一種低剛度的磁懸浮重力補償器及微動臺結(jié)構(gòu)
本發(fā)明屬于重力補償結(jié)構(gòu)相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域,其公開了一種低剛度 的磁懸浮重力補償器,其包括動子結(jié)構(gòu)及定子結(jié)構(gòu),動子結(jié)構(gòu)包括外 永磁陣列環(huán)、內(nèi)永磁陣列環(huán)及動子支撐框架,外永磁陣列環(huán)及內(nèi)永磁 陣列環(huán)分別設(shè)置在動子支撐架的環(huán)形槽相對的兩個側(cè)壁上,內(nèi)永磁陣 列環(huán)的厚度大于外永磁陣列環(huán)的厚度;定子結(jié)構(gòu)包括收容于環(huán)形槽內(nèi) 的線圈支架及嵌設(shè)在線圈支架上的定子永磁環(huán),所述定子永磁環(huán)的高 度大于厚度,定子永磁環(huán)與內(nèi)永磁陣列環(huán)的間距小于定子永磁環(huán)與外 永磁陣列環(huán)的間距。本發(fā)明還提供了具有上述的磁懸浮重力補償器的 微動臺結(jié)構(gòu)。本
華中科技大學(xué)
2021-04-14