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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測控、5ppt級(jí)金屬離子測控、20μm級(jí)氣泡測控、50nm級(jí)殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計(jì)劃和國家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測控、5ppt級(jí)金屬離子測控、20μm級(jí)氣泡測控、50nm級(jí)殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

本發(fā)明公開了一種電控液晶菲涅耳紅外聚束微透鏡芯片，包括：第一驅(qū)控信號(hào)輸入端口、第二驅(qū)控信號(hào)輸入端口、以及菲涅耳液晶聚束微透鏡，菲涅耳紅外聚束微透鏡有 m 級(jí)衍射相位環(huán)，菲涅耳液晶聚束微透鏡采用液晶夾層結(jié)構(gòu)，且上下層之間順次設(shè)置有紅外增透膜系、第一基片、頂面圖案化電極、第一電隔離層、第一液晶定向?qū)?、液晶層、第二液晶定向?qū)印⒌诙姼綦x層、頂層圖案化電極、電極間電絕緣層、公共電極、以及第二基片，頂面圖案化電極和公共電極分別

本發(fā)明相對(duì)于傳統(tǒng)的OFDM系統(tǒng)發(fā)射機(jī)模型，添加了一個(gè)N點(diǎn)IDFT運(yùn)算，不需要太多額外的復(fù)雜度和硬件開銷。相對(duì)于傳統(tǒng)的OFDM，本發(fā)明大大降低了發(fā)送信號(hào)的PAPR，使發(fā)送信號(hào)功率分配更加均勻，降低了發(fā)射機(jī)功放的設(shè)計(jì)難度。本發(fā)明提出對(duì)添加Nzero個(gè)0后的N維信號(hào)進(jìn)行CI擴(kuò)展，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)直接對(duì)N-Nzero調(diào)制符號(hào)進(jìn)行CI擴(kuò)展，保持了子載波的正交性，使得發(fā)射信號(hào)的PAPR獲得了進(jìn)一步的降低。

本發(fā)明公開了一種基于重復(fù)子結(jié)構(gòu)的復(fù)合材料有限元建模方法，包括以下步驟：建立復(fù)合材料精細(xì)化的多組分單胞有限元模型；基于上述精細(xì)化的多組分單胞有限元模型，建立復(fù)合材料重復(fù)子結(jié)構(gòu)模型；對(duì)重復(fù)子結(jié)構(gòu)進(jìn)行縮聚，然后將特征矩陣裝配到單胞殘余結(jié)構(gòu)，得到全復(fù)合材料分析模型；此方法在保證計(jì)算精度的同時(shí)簡化了復(fù)合材料精細(xì)化建模工程，極大的提高建模效率，具有十分重要的工程意義。

該成果獲2018年度國家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)自然科學(xué)類二等獎(jiǎng)，該成果系統(tǒng)地開展了摩擦的聲子耗散以及聲子在界而和多層膜結(jié)構(gòu)內(nèi)的輸運(yùn)規(guī)律的研究，在摩擦的聲子粍散機(jī)理研宄方面，發(fā)現(xiàn)摩擦粍能與聲子主導(dǎo)頻率的定量關(guān)系；在國際上最早給出超晶格結(jié)構(gòu)導(dǎo)熱系數(shù)最小值出現(xiàn)的條件：率先提出聲子沿石墨法向輸運(yùn)的自由程遠(yuǎn)大于經(jīng)典理論預(yù)測的10nm左右：實(shí)現(xiàn)了描述聲子輸運(yùn)的玻爾茲曼方程的數(shù)值解，在國際上率先發(fā)現(xiàn)多層膜之間的范德華力能夠提髙聲子在多層膜結(jié)構(gòu)面內(nèi)的平均自由程。該項(xiàng)0組的研究成果主要發(fā)表在Nano Letters、Physical Review B、Nature Nanotechnology等國際學(xué)術(shù)期刊上，其中8篇代表性論文獲Science、Nature Nanotechnology、Nature Materials、Advanced Materials等重要國際學(xué)術(shù)期刊論文SCI他引509篇次，單篇最髙SCI他引U5次，研宂成果在國際上產(chǎn)生了重要的學(xué)術(shù)影響。

本實(shí)用新型公開了一種懸式絕緣子在線監(jiān)測系統(tǒng)，包括：應(yīng)力監(jiān)測裝置、污穢檢測裝置和導(dǎo)線風(fēng)偏 監(jiān)測裝置，用來實(shí)時(shí)監(jiān)測瓷柱式絕緣子的應(yīng)力數(shù)據(jù)、污穢數(shù)據(jù)和導(dǎo)線風(fēng)偏數(shù)據(jù)；應(yīng)力監(jiān)測裝置、污穢檢 測裝置和導(dǎo)線風(fēng)偏監(jiān)測裝置的輸出均連接 A/D 轉(zhuǎn)換電路，A/D 轉(zhuǎn)換電路的輸出連接數(shù)字處理電路，數(shù)字 處理電路用來將 A/D 轉(zhuǎn)換電路輸出的數(shù)字信號(hào)遠(yuǎn)距離傳輸?shù)揭苿?dòng)終端；移動(dòng)終端連接數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器；太陽 能電池用來供電；控制電路與應(yīng)力監(jiān)測裝置、污穢檢測裝置、導(dǎo)線風(fēng)偏監(jiān)測裝置、A/D 轉(zhuǎn)換電路、數(shù)字 處理電路和移動(dòng)終端均相連。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)高壓輸電線路上瓷柱式絕緣子的遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)監(jiān)控，從而及 時(shí)發(fā)現(xiàn)并排除絕緣子的安全隱患。 

本實(shí)用新型公開了一種多功能瓷柱式絕緣子在線監(jiān)測系統(tǒng)，包括：泄漏電流采集裝置，用來實(shí)時(shí)監(jiān) 測瓷柱式絕緣子的泄露電流數(shù)據(jù)；Sensor-應(yīng)力監(jiān)測裝置，用來實(shí)時(shí)監(jiān)測瓷柱式絕緣子的應(yīng)力數(shù)據(jù)；污穢 檢測裝置，用來實(shí)時(shí)監(jiān)測瓷柱式絕緣子的污穢數(shù)據(jù)；控制器通過信號(hào)線與泄漏電流采集裝置、Sensor-應(yīng) 力監(jiān)測裝置和污穢檢測裝置均相連；控制器用來收集數(shù)據(jù)，并將收集的數(shù)據(jù)通過發(fā)射天線發(fā)送出去，信 號(hào)接收器通過接收天線接收數(shù)據(jù)，信號(hào)接收器和終端機(jī)信號(hào)連接；太陽能電池用來供電。本實(shí)用新型設(shè) 計(jì)精簡，成本低廉，可很大程度保證瓷柱式絕緣子的正常運(yùn)行，從而預(yù)防事故發(fā)生，確保輸電線路的安 全和穩(wěn)定運(yùn)行。 

本實(shí)用新型涉及多自由度壓電超聲電機(jī)技術(shù)，具體涉及基于準(zhǔn)田字形壓電振子驅(qū)動(dòng)的平面電機(jī)，包 括定子組件、動(dòng)子組件、支座組件和預(yù)緊組件，采用準(zhǔn)田字形定子組件，且通過預(yù)緊組件與支座組件連 接；動(dòng)子組件分別連接定子組件和支座組件。電機(jī)通過激發(fā)準(zhǔn)田字形定子組件的面外一階對(duì)稱彎曲振動(dòng)、 左右圍桿面內(nèi)一階彎曲振動(dòng)、前后圍桿面內(nèi)一階彎曲振動(dòng)三種模態(tài)的振動(dòng)或近共振復(fù)合出兩相橢圓運(yùn)動(dòng) 軌跡，據(jù)此推動(dòng)動(dòng)子組件交替地沿 x、y 向移動(dòng)?？蓪?shí)現(xiàn)微米甚至更高精度級(jí)平面運(yùn)動(dòng)；

本實(shí)用新型提供一種測量絕緣子結(jié)構(gòu)高度的裝置，包括基座(1)、吊框(2)，所述吊框(2)包括 橫梁(21)與立柱(22)，所述橫梁(21)與所述立柱(22)垂直，所述立柱(22)與所述基座(1)的 底面垂直，所述立柱(22)上有測量刻度，所述橫梁(21)上設(shè)置有懸掛件(3)，所述懸掛件(3)包 括連成一體的懸掛部(31)和連接部(32)，所述懸掛部(31)與所測量的絕緣子(4)的鋼腳的形狀相 同。所述基座(1)上可以設(shè)有水平儀(11)，底部還可以設(shè)有 3 個(gè)調(diào)平支腳(12)，本裝置