一種精密減振組件及由其構(gòu)成的減振平臺(tái)
本發(fā)明公開(kāi)了一種精密減振組件及由其構(gòu)成的減振平臺(tái),具有減振和 Z 向定位功能。精密減振組件包括被動(dòng)減振部件、主動(dòng)減振執(zhí)行器和外框架。被動(dòng)減振部件采用雙腔體結(jié)構(gòu)的活塞桿,氣囊和壓力腔分別位于兩個(gè)腔體內(nèi),氣囊具有較大的縱向支撐力和較低的剛度,能隔離衰減高頻的振動(dòng)。主動(dòng)減振執(zhí)行器為直線型音圈電機(jī),與被動(dòng)減振部件并聯(lián),根據(jù)被控對(duì)象振動(dòng)狀態(tài)和位置信息,對(duì)被動(dòng)對(duì)象施加作用力,帶動(dòng)被控對(duì)象運(yùn)動(dòng)到指定的位置和對(duì)振動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)償。至少三個(gè)精密減振組件構(gòu)成的減振平臺(tái)具有多自由度減振,Z 向精確定位和調(diào)平調(diào)焦功能。本發(fā)明可用
華中科技大學(xué)
2021-04-14