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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
基于混沌理論的海面 SAR 圖像分布目標檢測
基于機載 SAR 收集的海雜波數據，驗證了其具有混沌特性。在機載 SAR 收集的海雜波數 據具有混沌特性的基礎上，利用海雜波的混沌預測誤差對海面 SAR 圖像上的分布目標進行檢 測。用實測的海面 SAR 圖像進行檢測實驗，結果表明基于混沌理論的海面 SAR 圖像分布目標 檢測算法是有效的。 對定義在圖像像素點上的擴展分形特征的計算公式進行了修正，并將其引入到海面 SAR 圖像分布目標檢測中，提出了基于擴展分形特征的海面 SAR 圖像分布目標檢測算法，并通57 過實驗證明了該算法能有效地檢測海面 SAR 圖像中的分布目標。
南京工程學院
2021-04-13
用于孔壓分布測量的沉降柱試驗儀
本實用新型涉及地基處理研究領域，旨在提供一種用于孔壓分布測量的沉降柱試驗儀及試驗方法。在用于盛裝土樣的中空圓柱形試驗箱中，豎向設有固定在鋼架上的排水板，中空的排水板上間隔設置多個真空度探頭，在試驗箱的底板上和側壁上均勻分布多個孔壓傳感器；各真空度探頭和孔壓傳感器均通過信號線連接至數據采集裝置，數據采集裝置與上位機相連；排水板的上端通過密閉接頭與排水管相接，排水管的另一端接至真空泵，排水管上設真空表。本實用新型能監測不同深度和不同徑向位置的孔壓變化情況。結構簡單、易于上手，模型材料及填土可重復利用，不會造成浪費和污染，并且可以自動記錄數據，減少試驗所需人手，同時減少人為讀數時產生的誤差。
浙江大學
2021-04-13
一種農田秸稈資源空間分布估算方法
本發明公開了一種農田秸稈資源空間分布估算方法，將傳統統計方法與遙感技術相結合，綜合利用 統計年鑒和遙感凈初級生產力（NPP）數據，對區域內部農田秸稈資源空間分布特征進行估算。本發明 充分利用了統計數據在總量計算方面的精確性優勢和遙感數據在反映空間分布特征方面的優勢，從而能 夠更加精確的反映區域內部農田秸稈資源空間分布特征，總體上具有快速簡便、低成本的特點。
武漢大學
2021-04-14
一種超導磁體磁場分布測量裝置
本發明公開了一種超導磁體磁場分布測量裝置。其中，大齒輪 的中心開孔，通過軸承安裝在工作臺上；第一支架固定在工作臺上， 小齒輪的兩端分別通過軸承與工作臺和第一支架固定；第一手輪與小 齒輪連接；導軌固定在大齒輪上，滑塊安裝在導軌上；第二支架固定 在滑塊上；螺桿穿過驅動板與驅動板通過螺紋連接，螺桿垂直于工作 臺，其兩端分別通過軸承與滑塊和第二支架固定；固定桿穿過大齒輪 的中心開孔和工作臺，垂直于工作臺，其一端固定在驅動板上；高斯 計安裝在固定桿的另一端；通過轉動第一手輪和移動滑塊，能使固定 桿的移動軌跡遍
華中科技大學
2021-04-14
一種光源分布自參照的折光計
本發明公開了一種光源分布自參照的折光計，屬于光電技術與 光學儀器領域，包括用于產生發散光束的光源照明系統、光學傳感頭、 反射光能量收集系統以及圖像采集分析系統，光學傳感頭包括參照模 塊和棱鏡，參照模塊貼合在所述棱鏡的底面，工作時發散光束入射進 入棱鏡后形成的光斑被分成位于參照模塊的第一部分光束和位于參照 模塊外的第二部分光束，第一部分光束發生全反射，第二部分光束中 有部分光線發生反射并部分光線發生折射，第一部分光束用
華中科技大學
2021-04-14
XM-604B腦及腦動脈分布模型
XM-604B腦及腦動脈分布模型（11部件）
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XM-604B腦及腦動脈分布模型放大2倍，可拆分為11部件，顯示腦的外形結構：大腦外側面主要結構、大腦半球內側面和底面的主要結構、腦干各面的主要結構、小腦的主要結構；腦的動脈供應：動脈的來源、動脈在腦底面的行程和聯合情況、大小腦的動脈分布。
尺寸：放大2倍，35×33×30cm
材質：PVC材料
上海欣曼科教設備有限公司
2021-08-23
XM-604B腦及腦動脈分布模型
XM-604B腦及腦動脈分布模型（11部件）
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XM-604B腦及腦動脈分布模型放大2倍，可拆分為11部件，顯示腦的外形結構：大腦外側面主要結構、大腦半球內側面和底面的主要結構、腦干各面的主要結構、小腦的主要結構；腦的動脈供應：動脈的來源、動脈在腦底面的行程和聯合情況、大小腦的動脈分布。
尺寸：放大2倍，35×33×30cm
材質：PVC材料
上海欣曼科教設備有限公司
2021-08-23
MXY8301 LED/LD光譜分布測試儀
一、產品介紹
“MXY8301 LED/LD光譜分布測試儀”是一款能夠探測與分析各種光源在可見譜區范圍內分布的“CCD快速光譜儀”，它的探測器是線陣CCD多通道探測器，能夠探測各種顏色LED發光管和其他發光體的光譜分布。
由以下幾部分構成：由狹縫、分光光柵、凹面鏡和線陣CCD光譜探測器等部件構成；
狹縫：儀器信號光輸入口為可調縫寬的狹縫（縫寬可調）；
被測LED安裝裝置：用來安裝被測LED等光源；
被測LD安裝裝置：用來安裝被測LD光源；
衍射光柵：采用600lp/mm的衍射光柵對入射光進行分光；
凹面鏡：將分出的發射光譜匯聚到線陣CCD像敏陣列上；
光譜探測器：用線陣CCD傳感器為探測器，以便同步獲得更多的光譜譜線；
數據采集：儀器采用12位A/D數據采集系統；以便獲得更高的“強度”分辨率；
接口方式：采用0接口方式與計算機連接；
二、教學目的
1、能夠同步快速探測可見光范圍的多通道光譜，并對譜線進行分析；
2、進行“LED光譜分布的測量實驗”，學習光譜探測原理與光譜分析方法；
3、進行“LED發光光譜半寬度的測量實驗”認識LED發光光譜特性和測量方法；
4、利用設備提供的“SDK”軟件開發包進行課程設計與畢業設計；
三、實驗內容
1、測試各種顏色LED的光譜分布；
2、測試LD半導體激光器的光譜分布；
3、測試其他光的光譜分布；
天津夢祥原科技有限公司
2021-12-17
頭面及頸部血管神經分布模型XM-631
XM-631頭面及頸部血管神經分布模型
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XM-631頭面及頸部血管神經分布模型由頭面部動脈分布、頭面部靜脈及三叉神經3個部件組成，主要顯示頭部淺層、深層的動靜脈及神經的分布情況及相應的結構形態。
尺寸：自然大
材質：玻璃鋼材料
上海欣曼科教設備有限公司
2021-08-23