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低成本非真空銅銦硒(CIGS)薄膜太陽電池制造技術

2021-04-11 00:00:00
云上高博會 http://www.74jv82s.xyz
關鍵詞: 太陽電池
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

CIGS 薄膜太陽電池具有效率高,無衰退、抗幅射、壽命長等特點,采用非真空技術可以進一步降低這種電池的成本,預計可達到0.3$/W。

本項目產品結構為:襯底/Mo/CIGS/CdS/i-ZnO/ZnO:Al/Ni-Al;其中光吸收層 CIGS 薄膜為 p 型半導體,其表面貧 Cu 呈 n 型與緩沖層CdS 和 i-ZnO 共同成為 n 層,構成淺埋式 p-n 結。太陽光照射在電池上產生電子與空穴,被 p-n 結的自建電場分離,從而輸出電能。

工藝流程:普通鈉鈣玻璃清洗→Mo的濺射沉積→非真空法分步電沉積CuIn-Ga 金屬預置層→快速加熱硒硫化處理(RTP)→化學水浴法沉積CdS 或 ZnS→本征 ZnO 濺射沉積→ZnO:Al 透明導電膜的濺射沉積→Ni/Al 電極沉積等。 

項目階段:

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