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基于IP庫的通用MEMS器件可視化仿真與驗證工具
“虛擬工藝”軟件可由標準工藝流程文件和掩膜版圖文件，模擬出所要加工的MEMS器件的真實三維結(jié)構(gòu)，具有良好的通用性和精度。下圖為自主開發(fā)的“虛擬工藝”軟件生成的微夾鉗三維結(jié)構(gòu)。 “虛擬運行”軟件對器件的運動情況進行仿真，并與最初設(shè)計方案比較來指導和修正實際加工。下圖顯示了微夾鉗的虛擬運行結(jié)果，圖中的器件顏色表示了器件運動時的劇烈程度，紅色表示變形最劇烈的部分，淡藍色表示變形較小的部分。
南開大學
2021-04-14
基于IP庫的通用MEMS器件可視化仿真與驗證工具
項目的背景及目的 迄今為止，集成電路的模擬、仿真直至評測已有了非常完善的工具軟件；并已成為設(shè)計過程的重要組成部分；對設(shè)計的成功、可靠、高效都已起到?jīng)Q定性作用。而對MEMS而言，還相差甚遠，這和MEMS發(fā)展的成熟程度有著直接關(guān)系。當然，這并不意味著MEMS不需要這樣的工具和系統(tǒng)。相反，由于MEMS的功能多樣、加工復雜、分析困難、設(shè)計周期長、成本高等。特別需要一個能包括運動仿真、評測在內(nèi)的設(shè)計工具和系統(tǒng)。這是當前推動MEMS發(fā)展的當務(wù)之急。
南開大學
2021-04-14
一種面向芯片級器件的焊點制備方法及裝置
本發(fā)明公開了一種面向芯片級器件的焊點制備裝置，包括：溶液容器，用于提供焊料溶液；流量分配器，其上設(shè)置有陣列布置的多個噴嘴，其與溶液容器連通，焊料溶液通過噴嘴噴出；器件固定板，其通過一底板固定在噴嘴下方，其上平鋪有待制備焊點的器件，且該器件固定板與噴嘴通過高壓發(fā)生器相連，兩者之間形成高壓電場；還包括管芯模，其包括呈陣列布置的多個管芯，且各管芯一一對應(yīng)配合插裝在噴嘴中，在各噴嘴和管芯之間的空隙內(nèi)形成容納焊料溶液的空間，在電場的作用下，焊料溶液通過該噴嘴中的空間進行流量分配后噴出形成噴點或噴絲，滴落于器件
華中科技大學
2021-04-14
溝道的刻蝕方法、半導體器件及其制備方法與電子設(shè)備
本發(fā)明提供了一種溝道的刻蝕方法，提供一待刻蝕對象，對所述待刻蝕對象一次刻蝕后，交替進行表面處理?二次刻蝕，直至刻蝕掉所有的鰭結(jié)構(gòu)的犧牲層；其中，一次刻蝕用于刻蝕掉所述若干鰭結(jié)構(gòu)中當前寬度最小的鰭結(jié)構(gòu)的全部犧牲層以及其它寬度更寬的鰭結(jié)構(gòu)的部分犧牲層；表面處理用于在待刻蝕對象的溝道層與剩余的犧牲層的暴露在外的表面形成保護層；所述二次刻蝕用于刻蝕掉當前寬度次之的鰭結(jié)構(gòu)的全部的犧牲層，以及所述保護層。本發(fā)明在傳統(tǒng)的刻蝕工藝中加入氧化步驟，既實現(xiàn)了對溝道層的保護，又實現(xiàn)了在不同溝道寬度的刻蝕中，減少溝道層的損失量。
復旦大學
2021-01-12
高性能系列鈮酸鋰、鉭酸鋰晶體和光電器件
光電晶體及其器件作為激光技術(shù)的關(guān)鍵材料和器件，被諸多國家列為優(yōu)先發(fā)展的技術(shù)領(lǐng)域。本項目在國家 863 計劃、天津市重大科技攻關(guān)、國防科工局民口配套等項目支持下，瞄準國家需求，圍繞產(chǎn)品化關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，取得了以下主要科技創(chuàng)新：
（1）自主設(shè)計基于經(jīng)驗數(shù)據(jù)庫的智能計算機晶體生長自動控制系統(tǒng)，并開發(fā)了晶體生長成套裝備，應(yīng)用于多種晶體生長，得到批量推廣應(yīng)用。
（2）發(fā)展了兩種非固液同成分共熔配比晶體的制備方法，實現(xiàn)了 SLN 晶體和 SLT 晶體的批量、廉價制備。
（3）開發(fā)了寬溫度范圍工作鈮酸鋰電光調(diào) Q 晶體及電光調(diào) Q 開關(guān)，在-55℃～70℃溫度區(qū)間穩(wěn)定工作，大幅提高了軍用激光系統(tǒng)的溫度穩(wěn)定性。（4）以高溫度穩(wěn)定性電光調(diào) Q 開關(guān)為核心技術(shù)自主研發(fā)的系列高溫度穩(wěn)定性鈮酸鋰電光調(diào) Q 激光系統(tǒng)，實現(xiàn)了批量生產(chǎn)和應(yīng)用。
（5）開發(fā)了滿足激光雷達等長期在線工作的低內(nèi)電場鈮酸鋰電光調(diào) Q 晶體和電光調(diào) Q 開關(guān)。
（6）開發(fā)了高抗光損傷閾值的鉭酸鋰電光調(diào) Q 晶體和電光調(diào) Q開關(guān)，典型 1064nm 波段的激光損傷閾值比鈮酸鋰晶體提高兩個數(shù)量級以上，且能夠滿足軍工寬溫度范圍要求。
南開大學
2021-04-13
關(guān)于“外爾半金屬TaAs的不飽和量子磁性”方面的研究成果
這一強磁場下的不飽和磁性與非相對論型的拓撲平庸電子呈現(xiàn)的飽和磁性截然相反，是相對論型的電子所獨具的指針性屬性。 由于各種拓撲電子材料的能帶對于包括自旋軌道耦合以及化學勢在內(nèi)的各種參數(shù)高度敏感，決定電子拓撲性質(zhì)的能量尺度可能小至毫電子伏特量級，因此通常的譜學測量如角分辨光電子譜等往往無法分辨能帶的細節(jié)。而普通的電輸運測量只能表征費米面的貝里曲率，無法區(qū)分相對論型的電子能帶是否存在能隙。這項對于拓撲電子材料的磁性研究，結(jié)合了理論計算與強磁場下的實驗表征，提出了探測相對論型的電子的一種決定性指針。該工作已在《自然?通訊》上發(fā)表 Nature Communications 10, 1028 (2019).Magnetic responses of the non-relativistic and relativistic fermions a, b, c, d: The energy bands of non-relativistic (parabolic-band) fermions; g, i, h, j: The energy bands of -relativistic fermions; e, f: Calculated parallel magnetization (M||) and effective transverse magnetization (MT) of non-relativistic fermions are saturated in strong magnetic field. k, l: Non-saturated M of relativistic fermions.
北京大學
2021-04-11
半焦焦末中低溫催化石墨化制備功能化石墨粉技術(shù)
半焦是利用低變質(zhì)非煉焦煤低溫干餾所制得的固體產(chǎn)物，以其固定碳含量高（ >82% ）、電阻率高、化學活性高、灰分低（ <6% ）、低鋁、低硫（ <0.3% ）、低磷等特性，已逐步取代冶金焦而廣泛應(yīng)用于電石、鐵合金、碳化硅等產(chǎn)品的生產(chǎn)。在半焦生產(chǎn)過程中，約有 10% 的半焦焦粉因粒度小，不符合生產(chǎn)工藝要求而未能加以利用。本項目 通過在半焦焦末中添加金屬、金屬化合物或非金屬及其化合物并進行中低溫熱處理，在比通常石墨化所必要的溫度更低時進行石墨化，并且因為金屬或非金屬粒子與碳原子的結(jié)合可同時實現(xiàn)功能化石墨粉的制備?？勺鳛楣δ懿牧?、添加劑、電極材料、貯氫材料等，廣泛應(yīng)用于國防和民用領(lǐng)域，成為現(xiàn)代工業(yè)及高、新、尖技術(shù)發(fā)展必不可少的非金屬材料。
西安科技大學
2021-04-11
一種整體葉輪葉片的粗-半精-精銑混合路徑生成方法
本發(fā)明公開了一種對大懸伸、弱剛性整體葉輪葉片的粗-半精精銑混合路徑生成方法，包括步驟：根據(jù)大懸伸、弱剛性整體葉輪葉 片的幾何形狀和工藝參數(shù)，分別生成葉片的粗銑和精銑刀位軌跡源文 件；對生成的粗銑刀路文件進行提取靠近葉片的 K 道刀路，并重新排 列，以使粗銑刀路繞葉片加工；對生成的精銑刀路文件分別提取刀路 的精銑部分和半精銑部分，形成半精-精銑刀路文件；對新粗銑刀路文 件和生成的半精-精銑刀路文件進行變進給操作；對獲得的粗、半精精銑刀路進行分層；以及將分層后的粗、半精-精銑刀路文件經(jīng)路徑延 伸、刀具移動和圓弧插補，并通過不同轉(zhuǎn)速控制后，生成一個完整的 粗-半精-精銑混合路徑刀路文件。本發(fā)明的方法能夠大幅提高葉片的加 工剛度，尤其是葉片頂端，消除加工顫振，提高葉片加工質(zhì)量。
華中科技大學
2021-04-11
一種復雜薄壁類鋁合金件超聲輔助半固態(tài)壓鑄成型裝置
本實用新型公開了一種復雜薄壁類鋁合金件超聲輔助半固態(tài)壓鑄成型裝置。包括壓鑄機、壓鑄模具、超聲振動系統(tǒng)和冷卻系統(tǒng)，壓鑄模具安裝在壓鑄機，壓射組件穿過靜模固定板與壓鑄模具連接，壓鑄模具的動模上安裝連接超聲振動系統(tǒng)，超聲振動系統(tǒng)直接作用于動模以超聲輔助進行半固態(tài)壓鑄成型，動模設(shè)有與超聲振動系統(tǒng)連接的冷卻系統(tǒng)。本實用新型可有效降低固相團聚程度，提高半固態(tài)金屬的流動能力和充型能力，并且能細化晶粒，提高鑄件的致密度，進一步提高鋁合金鑄件的力學性能和導熱性能，為復雜薄壁類鋁合金鑄件制造提供一種新的成型方法。
浙江大學
2021-04-13
燃煤煙氣半干法脫除氟氯的脫硫廢水零排放系統(tǒng)
本實用新型公開了一種燃煤煙氣半干法脫除氟氯的脫硫廢水零排放系統(tǒng)。本實用新型包括高濃度堿液管路、脫硫廢水管路、稀釋堿液管路、堿液霧化裝置、壓縮空氣管路、工藝水管路、煙道。高濃度堿液與脫硫廢水混合成稀釋堿液，再通過多噴嘴網(wǎng)格化布置的堿液霧化裝置噴入空預器與除塵器之間的煙道中，與煙氣充分均勻混合，將煙氣中的HCl、HF、SO3等氣體大部分固化到飛灰中，大幅度減少脫硫廢水排放量，脫硫廢水又作為堿基溶劑噴入煙道，實現(xiàn)了脫硫廢水零流量排放。本實用新型對煙溫、尾部煙道與設(shè)備影響較小，還有效減少尾部低溫煙道與設(shè)備積灰腐蝕的傾向性，并提升脫硫效率。本實用新型具有系統(tǒng)簡單、投資小、運行成本低的顯著優(yōu)點。
浙江大學
2021-04-13