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項目成果/簡介:隨著支配半導(dǎo)體技術(shù)數(shù)十年的摩爾定律日益接近其發(fā)展極限，多種功能器件集成被認為是超越摩爾定律延續(xù)集成電路發(fā)展進程的重要途徑之一，這就需要能夠滿足多種功能器件高密度集成的制造技術(shù)。多元兼容集成制造技術(shù)就是為此而開發(fā)的，該技術(shù)通過在更大范圍內(nèi)優(yōu)選結(jié)構(gòu)/功能材料組合，開發(fā)異質(zhì)集成制造工藝，大大拓展了功能微器件創(chuàng)新設(shè)計和制造的騰挪空間。經(jīng)過多年探索，目前已形成了涵蓋金屬、聚合物、陶瓷、復(fù)合材料的MEMS異質(zhì)異構(gòu)制造技術(shù)體系，并在多種類型功能器件研發(fā)中發(fā)揮了關(guān)鍵作用，初步展現(xiàn)了其基礎(chǔ)性支撐作用，相關(guān)技術(shù)獲得2016年度上海市技術(shù)發(fā)明一等獎。微系統(tǒng)集成發(fā)展趨勢多元兼容集成制造技術(shù) 獲獎情況上海市技術(shù)發(fā)明一等獎2016年團隊獲獎國家技術(shù)發(fā)明二等獎2008年上海市技術(shù)發(fā)明一等獎2007年超薄超快高熱流密度微通道散熱器上海交通大學(xué)團隊在長期研究經(jīng)驗和技術(shù)積累基礎(chǔ)上，創(chuàng)造性地提出了不同高熱導(dǎo)率材料組合構(gòu)造的復(fù)合結(jié)構(gòu)微通道散熱器設(shè)計方案，并基于多元兼容集成制造技術(shù)完成了多種尺寸樣品研制，其中，熱源面積與常用功率芯片尺度相當(dāng)?shù)某∩崞骼鋮s能力達到800W/cm2以上，在保留傳統(tǒng)微通道散熱器良好系統(tǒng)兼容性和適用性的基礎(chǔ)上達到了相當(dāng)高的散熱能力水平，為解決高功率芯片系統(tǒng)超高熱流密度散熱問題提供了一個深具可行性的解決方案。高溫薄膜溫度傳感器研究 發(fā)動機燃燒室等極端惡劣環(huán)境下（高溫、強振動、強腐蝕等）的工作參數(shù)現(xiàn)場監(jiān)測對傳感器技術(shù)是嚴(yán)峻挑戰(zhàn)，國內(nèi)外研究廣泛。交大團隊基于特種材料微納集成制造技術(shù)的長期積累，在高溫絕緣薄膜材料、多層薄膜應(yīng)力調(diào)控、曲面圖形化和高溫敏感介質(zhì)等技術(shù)上取得了一定突破，成功開發(fā)了多種可與現(xiàn)場結(jié)構(gòu)共型的高溫薄膜傳感器，具有體積小、環(huán)境擾動小、響應(yīng)快、靈敏度高、可分布式安置等優(yōu)點，該團隊已經(jīng)掌握了溫度、應(yīng)力/應(yīng)變、熱流等多種高溫狀態(tài)參數(shù)測量技術(shù)，適用溫度在800-1300℃之間。薄膜絕緣電阻隨溫度的變化及測試結(jié)構(gòu)高溫薄膜溫度傳感器制造及曲面圖形化技術(shù)薄膜溫度傳感器在發(fā)動機不同部位測溫需求無線溫度傳感器測溫系統(tǒng)高性能轉(zhuǎn)接板基于轉(zhuǎn)接板的多芯片封裝是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是傳統(tǒng)的硅轉(zhuǎn)接板性價比不高，阻礙了廣泛應(yīng)用。上海交大團隊基于非硅微加工技術(shù)的長期積累，突破了硅轉(zhuǎn)接板絕緣層完整性和再分布層熱隔離的難題，成功研制了漏電流極低的低成本高性能硅轉(zhuǎn)接板。此外，還開發(fā)了復(fù)合材料非硅轉(zhuǎn)接板，TCV陶瓷轉(zhuǎn)接板，TGV玻璃轉(zhuǎn)接板等各種三維封裝基板，實驗室能夠針對不同類型器件三維高密度封裝的具體要求，定制開發(fā)不同功能的專用轉(zhuǎn)接板，為多功能、高密度、高功率、低成本封裝提供個性化解決方案。TSV-3D 高密度封裝概念圖 金屬-聚合物-納米復(fù)合材料非硅基轉(zhuǎn)接板實物圖片知識產(chǎn)權(quán)類型:發(fā)明專利 、 軟件著作權(quán) 、 集成電路布圖設(shè)計技術(shù)先進程度:達到國內(nèi)領(lǐng)先水平成果獲得方式:獨立研究獲得政府支持情況:國家級

通過分子間親核進攻將碳碳三鍵轉(zhuǎn)化為金屬卡賓的過程應(yīng)用于交叉偶聯(lián)反應(yīng)。應(yīng)用結(jié)構(gòu)簡單的炔酰胺用作鈀卡賓前體，通過有序的分子間氧化與卡賓轉(zhuǎn)移插入的串聯(lián)過程，實現(xiàn)了鈀催化下炔酰胺與芐基溴化物的加氧偶聯(lián)反應(yīng) （ Palladium-Catalyzed Oxygenative Cross-Coupling of Ynamides and Benzyl Bromides via Carbene Migratory Insertion. Yunpeng Gao, Guojiao Wu, Qi Zhou and Jianbo Wang, Angew. Chem. Int. Ed. 2018, 57, 2716） 。Fischer 卡賓是經(jīng)典的穩(wěn)定金屬卡賓絡(luò)合物，利用卡賓配體在不同金屬之間的轉(zhuǎn)移，一系列鈀催化的 Fischer 鉻卡賓交叉偶聯(lián)反應(yīng)。 通過一系列機理驗證實驗和 DFT 理論計算，對該反應(yīng)的機理進行了深入 的探討，驗證了卡賓轉(zhuǎn)移以及 鈀卡賓的遷移插入為催化循環(huán)中的關(guān)鍵步驟 （ Palladium-Catalyzed Reductive Cross-Coupling Reaction of Aryl Chromium(0) Fischer Carbene Complexes with Aryl Iodides. Kang Wang, Yu Lu, Fangdong Hu, Jinghui Yang, Yan Zhang, Zhi-Xiang Wang, and Jianbo Wang, Organometallics 2018, 37, 1 ）

復(fù)合功能腦深部刺激器及 MEMS 腦電極：本課題組針對 MEMS 腦電極及其配套腦起搏器極端制造技術(shù)中的諸多關(guān)鍵難題，開展了如下研究：環(huán)形腦電極的鍵合、封裝等工藝，制造了環(huán)形腦電極樣品；MEMS 硅基腦電極的結(jié)構(gòu)設(shè)計及制造工藝、鍵合方法和封裝工藝，制造了硅基腦電極樣品；螺旋微導(dǎo)線和轉(zhuǎn)接線的制造工藝，制造了樣品；植入式顱內(nèi)壓傳感器的制造和封裝工藝，制造出顱內(nèi)壓微傳感器樣品；經(jīng)皮無線能量傳輸供電的關(guān)鍵技術(shù)和方法，制造出穩(wěn)定地?zé)o線供電裝置；植入裝置與體外控制裝置之間的無線通訊方法研究及其實用裝置；腦深部神經(jīng)核團信號采集方法研究及其實用裝置；植入式腦起搏器的封裝工藝和方法。

T 型三電平電路結(jié)構(gòu)，全數(shù)字化控制、低漏電流的 SVPWM 技術(shù)，產(chǎn)品功率等級為 10kW、12kW、 15kW、 17kW，適用于戶用型及小型并網(wǎng)發(fā)電站，自主知識產(chǎn)權(quán)。

木薯原料不與糧爭地，經(jīng)濟上可行，可以大規(guī)模種植。國家明確鼓勵以薯類作物、甜高粱莖稈及纖維素等非糧生物質(zhì)為原料的燃料乙醇生產(chǎn)。 項目組根據(jù)國家生物質(zhì)能源產(chǎn)業(yè)發(fā)展要求，重點突破木薯非糧燃料乙醇關(guān)鍵技術(shù)及裝備，獲得13項發(fā)明專利，形成了具有國際領(lǐng)先水平的非糧燃料乙醇成套生產(chǎn)技術(shù)，并成功實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，成果形成的木薯燃料乙醇成套生產(chǎn)技術(shù)的綜合技術(shù)指標(biāo)優(yōu)于國內(nèi)外同類技術(shù)。 應(yīng)用本技術(shù)首先在廣西中糧公司建成了“年產(chǎn)20萬噸木薯燃料乙醇生產(chǎn)示范裝置”并于2007 年12 月投產(chǎn)運行。裝

該項目是《新一代人工智能發(fā)展規(guī)劃》提出構(gòu)建非完全信息下智能決策基礎(chǔ)理論與框架要求下的形成的首批國內(nèi)領(lǐng)先、國際一流成果之一。該項目面向非完全信息、群體、多群體的復(fù)雜博弈決策問題，對博弈決策的建模、度量、策略求解等具有開創(chuàng)性貢獻。在頂級評測ACPC中連續(xù)5年保持世界前三、亞洲第一。項目平臺實現(xiàn)博弈決策與超算相結(jié)合，建立KP級別算力平臺的超大規(guī)模博弈決策系統(tǒng)。其研究獲得國家級重點涉密項目、總裝備部重點實驗室基金等立項支持。 項目成果與平安、騰訊、前海金融等企業(yè)展開廣泛的合作。協(xié)助平安科技基

該工作首次將有機太陽能電池領(lǐng)域中兩個功能性最強、應(yīng)用最廣泛的拉電子基團氟原子和酯基同時引入到了單噻吩的 β

本成果為非接觸供電系統(tǒng)，與傳統(tǒng)的架空網(wǎng)、三軌、儲能式等供電方式相比，新型非接觸供電技術(shù)存在著十分明顯的優(yōu)點，不但外觀十分美觀且使用方便、安全。軌道機車與牽引網(wǎng)沒有直接電氣連接，消除了觸電及電火花等危險，無積塵和接觸損耗，無機械磨損和相應(yīng)的維護問題，可適應(yīng)惡劣天氣環(huán)境（如下雪和積水）。本項目中非接觸供電軌道車的應(yīng)用前景將會十分光明，此技術(shù)不但可以應(yīng)用到城市軌道交通系統(tǒng)、水下運輸系統(tǒng)以及礦山車系統(tǒng)等運輸系統(tǒng)，還可以應(yīng)用到工業(yè)生產(chǎn)當(dāng)中，因此非接觸供電軌道車系統(tǒng)是未來的一個發(fā)展方向。

本發(fā)明公開了一種非均勻采樣的 Chirp 脈沖時延估計方法，發(fā)射 Chirp 脈沖信號的匹配變換階次 p 和非均勻采樣產(chǎn)生的隨機采樣時間點 tn，并進行數(shù)據(jù)存儲；對接收的信號采用調(diào)頻率為-k 的 Chirp 脈沖信號進行調(diào)制，得到調(diào)制后信號 g(t)；對 g(t)以 tn 進行時域采樣，得到采樣序列 g(tn)，對 g(tn)進行非均勻采樣離散傅里葉變換，再做 umcscα 的尺度變換得 Xp(um)，對分?jǐn)?shù)階 Fourier 域下信號的幅值|Xp(um)|進行非相參積累；對積累后的信號進行峰值搜索并記錄分?jǐn)?shù)階 Fourier 域下對應(yīng)位置 mi，進而計算出脈沖時間延遲τi=mi?t。本發(fā)明可以有效解決在均勻低速采樣條件下因脈沖時延過大導(dǎo)致頻移大于信號采樣率而造成的時延模糊問題。

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):GB/T 50082-2009，JTG 3420-2020 北京耐爾得公司研發(fā)的NELD-ES731非接觸法收縮膨脹變形測定儀，適用于測定早齡期混凝土的收縮及膨脹變形的測試，也可用于無約束狀態(tài)下混凝土收縮膨脹變形的測定。該產(chǎn)品是通過電渦流傳感器對埋入混凝土的標(biāo)靶進行位移測量，高精度處理器能精確的測量出混凝土早期收縮的變形數(shù)據(jù)。主機采用8寸彩色觸摸屏，操作簡便，界面友好；數(shù)據(jù)分析軟件具有雙向數(shù)據(jù)分析能力；測量夾具結(jié)構(gòu)科學(xué)，加工精細。該產(chǎn)品受到使用單位的一致好評，是科研單位、質(zhì)量控制單位信得過的好產(chǎn)品。