(b) 超導(dǎo)納米線數(shù)字編碼器芯片照片。針對(duì)此問(wèn)題，南京大學(xué)吳培亨院士領(lǐng)導(dǎo)的超導(dǎo)電子學(xué)研究所團(tuán)隊(duì)，趙清源教授和康琳教授課題組設(shè)計(jì)出新型多門(mén)控超導(dǎo)納米線邏輯器件(superconducting nanowire cryotron, nTron)，并利用此器件搭建經(jīng)典二進(jìn)制數(shù)字編碼器；在1.6K的溫度下，成功實(shí)現(xiàn)數(shù)字信息編碼，總功耗小于1微瓦(10-6瓦)。同時(shí)，他們還利用此編碼器對(duì)超導(dǎo)納米線單光子探測(cè)器陣列實(shí)現(xiàn)數(shù)字化讀出，為低溫陣列探測(cè)器的信號(hào)讀出和處理提供第三種解決方案。圖2. 超導(dǎo)納米線邏輯芯片實(shí)現(xiàn)對(duì)單光子探測(cè)器陣列的數(shù)字化讀取。半導(dǎo)體數(shù)字電路，經(jīng)歷了從電子管、晶體管、混合集成電路至大規(guī)模集成電路的發(fā)展過(guò)程。每一代技術(shù)的升級(jí)變革，其核心推力都是基礎(chǔ)邏輯器件的更新?lián)Q代。前沿技術(shù)領(lǐng)域?qū)Τ瑢?dǎo)電子器件的應(yīng)用需求，也正將超導(dǎo)電子技術(shù)推向數(shù)字化的發(fā)展時(shí)代。南京大學(xué)吳培亨院士團(tuán)隊(duì)基于超導(dǎo)納米線技術(shù)，開(kāi)展了新型超導(dǎo)邏輯器件(nTron)的研究工作。nTron為單層平面器件，利用局部超導(dǎo)相變，實(shí)現(xiàn)高速低功耗的開(kāi)關(guān)邏輯。