一種基于氧化硅矩形光波導的集成光收發(fā)模塊
本實用新型公開了一種基于氧化硅矩形光波導的集成光收發(fā)模塊,包括至少一個具有四個45°拋光內(nèi)端面的矩形氧化硅光波導、至少一個垂直腔面激光器和至少一個光子探測器,其制備方法為:利用45°刀頭將矩形波導切割成三段,由劃片機在芯片上切割出四個45°內(nèi)端面;采用真空電子束熱蒸發(fā)等對應工藝鍍上布拉格反射膜、金屬膜以及金屬導線和焊點;再用折射率匹配膠將切割鍍膜后的矩形波導粘合,同時在內(nèi)端面狹縫上方一定區(qū)域涂上匹配膠;最后通過倒裝焊接的方法,將垂直腔面激光器和光子探測器分別與對應的金屬電極焊接,集成于內(nèi)端面狹縫之上,本實用新型低成本,高速率,可實現(xiàn)多通道傳輸數(shù)據(jù)。
浙江大學
2021-04-13