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超穩(wěn)定微環(huán)境控制系統(tǒng)
以投影光刻機(jī)、超精密光學(xué)系統(tǒng)、超穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)工件臺(tái)以及激光干涉測(cè)量?jī)x等為代表的超精密設(shè)備對(duì)其加工環(huán)境要求及其苛刻，對(duì)環(huán)境中的溫度、壓力、濕度、潔凈度都必須加以超穩(wěn)定的超穩(wěn)定控制。
一、項(xiàng)目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、成果簡(jiǎn)介
以投影光刻機(jī)、超精密光學(xué)系統(tǒng)、超穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)工件臺(tái)以及激光干涉測(cè)量?jī)x等為代表的超精密設(shè)備對(duì)其加工環(huán)境要求及其苛刻，對(duì)環(huán)境中的溫度、壓力、濕度、潔凈度都必須加以超穩(wěn)定的超穩(wěn)定控制。以光刻機(jī)為例：在光刻機(jī)工件臺(tái)實(shí)際工作過程中，溫度的空間不均勻性或者隨時(shí)間漂移性都會(huì)嚴(yán)重影響光刻機(jī)的定位精度和套刻精度。具體表現(xiàn)有：工件臺(tái)關(guān)鍵部件會(huì)由于空間溫度的漂移而產(chǎn)生形變進(jìn)而導(dǎo)致運(yùn)動(dòng)誤差，而以激光干涉儀為代表的超穩(wěn)定測(cè)量?jī)x器的波長(zhǎng)會(huì)受溫度、壓力影響，波長(zhǎng)的漂移勢(shì)必會(huì)造成測(cè)量結(jié)果的誤差進(jìn)而最終影響光刻精度。除此之外，空氣中的污染顆粒和化學(xué)腐蝕物也均會(huì)對(duì)工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)性能造成顯著影響。無論對(duì)于精密加工裝備還是測(cè)量設(shè)備來說，當(dāng)精度達(dá)到納米級(jí)時(shí)，由環(huán)境參數(shù)波動(dòng)引起的誤差因素就成為限制其精度的一大障礙，在這個(gè)時(shí)候很有必要引入一套環(huán)境控制系統(tǒng)來保證這些精密設(shè)備的苛刻工作環(huán)境需求。
華中科技大學(xué)
2022-07-26
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小型燃煤鍋爐智能控制系統(tǒng)
成果簡(jiǎn)介這是一款適用于采用小型燃煤鍋爐采暖或某些特定場(chǎng)合（如小型烘烤） 等供熱系統(tǒng)的自能控制器。 通過控制各階段風(fēng)機(jī)、 煤機(jī)的轉(zhuǎn)速及風(fēng)煤比， 實(shí)現(xiàn)工質(zhì)溫度的智能控制； 系統(tǒng)同時(shí)具有熱電偶斷路、溫度超限、 煤料斗缺煤和給煤機(jī)主軸過載檢測(cè)等功能， 并有相應(yīng)的報(bào)警提示。 控制系統(tǒng)具有運(yùn)行穩(wěn)定、 智能化、 高效和適用廣泛的特點(diǎn)， 對(duì)于小型燃煤鍋爐供熱系統(tǒng)的節(jié)能減排和安全運(yùn)行具有重要的實(shí)用價(jià)值。成熟程度和所需建設(shè)條件已做出樣機(jī)。 試運(yùn)行結(jié)果表明， 系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定， 對(duì)于
安徽工業(yè)大學(xué)
2021-04-14
新型數(shù)字汽車點(diǎn)火驅(qū)動(dòng)控制裝置
成果簡(jiǎn)介汽車點(diǎn)火驅(qū)動(dòng)模塊是汽車發(fā)動(dòng)機(jī)點(diǎn)火系統(tǒng)的重要部件之一。 其性能直接影響到汽車的啟動(dòng)性、 動(dòng)力性和經(jīng)濟(jì)性。傳統(tǒng)模擬電子點(diǎn)火驅(qū)動(dòng)裝置雖然在提高點(diǎn)火電壓和點(diǎn)火能量方面卓有成效，但它易容工作環(huán)境的影響， 穩(wěn)定性和可靠性較低。 而且， 模擬電子點(diǎn)火驅(qū)動(dòng)裝置所需電子元件較多， 造成其體積較大， 安裝困難。 另外， 由于傳統(tǒng)模擬電子點(diǎn)火驅(qū)動(dòng)裝置沒有信息處理能力， 不能改變存儲(chǔ)在驅(qū)動(dòng)線圈內(nèi)的能量來滿足在各種工況條件下順利點(diǎn)火的要求。本項(xiàng)目采用低功耗小尺寸（貼片型） 的工業(yè)級(jí) pic
安徽工業(yè)大學(xué)
2021-04-14
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廢酸水處理的預(yù)測(cè)控制
項(xiàng)目研究?jī)?nèi)容： 1、開發(fā)基于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)總線技術(shù)，集檢測(cè)、控制和優(yōu) 化等功能于一體，具有高適應(yīng)性、高可靠性和高穩(wěn)定性等特點(diǎn)的低成本控 制系統(tǒng)，達(dá)到協(xié)調(diào)處理過程中各設(shè)備的動(dòng)作，最終保證外排廢水達(dá)標(biāo)。 2、 在廢酸水工藝處理過程中，中和過程的非線性、滯后性，本項(xiàng)目采用分層 遞階優(yōu)化的非線性系統(tǒng)預(yù)測(cè)控制，通過對(duì)系統(tǒng)的非線性部分的預(yù)估和協(xié) 調(diào)，將原來非線性協(xié)調(diào)滾動(dòng)優(yōu)化問題轉(zhuǎn)化為線性協(xié)調(diào)的滾動(dòng)優(yōu)化，即保留 了線性系統(tǒng)
南昌大學(xué)
2021-04-14
轉(zhuǎn)爐煤氣回收智能優(yōu)化控制技術(shù)
成果簡(jiǎn)介轉(zhuǎn)爐鋼水冶煉過程中會(huì)產(chǎn)生大量含氧化鐵粉塵的高溫?zé)煔猓?其主要成分為一氧化碳， 是一種熱值較高的工業(yè)燃料， 如不進(jìn)行有效回收處理和控制排放， 不僅污染大氣環(huán)境， 還會(huì)造成能源浪費(fèi)。 轉(zhuǎn)爐煤氣回收是把轉(zhuǎn)爐生產(chǎn)過程中的副產(chǎn)品CO 進(jìn)行回收再利用的生產(chǎn)工藝， 它將高溫?zé)煔馔ㄟ^汽化煙道進(jìn)行冷卻、 凈化處理后， 得到可回收的轉(zhuǎn)爐煤氣， 其經(jīng)濟(jì)價(jià)值和社會(huì)效益不言而喻。目前國(guó)內(nèi)煉鋼企業(yè)的轉(zhuǎn)爐煤氣回收系統(tǒng)由于部分技術(shù)裝備及控制方法比較落后， 煤氣回收和煙氣減排效果差。 本項(xiàng)目采用滑
安徽工業(yè)大學(xué)
2021-04-14
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智能型制冷控制器件
1：電子式壓力控制器 內(nèi)容：專用于按壓力信號(hào)對(duì)制冷系統(tǒng)實(shí)施的各種控制。（1）電子式數(shù)字顯示，數(shù)字設(shè)定（2）微電腦控制器（3）可以對(duì)壓縮機(jī)進(jìn)行運(yùn)行，保護(hù)及調(diào)節(jié)方面的控制，如：壓縮機(jī)正常啟、停控制，高低壓力保護(hù)，油路控制，壓縮機(jī)制冷能力的程度控制（4）適用于各種制冷劑，如R22，R134A，R404A，R407C，R507，R717，…，等（5）針對(duì)
西安交通大學(xué)
2021-01-12
新型微電腦控制電子秤
本項(xiàng)目產(chǎn)品為新型的微電腦控制、數(shù)字顯示電子秤。本電子秤的市場(chǎng)定位并不在于與現(xiàn)有市場(chǎng)上的電子秤競(jìng)爭(zhēng)或意在替代它們，而是替代現(xiàn)行市場(chǎng)尚普遍使用的度盤（彈簧）秤。度盤秤由于其精度等級(jí)低，易于作弊，產(chǎn)品合格率低等原因，國(guó)家計(jì)量局已明令為“應(yīng)淘汰的過渡產(chǎn)品”，修正目前尚沒有合適的替代產(chǎn)品。本產(chǎn)品以比度盤秤高得多的精度、可靠性及其低成本、低價(jià)格，填補(bǔ)這一空白，并以此占
西安交通大學(xué)
2021-01-12
直流潤(rùn)滑（密封）油泵控制系統(tǒng)
1.直流潤(rùn)滑油泵往往在系統(tǒng)出現(xiàn)故障時(shí)啟動(dòng)，其啟動(dòng)電流對(duì)直流系統(tǒng)產(chǎn)生較大沖擊，引起電壓波動(dòng)，嚴(yán)重時(shí)會(huì)造成繼電保護(hù)和自動(dòng)裝置誤動(dòng)作；該控制系統(tǒng)是基于現(xiàn)代電力電子技術(shù)，采用PWM控制技術(shù)構(gòu)成的無級(jí)調(diào)速系統(tǒng)，成功的解決了以上問題，對(duì)保障電力系統(tǒng)的安全具有重要作用。 2.原老式裝置的控制系統(tǒng)接觸器觸頭很容易被燒毀粘結(jié)，故障率高、維修工作量大。該控制系統(tǒng)的控
西安交通大學(xué)
2021-01-12
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大規(guī)模智慧家居控制系統(tǒng)
大規(guī)模智慧家居控制系統(tǒng)包括大規(guī)模接入系統(tǒng)、海量信息存儲(chǔ)系統(tǒng)、大規(guī)模家庭事件分析系統(tǒng)。該系統(tǒng)具備如下能力: 1、單個(gè)區(qū)域接入與控制系統(tǒng)可以支持 10 萬家庭用戶的家庭傳感信息的接入與分析處理;可以支持 100 萬個(gè)移動(dòng)設(shè)備的遠(yuǎn)程訪問與控制; 2、每個(gè)接入節(jié)點(diǎn)可以支持 1 萬個(gè)家庭設(shè)備的實(shí)時(shí)接入和遠(yuǎn)程控制,其成本控制在 1 萬以內(nèi);3、每個(gè)計(jì)算節(jié)點(diǎn)可以支持 1 萬個(gè)家庭事件的實(shí)時(shí)分析;4、存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)領(lǐng)用 HBASE 數(shù)據(jù)庫(kù),可以支持 1 萬個(gè)家庭設(shè)備
上海理工大學(xué)
2021-01-12
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整車多能源控制系統(tǒng)技術(shù)
采用了由局部管理層、整車信息管理層、人機(jī)接口與通訊擴(kuò)展接口層組成的三層綜合網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，在國(guó)內(nèi)首先實(shí)現(xiàn)了電動(dòng)車整車網(wǎng)絡(luò)布線，自主定義了電動(dòng)車輛CAN總線通訊協(xié)議，成功地實(shí)現(xiàn)了整個(gè)電動(dòng)車的綜合控制，將電動(dòng)車的各個(gè)部分組成為一個(gè)完整的有機(jī)整體。該技術(shù)主要解決了兩大問題:一是如何最有效地管理電動(dòng)車輛有限的能量，實(shí)現(xiàn)電動(dòng)車輛效率最大化，估計(jì)電池組的剩余電量及車輛續(xù)駛里程、單體電池及成組電池的檢測(cè)與電池組溫度控制、電機(jī)及空調(diào)等耗能部件的功率分配等內(nèi)容；二是如何解決電動(dòng)車輛運(yùn)營(yíng)過程中的故障診斷、高壓安全、充電通訊接口、延長(zhǎng)電池使用壽命、提高電動(dòng)車可靠性等問題。
北京理工大學(xué)
2021-04-13