制造電化學(xué)晶體管的方法
本發(fā)明公開了利用并列噴嘴噴印制造柔性電化學(xué)晶體管的方法, 包括以下步驟:1)注入溶液;2)沉積網(wǎng)格狀纖維結(jié)構(gòu);3)網(wǎng)格狀纖維結(jié) 構(gòu)自組裝。本發(fā)明工藝簡單,采用并列靜電紡絲工藝,一步制得微納 纖維,并且通過平臺運(yùn)動控制可直接實(shí)現(xiàn)陣列化纖維的制造;工序簡 單,借助于表面張力驅(qū)動的自組裝工藝可大面積穩(wěn)定可靠實(shí)現(xiàn) WECT 源極、漏極與柵極的連接;其成本低,效率高,靜電紡絲以及自組裝 工藝極大縮減了制造時(shí)間與材料用量;材料兼容性好,制造過程均未 涉及高溫工藝,有機(jī)、柔性材料均可得到極大的運(yùn)用。
華中科技大學(xué)
2021-04-14