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基于MEMS技術(shù)的傳感器及數(shù)據(jù)記錄儀

2021-04-10 00:00:00
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所屬領(lǐng)域:
電子信息
項目成果/簡介:
在空氣動力學研究、飛行器及發(fā)動機試驗、風洞試驗、流體力學及水工試驗、水輪機及 水下兵器試驗、生物醫(yī)學應(yīng)用,化爆或核爆沖擊波等許多研究中,出于對不改變被測流場的 考慮或受安放位置局限,必須原位測壓時,常常對傳感器的外形尺寸的微型化有較為苛刻的 要求,以期在不干擾流場狀態(tài)情況下,復現(xiàn)動態(tài)流場的變化規(guī)律。XJG4 微型壓力傳感器正 是為這些應(yīng)用開發(fā)的,它采用了微型化設(shè)計的微機械加工工藝制成集成壓阻力敏元件,進行 精致巧妙的微型封裝,通常外徑在Φ8mm 到Φ15mm、長度不超過 25mm,并且可按照用戶要求 的形狀與尺寸定制。微型壓力傳感器系列以其小巧的外形、高輸出、高溫、優(yōu)異的動態(tài)和靜 態(tài)特性以及極高的可靠性而顯示其特色。
項目階段:
產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用
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