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本發(fā)明公開了一種多頂針芯片剝離裝置，包括多頂針主體機構， 安裝于 Z 向升降機構上并連接旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構，其包括中心頂針和外圈 頂針，外圈頂針先接觸藍膜上芯片的外緣實現(xiàn)預頂松，然后中心頂針 上升至外圈頂針等高并協(xié)作頂起芯片，完成芯片剝離；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構， 連接多頂針主體機構，用于先后驅(qū)動外圈頂針和中心頂針上升以完成 芯片頂起動作；Z 向升降機構，安裝于三自由度微調(diào)對準機構上，停 機狀態(tài)時其處于下降位置，工作狀態(tài)其處于抬升位置，為頂起芯片做 好準備；三自由度微調(diào)對準機構，用于對多頂針主體機構進行 X、Y 和 Z 向的微調(diào)。本發(fā)明可實現(xiàn)頂針的快捷更換以及各頂針高度的方便 調(diào)節(jié)，芯片受力均勻，有效減少剝離過程中的芯片失效。 

本發(fā)明公開了一種超薄芯片的制備方法，具體為：首先在硅晶圓表面光刻形成掩膜以暴露出需要減薄的區(qū)域，再采用刻蝕工藝對硅晶圓進行局部減薄，對減薄后的區(qū)域進行芯片后續(xù)工藝處理得到芯片，最后將芯片與硅晶圓分離。本發(fā)明只是部分減薄了硅片，所以硅晶圓的機械強度仍然可以支持硅片進行后續(xù)的加工工藝，相對于傳統(tǒng)的利用支撐基底來減薄芯片的方法，簡化了工藝流程，降低了工藝成本。另外由于不需要用機械研磨工藝來進行減薄，所以不會因為機械研磨對硅晶圓造成的輕微震動而使厚度不能減得過小，通過本發(fā)明可以使芯片減薄到比機械研磨方法更薄的程度。

成果與項目的背景及主要用途： RFID是射頻識別技術的英文(Radio FrequencyIdentification)的縮寫，射頻識別技術是 20 世紀 90 年代開始興起的一種自動識別技術，射頻識別技術是一項利用射頻信號通過空間耦合(交變磁場或電磁場)實現(xiàn)無接觸信息傳遞并通過所傳遞的信息達到識別目的的技術。RFID 系統(tǒng)通過射頻信號自動識別目標對象并獲取相關數(shù)據(jù)，識別工作無須人工干預。作為條形碼的無線版本，RFID 技術具有條形碼所不具備的防水、防磁、耐高溫、使用壽命長、讀取距離大、標簽上數(shù)據(jù)可以加密、存儲數(shù)據(jù)容量更大、存儲信息更改自如等優(yōu)點，已經(jīng)被世界公認為本世紀十大重要技術之一，在生產(chǎn)、零售、物流、交通等各個行業(yè)等各個行業(yè)有著廣闊的應用前景。 本項目主要研發(fā)了基于 ISO18000-6B 協(xié)議的無源電子標簽芯片，其可用于物流，貨品識別，高速公路收費等諸多領域，是目前國內(nèi)外射頻電路研究領域的熱點。 技術原理與工藝流程簡介：UHF 頻段的無源電子標簽工作原理如下：通過標簽上外置的偶極子天線接收讀卡器發(fā)送的載波信號，并將其轉(zhuǎn)換為直流信號，為整個芯片供電；同時片上的解調(diào)模塊解調(diào)出經(jīng)調(diào)制的載波信號所攜帶的數(shù)據(jù)信息，并傳遞給片上的基帶部分加以處理；基帶部分連同 EEPROM 部分一起完成數(shù)據(jù)的讀寫和控制功能，再由調(diào)制模塊以反向發(fā)射的形式將上行信號返回給讀卡器完成一次通信。 本設計的工藝流程是基于 Chartered 0.35um EEPROM 數(shù)字工藝，從芯片設計、仿真、版圖驗證。最終通過代工廠完成芯片制作。技術水平及專利與獲獎情況：根據(jù)測試結構表明，各項指標都達到了商用需求，在國內(nèi)屬領先水平。該項成果已獲得國家知識產(chǎn)權局頒發(fā)的集成電路布圖登記證書。BS.06500285.7 應用前景分析及效益預測：目前國內(nèi)的 UHF 頻段的 RFID 產(chǎn)品正處于高速成長期，需求量快速增長，但大多數(shù)核心技術需要依賴進口。如果本項目能夠?qū)崿F(xiàn)技術轉(zhuǎn)產(chǎn)，可以預計的前景和經(jīng)濟效益是相當可觀的。有了自主知識產(chǎn)權的 UHF頻段電子標簽，在很多領域都可以加以移植，取代進口產(chǎn)品不但可以大大節(jié)省開支，同時也可以實現(xiàn)產(chǎn)品的自我定制及更新，最大程度的方便了國內(nèi)用戶的應用。 應用領域：貨品跟蹤和識別（代替條形碼）、高速移動物體的識別、防偽認證以及電子支付等領域都會有廣泛的應用。 技術轉(zhuǎn)化條件（包括：原料、設備、廠房面積的要求及投資規(guī)模）：四十平方米以上的辦公用房，電腦、工作站若干，相應軟件。也可以和 RFID天線制造單位，卡片封裝單位共同合作，將成果轉(zhuǎn)產(chǎn)。 合作方式及條件：面談。

成分：從土貝母中提取分離的土貝母皂甙主治：主要用于治療各種時提瘤有栓塞指征的病人效果：抗腫瘤中藥栓塞劑有較好的抗腫瘤作用。臨床應用于腫瘤患者術前栓塞腫瘤血管、阻斷血供、殺傷腫瘤細胞并能提高機體免疫力。特別對無手術指征的患者，采用栓塞療法可提高患者的生存質(zhì)量和生存時間。土貝母皂甙具有抗病毒、抗腫瘤作用，并能提高機體免疫力。在此基礎上制備成栓塞劑，具有雙重的治

微流體數(shù)字化技術通過對裸結構的微噴嘴實施脈沖的慣性力，使微量流體在慣性力與黏性力交替作用下實現(xiàn)微流體的脈沖流動，從而實現(xiàn)數(shù)字化可控的微量流體的噴射，適用于液體微噴射、粉體微噴射等領域。 成熟度：基于非晶態(tài)玻璃材料毛細加工原理，進行了拉制、鍛制、殘余應力熱處理等工序研究，制作了出微納米級的微噴嘴、微管道。以玻璃微噴嘴制備儀為平臺研究了不同拉制參數(shù)、鍛制參數(shù)對微噴嘴幾何形狀的影響規(guī)律。基于微流體脈沖驅(qū)動-控制技術，分別采用拉制、鍛制的微噴嘴穩(wěn)定地制備了均一的微液滴。 微流體

一種基于雙超時網(wǎng)絡報文的組流方法，設置短超時和長超時，當報文到達測量器，從報文頭中提取流信息，在網(wǎng)絡流緩存中查找由所測量報文的網(wǎng)絡流記錄，如果找到所述的網(wǎng)絡流記錄，更新流結束標識，否則在網(wǎng)絡流緩存中增加一條新的網(wǎng)絡流記錄，如果測量周期結束，則檢查網(wǎng)絡流緩存中的每條網(wǎng)絡流，如果所檢查網(wǎng)絡流的流結束標識為1，則所檢查短超時判斷網(wǎng)絡流結束，否則根據(jù)長超時判斷網(wǎng)絡流結束。

簡述：地鐵牽引變流器基于國家“十一五”最新科技成果（項目：“城市軌道交通能饋式牽引供電系統(tǒng)及牽引傳動系統(tǒng)研制”，編號： 2007BAA12B07 ），具有完全自主知識產(chǎn)權，應用于地鐵牽引傳動系統(tǒng)，實現(xiàn)牽引電機驅(qū)動及控制，具有模塊化、輕量化、低噪聲等特點，可完全替代國外進口系統(tǒng)。該設備已通過鐵道部產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心機車車輛檢驗站型式試驗，在廣州地鐵 1 號線完成裝車試驗，即將裝一列車。

一種基于雙超時網(wǎng)絡報文的組流方法，設置短超時和長超時，當報文到達測量器，從報文頭中提取流信息，在網(wǎng)絡流緩存中查找由所測量報文的網(wǎng)絡流記錄，如果找到所述的網(wǎng)絡流記錄，更新流結束標識，否則在網(wǎng)絡流緩存中增加一條新的網(wǎng)絡流記錄，如果測量周期結束，則檢查網(wǎng)絡流緩存中的每條網(wǎng)絡流，如果所檢查網(wǎng)絡流的流結束標識為1，則所檢查短超時判斷網(wǎng)絡流結束，否則根據(jù)長超時判斷網(wǎng)絡流結束，本發(fā)明采用兩個不同時間粒度的流超時機制，大大減少已經(jīng)結束流在緩存中的存在性，并減少一個流被分割成多段而需要在緩存中進行多次輸出流記錄、生成新流記錄等消耗系統(tǒng)資源的操作，同時又減少后臺需要系統(tǒng)資源將多個被分割的短流合并成一個流。

氮化硅陶瓷是一種耐高溫耐磨材料，廣泛用于冶金、化工、能源等領域，氮化硅粉是制備氮化硅的原材料。實驗室提出了一種流態(tài)化直接氮化制備超細粉方法，可低成本生產(chǎn)晶相和非晶相氮化硅粉。

多相流數(shù)字全息顯示與測量儀將光學全息干涉原理與數(shù)字圖像處理技 術相結合，利用CCD或CMOS器件代替全息記錄干板，對液液或氣液擴散過 程依次記錄其一定時間間隔的多幅全息圖，再通過計算機數(shù)值計算來實現(xiàn) 待測液液或氣液擴散過程的數(shù)值重建，獲得折射率實時變化參數(shù)并進一 步得到擴散參數(shù)。 該技術達到國際先進水平，獲實用新型專利1項。