一種硅光子晶體波導器件的飛秒激光制備系統及方法
本發明公開了一種硅光子晶體波導器件的飛秒激光制備系統及方法,系統包括飛秒激光器、多級半波片、偏振分光棱鏡、第一反射鏡、空間光調制器、第一透鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、第二透鏡、電動翻轉鏡、第四反射鏡、高倍物鏡、三維加工平臺、第三透鏡、CCD相機、計算機;由飛秒激光器輸出的激光通過多級半波片和偏振分光棱鏡,經過反射鏡射入空間光調制器;用計算機將加工方案生成全息圖,加載到空間光調制器;光束經調制后通過第一透鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、第二透鏡、第四反射鏡,再經過高倍物鏡聚焦到硅基片上,通過輸入到計算機內的程序控制三維加工平臺移動,完成加工任務。本發明加工步驟簡易,加工精度高,加工速度快,加工成本低。
湖北工業大學
2021-01-12