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半導(dǎo)體設(shè)備超潔凈流
控
系統(tǒng)及其受制約流
控
零部件
浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染,減少曝光缺陷,提升曝光良率,是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn),直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外,作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件,超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國、日本等國壟斷,使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng),自2004年以來在國家863計(jì)劃和國家02專項(xiàng)支持,聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù),完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試,為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù),同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化,突破了國外技術(shù)的封鎖,為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。
浙江大學(xué)
2022-07-22
西安交大全球
健康
研究院與合作者最新研究顯示:我國成人糖尿病患病率仍在上升 亟需加大防
控
力度
如果未來可防可控的危險(xiǎn)因素不能得到有效控制,超重肥胖率上升不能放緩,糖尿病疾病負(fù)擔(dān)仍將加重,將影響“健康中國2030行動(dòng)目標(biāo)”的實(shí)現(xiàn)。
西安交通大學(xué)
2021-12-30
一種基于表皮電子的
健康
監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
本發(fā)明公開了一種基于表皮電子的健康監(jiān)測(cè)系統(tǒng),包括傳感單元和便攜式信號(hào)處理單元,其中傳感單元呈現(xiàn)表皮電子貼片的形式,其粘合在監(jiān)測(cè)對(duì)象的皮膚表面,用于采集監(jiān)測(cè)對(duì)象的生理參數(shù)數(shù)據(jù)并予以存儲(chǔ);便攜式信號(hào)處理單元與傳感單元信號(hào)連接,用于讀取和顯示存儲(chǔ)在傳感單元中的生理參數(shù)數(shù)據(jù),并當(dāng)生理參數(shù)數(shù)據(jù)超出預(yù)設(shè)的閾值時(shí),進(jìn)行報(bào)警提示或呼叫協(xié)助。本發(fā)明還公開了該健康監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的其他一些實(shí)施方式。通過本發(fā)明,可成功解決傳統(tǒng)可穿戴式健康監(jiān)測(cè)系統(tǒng)所存在的各種問題,并具備成本低廉、便于操控和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、攜帶方便,以及測(cè)量精度高和多點(diǎn)
華中科技大學(xué)
2021-04-14
健康
產(chǎn)品高通量篩選系列試劑盒
健康產(chǎn)品高通量篩選系列試劑盒采用秀麗隱桿線蟲為模型動(dòng)物, 以生物熒光技術(shù)為基礎(chǔ)進(jìn)行健康產(chǎn)品(具備抗腫瘤、抗氧化、抗老年 癡呆、抗帕金森、輔助降血糖、抗肥胖功效的藥品、保健品和保健食 品)的體內(nèi)篩選,與以往體外高通量篩選方法相比,其優(yōu)勢(shì)在于篩選 所得的目標(biāo)候選物體內(nèi)、體外活性相關(guān)性好,這有利于避免人力、資 源的浪費(fèi),能夠降低篩選研發(fā)的風(fēng)險(xiǎn),實(shí)現(xiàn)了健康產(chǎn)品的高通量篩選。 本產(chǎn)品已經(jīng)申請(qǐng)專利 5 件,授權(quán) 2 件。
蘭州大學(xué)
2021-04-14
電力精靈—電力能源裝備
健康
狀態(tài)診斷平臺(tái)
一、項(xiàng)目進(jìn)展 已注冊(cè)公司運(yùn)營 二、企業(yè)信息 企業(yè)名稱 四川銘學(xué)智能技術(shù)有限公司 企業(yè)法人 林鈺 注冊(cè)時(shí)間 2017.11.29 注冊(cè)所在省市 四川省成都市 組織機(jī)構(gòu)代碼 91510100MA6C766U7T 經(jīng)營范圍 計(jì)算機(jī)軟硬件開發(fā) 企業(yè)地址 成都高新區(qū)天府大道北段1700號(hào) 獲投資情況 / 三、負(fù)責(zé)人及成員 姓名 學(xué)院/所學(xué)專業(yè) 入學(xué)/畢業(yè)時(shí)間 學(xué)號(hào) 林鈺 電信院/控制工程 2019.9/2022.6 201922000100 四、指導(dǎo)教師 姓名 學(xué)院/所學(xué)專業(yè) 職務(wù)/職稱 研究方向 李茜 電信院/電氣工程 副教授 能源系統(tǒng)智能感知 五、項(xiàng)目簡介 電力精靈—電力能源裝備健康狀態(tài)診斷平臺(tái)是集狀態(tài)數(shù)據(jù)匯集、故障診斷、狀態(tài)評(píng)估、檢修決策推薦、三維立體顯示、創(chuàng)新健康管理等多功能為一體的全棧式電力能源裝備健康狀況診斷平臺(tái)。該系統(tǒng)改進(jìn)了市面上監(jiān)測(cè)系統(tǒng)主要存在功能單一、智能化不足、電力能源裝備監(jiān)測(cè)系統(tǒng)各自獨(dú)立等問題,創(chuàng)新性地提出電力能源裝備健康管理功能,同時(shí)覆蓋變壓器、海纜、蓄電池、開關(guān)柜、UPS、絕緣盤6類裝備,使用戶全面了解電力能源裝備的生命周期及整體健康情況,為用戶提供高效狀態(tài)檢修策略。
西南石油大學(xué)
2023-07-17
防范新冠肺炎居家
健康
生活讀本
西安交通大學(xué)出版社在校黨委的領(lǐng)導(dǎo)下,在陜西省委宣傳部的統(tǒng)一部署下,快速應(yīng)對(duì)、主動(dòng)作為,組建團(tuán)隊(duì)策劃、編寫了《防范新冠肺炎居家健康生活讀本》一書,在全國率先從科普的角度宣傳居家防疫的知識(shí)。本書針對(duì)普通民眾居家防疫過程中所要面對(duì)的各種常見問題,介紹了飲食防疫、運(yùn)動(dòng)防疫、心理調(diào)適防疫、適用技法防疫等方面的科學(xué)知識(shí)和技能,并為老年人、兒童、孕婦等特殊人群提供了居家防疫的指導(dǎo)和建議。 本書編寫組以西安交通大學(xué)出版社的醫(yī)學(xué)編輯為班底,其中主任醫(yī)師1人,執(zhí)業(yè)醫(yī)師4人,健康管理師4人,專業(yè)涵蓋中醫(yī)、西醫(yī)、中藥、西藥、生命科學(xué)、護(hù)理、檢驗(yàn)等。
西安交通大學(xué)
2021-04-11
線控制動(dòng) EHB 線
控
液壓剎車 無人車線
控
底盤 自動(dòng)駕駛 i-booster
浙江天尚元科技有限公司
2022-06-20
泡沫炭表面原位合成Si3
N
4涂層材料
本發(fā)明涉及一種在泡沫炭材料表面原位合成Si3N4涂層的方法,屬于新材料技術(shù)領(lǐng)域。其主要特點(diǎn)在于利用泡沫炭多孔結(jié)構(gòu)及Si3N4納米纖維復(fù)合體對(duì)自來水中顆粒及污染物的過濾和吸附功能實(shí)現(xiàn)軟凈水一體化功能。
中國地質(zhì)大學(xué)(北京)
2021-02-01
B/
N
摻雜型 Al-Ti-C 系晶種合金
鋁合金結(jié)晶組織的微細(xì)化會(huì)顯著提高鋁材的強(qiáng)韌性、組織均勻性、致密性、 耐蝕性、加工工藝性和表面質(zhì)量等,并減少偏析和裂紋等諸多鑄造缺陷。目前, 國內(nèi)外通常采用 Al-Ti-B 或 Al-Ti-C 中間合金來細(xì)化晶粒,但 Al-Ti-B 中間合金 126 的形核襯底質(zhì)點(diǎn) TiB2 本身的直徑大小在 0.5-3.0μm,而且往往以較大的聚集團(tuán) 形式存在,如此大的顆粒團(tuán)在加入到鋁合金中后會(huì)帶來一系列的副作用。而普 通 Al-Ti-C 中間合金細(xì)化效果不穩(wěn)定,易衰退,難以滿足鋁制品產(chǎn)品質(zhì)量的要 求。 Al-Ti-C 中間合金之所以細(xì)化效果不穩(wěn)定和容易衰退,是由于其中的 TiCx 晶體存在較多碳空位,從而使之失穩(wěn),且隨 TiCx中碳空位數(shù)量的增加,Al 原子 在 TiCx 表面的偏聚及有序化受到抑制,由原來的完全共格逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)椴煌耆?格。因此,減少 TiCx中的碳空位是提高其結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和生核效率的關(guān)鍵。 研究表明,無空位的 TiC 是鋁的有效生核襯底,在接近凝固點(diǎn)的鋁熔體中, Al 原子能夠依附于其周圍形成一個(gè)完全共格的有序區(qū),最終促進(jìn) α-Al 生核和鋁 晶粒細(xì)化。經(jīng)過長期的研究和探索發(fā)現(xiàn),TiCx 中的碳空位可以被原子半徑較小 的 B、N 等原子填充,最終形成摻雜型的 TiCxB1-x和 TiCxN1-x等粒子,從而降低 空位濃度并提高異質(zhì)生核能力。 B 摻雜型 Al-Ti-C 晶種合金中含有大量直徑在 1μm 以下(亞微米)的 TiCxB1-x 晶核襯底粒子,且彌散分布,當(dāng)將該中間合金以微量(0.15%左右)加 入到待細(xì)化的鋁及其合金熔體中后,立即釋放出大量的亞微米級(jí)的摻雜型 TiC 晶核,從而使待細(xì)化鋁合金的晶粒組織得到顯著細(xì)化甚至超細(xì)化(指晶粒直徑 在微米級(jí))。因此,采用摻雜型 Al-Ti-C 晶種合金對(duì)鋁熔體進(jìn)行晶粒細(xì)化處理 將是鋁加工行業(yè)又一次重要的技術(shù)進(jìn)步。
山東大學(xué)
2021-04-13
新型
N
-P-S 膨脹型磷系阻燃劑
膨脹型阻燃劑(IFR)一般是以 P、N、C 為主要核心成分的復(fù)合阻燃劑(或單體阻燃劑),可用于多種易燃聚合物的阻燃。膨脹型阻燃劑作為一類高效低毒的環(huán)保型阻燃劑,被公認(rèn)為是實(shí)現(xiàn)阻燃劑無鹵化的有效途徑之一,因此在高分子材料阻燃領(lǐng)域中極具應(yīng)用潛力。我們將 N、P、S 三種有效阻燃元素組裝于單一分子內(nèi),設(shè)計(jì)出一類新型分子內(nèi)協(xié)效膨脹型阻燃劑。該類阻燃劑在 PC+ABS 工程塑料中少量添加即可以實(shí)現(xiàn)高效阻燃,具有環(huán)保低毒,阻燃效果好等優(yōu)點(diǎn)。 項(xiàng)目特色: 利用有機(jī)合成的方法合成一系列適應(yīng)市場(chǎng)需求的新型膨脹型 N-P-S 磷系阻燃劑,目前已經(jīng)研發(fā)成功的品種包括“六(4-甲氧基苯磺酸鈉)環(huán)三磷腈”,“ 六(4-氨基苯磺酸鈉)環(huán)三磷腈”,“ 六(2-氨基乙磺酸鈉)環(huán)三磷腈”等,生產(chǎn)工藝科學(xué),環(huán)保高效,生產(chǎn)過程簡單,生產(chǎn)成本低。
南開大學(xué)
2021-04-13
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