一種耐高溫納米硅薄膜二極管及其制備技術(shù)
該成果是一種用熱絲化學(xué)氣相沉積(HWCVD)方法進(jìn)行低成本的耐高溫二極管制備的技術(shù),它采用高熔點(diǎn)的鎢或鉭絲作為催化分解熱絲,對(duì)通入生長腔體中的氣體進(jìn)行快速分解,通過控制熱絲溫度、H2稀釋比、襯底溫度和生長氣壓等參數(shù),可以實(shí)現(xiàn)不同導(dǎo)電類型的納米硅薄膜的沉積和相關(guān)二極管的制備,制備的納米硅薄膜大面積均勻,載流子濃度和遷移率可控性好。 該成果主要面向微電子器件制造行業(yè),如集成電路、大功率器件、特種環(huán)境探測器和傳感器、光伏產(chǎn)業(yè)、發(fā)光器件等相關(guān)領(lǐng)域。 該成果
南京航空航天大學(xué)
2021-04-14